技術(shù)特征：
技術(shù)總結(jié)
描述了用于評(píng)估和控制半導(dǎo)體制造工藝的方法和裝置，該半導(dǎo)體制造工藝在工藝流程中具有多個(gè)工藝步驟。該方法包括從工藝測(cè)量數(shù)據(jù)庫(kù)檢索工藝步驟參數(shù)的測(cè)量。工藝步驟參數(shù)包括工藝步驟測(cè)量數(shù)據(jù)、工藝步驟上下文數(shù)據(jù)或工藝步驟控制數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)。工藝步驟參數(shù)隨后與一個(gè)或多個(gè)工藝步驟相關(guān)聯(lián)。
技術(shù)研發(fā)人員：斯蒂芬·布爾;馬丁·羅比格;波里斯·哈貝茲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：果尼阿克有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.03
技術(shù)公布日：2017.08.11