一種石墨舟片的勾點保護件的制作方法

本實用新型涉及石墨舟技術領域，尤其涉及一種石墨舟片的勾點保護件。

背景技術：

太陽能電池生產過程中利用管式PECVD在硅片上鍍減反射膜，利用石墨舟上的勾點對硅片進行支撐，然后在硅片上沉積氮化硅薄膜。石墨舟在使用過程中隨著使用次數的增加，其表面沉積的氮化硅薄膜的厚度也隨之增加，影響石墨舟在使用中的導電性和電場均勻性等，對硅片上沉積的氮化硅薄膜的質量造成影響。

基于以上描述，石墨舟在使用過程中需要定期清洗，在清洗烘干后需要進行鍍舟，即在石墨舟表面沉積一層均勻的氮化硅薄膜，使石墨舟電場較為均勻，保證在硅片上沉積氮化硅薄膜時的沉積速率一致。但在鍍舟過程中會使勾點處沉積大量氮化硅，影響勾點導電性，增加勾點與硅片之間的接觸電阻，易出現勾點燒焦的現象，影響勾點使用壽命，降低了良品率，同時也避免了使用易損耗且成本較高的石墨舟假片。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提出一種石墨舟片的勾點保護件，解決了在鍍舟過程中勾點表面沉積薄膜，勾點與硅片之間產生接觸電阻以及勾點處易燒焦的問題。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種石墨舟片的勾點保護件，所述石墨舟片上穿設有勾點，所述勾點保護件位于相鄰兩石墨舟片之間，并罩在相鄰的兩個石墨舟片上相對的兩個卡位部上，且所述勾點保護件與相鄰的兩個石墨舟片之間均為密封配合。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件為一體的中空結構。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件為一體結構，兩端分別開設有相互對稱的內凹的容置部，兩端的容置部之間互不連通。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件兩端的容置部由中間部連接。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述容置部為半球狀。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件包括兩個包覆結構，兩個包覆結構遠離石墨舟片的一端相互抵持。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件由硅樹脂玻璃纖維或者硅橡膠玻璃纖維制成。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件由陶瓷制成。

作為上述石墨舟片的勾點保護件的一種優選方案，所述勾點保護件的橫截面的形狀為圓環形。

本實用新型的有益效果：

本實用新型提出的石墨舟片的勾點保護件，設置在相鄰兩石墨舟片之間，在鍍舟過程中用于保護勾點，避免了勾點表面沉積薄膜，防止了勾點與硅片之間產生接觸電阻、勾點處燒焦，延長了勾點的使用壽命，提高了良品率，降低了生產成本。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一提供的石墨舟片的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例一提供的勾點的結構示意圖。

圖3是本實用新型實施例一提供的勾點和勾點保護件配合的結構示意圖。

圖4是本實用新型實施例二提供的勾點和勾點保護件配合的結構示意圖。

圖5是本實用新型實施例三提供的勾點和勾點保護件配合的結構示意圖。

圖中：1、石墨舟片；2、勾點；3、勾點保護件；

21、卡位部；41、容置部；42、中間部；51、包覆結構。

具體實施方式

下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。

實施例一：

如圖1-3所示，本實施方式保護一種石墨舟片的勾點保護件，石墨舟片1上穿設有勾點2，勾點2包括定位部和卡位部21，卡位部21突出于石墨舟片的表面，勾點保護件3位于相鄰兩石墨舟片1之間，勾點保護件3罩在相鄰的兩個石墨舟片1上相對的兩個卡位部21上，且勾點保護件3與相鄰的兩個石墨舟片1之間均為密封配合，勾點保護件3套在勾點2的卡位部21上，防止鍍舟過程中在勾點2的卡位部21上沉積大量氮化硅，避免防止勾點2與硅片之間的接觸電阻增加，有效地防止勾點2處燒焦，增加勾點2使用壽命，提高良品率，避免石墨舟假片的使用，降低了生產成本。

該實施例中的勾點保護件3的橫截面的形狀為圓環形，該結構的勾點保護件3加工操作方便，同時還可以根據具體情況選擇勾點保護件3的具體結構形狀，例如勾點保護件3的外表面的截面形狀為正方形，內表面的截面形狀為圓形。

具體的，勾點保護件3為一體的中空結構由陶瓷制成，該結構簡單，加工方便，陶瓷的絕緣、耐高溫性能，能夠避免對勾點保護件3與石墨舟片1之間的電場的影響。

勾點保護件3還可以由硅樹脂玻璃纖維或者硅橡膠玻璃纖維制成，該勾點保護件3耐高溫，絕緣，耐磨性好。

實施例二：

如圖4所示，與實施例一不同之處在于：勾點保護件3為一體結構，兩端分別開設有相互對稱的內凹的容置部41，兩端的容置部41之間互不連通，且由中間部42連接，具體的，容置部41為半球狀，半球狀的容置部41與卡位部21的配合，穩定性更好，防止鍍舟過程中在勾點2的卡位部21上沉積大量氮化硅，減少了勾點2與硅片的接觸電阻，增加了勾點2的使用壽命。

該實施例中的勾點保護件3的材質可以選擇陶瓷、硅樹脂玻璃纖維或者者硅橡膠玻璃纖維。

實施例三：

如圖5所示，勾點保護件3還包括兩個包覆結構51，兩個包覆結構51遠離石墨舟片1的一端相互抵持。勾點保護件3采用兩個包覆結構51相互抵持，容易拆卸。

注意，上述僅為本實用新型的較佳實施例。本領域技術人員會理解，本實用新型不限于這里所述的特定實施例，對本領域技術人員來說能夠進行各種明顯的變化、重新調整和替代而不會脫離本實用新型的保護范圍。因此，雖然通過以上實施例對本實用新型進行了較為詳細的說明，但是本實用新型不僅僅限于以上實施例，在不脫離本實用新型構思的情況下，還可以包括更多其他等效實施例，而本實用新型的范圍由所附的權利要求范圍決定。