1.一種逆導型絕緣柵雙極型晶體管,包括元胞區和結終端區;所述元胞區包括第一N型漂移區(6),所述第一N型漂移區(6)的上層具有P型基區(5),所述P型基區(5)的上層具有N型源區(4);所述第一N型漂移區(6)的上表面具有和柵極,所述柵極由柵氧化層(2)和位于柵氧化層(2)上表面的柵電極(1)構成;柵氧化層(2)的下表面還與部分P型基區(5)和部分N型源區(4)的上表面接觸,部分P型基區(5)的上表面和部分N型源區(4)的上表面還具有金屬化陰極(3);第一N型漂移區(6)的下層具有N型陽極區(7)和P型陽極區(8),所述N型陽極區(7)和P型陽極區(8)并列設置,且P型陽極區(8)位于靠近結終端區一側;
所述結終端區中包括第二N型漂移區(15),所述第二N型漂移區(15)的上層具有P型等位環(10)和P型場限環(13),所述P型等位環(10)位于靠近元胞區一側,且P型等位環(10)與相鄰的P型基區(5)接觸,P型等位環(10)的部分上表面與金屬化陰極(3)接觸;所述P型等位環(10)的上表面還具有柵極;所述第二N型漂移區(15)的上表面具有場氧化層(12),所述場氧化層(12)的下表面還與部分P型等位環(10)和部分P型場限環(13)的上表面接觸,所述場氧化層(12)靠近元胞區的一側具有金屬化場板(11),所述金屬化場板(11)的下表面與P型等位環(10)和P型場限環(13)的上表面接觸,且金屬化場板(11)還延伸至部分場氧化層(12)的上表面;所述第二N型漂移區(15)的下層具有N型陽極區(14),所述N型陽極區(14)與P型陽極區(8)并列設置,所述N型陽極區(7)、P型陽極區(8)和N型陽極區(14)的下表面具有金屬化陽極(9)。
2.一種逆導型絕緣柵雙極型晶體管的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:
第一步:在硅片上生長場氧化層,形成第一N型漂移區(6)、第二N型漂移區(15)和場氧化層(12);其中,第一N型漂移區(6)、第二N型漂移區(15)并列設置,場氧化層(12)位于第一N型漂移區(6)和第二N型漂移區(15)上表面;
第二步:刻蝕部分場氧化層,在第二N型漂移區(15)上層進行離子注入完成結終端的制作,形成P型等位環(10)和P型場限環(13);其中,P型等位環(10)位于靠近第一N型漂移區(6)的一側
第三步:在第一N型漂移區(6)上表面的一側通過熱氧化形成柵氧化層2,并在柵氧化層(2)上淀積一層多晶硅/金屬再刻蝕形成柵電極(3);
第四步:在第一N型漂移區(6)上層注入P型雜質并推結形成P型基區(5);
第五步:在第一N型漂移區(6)上層注入N型雜質形成N型源區(4);所述N型源區(4)位于P型基區(5)中;
第六步:在器件上表面淀積BPSG絕緣介質層,刻蝕歐姆接觸孔;
第七步:在P型基區(5)、N型源區(4)、P型等位環(10)以及P型場限環(13)上表面淀積金屬,形成陰極金屬(1)和金屬化場板(11);
第八步:淀積鈍化層;
第九步:對第一N型漂移區(6)和第二N型漂移區(15)的下表面進行減薄、拋光處理,采用較高能量注入P型雜質形成P型陽極區(8);
第十步:對第一N型漂移區(6)和第二N型漂移區(15)的下表面的部分區域采用離子注入比第九步中注入的P型雜質更高摻雜濃度的N型雜質形成N型陽極區(7)和N型陽極區(14);所述N型陽極區(7)、N型陽極區(14)和P型陽極區(8)并列設置,且P型陽極區(8)位于N型陽極區(7)和N型陽極區(14)之間;
第十步:在器件下表面進行金屬淀積以形成金屬化陽極(9)。