一種便于更換探針的晶元片檢測頭的制作方法

本實用新型涉及自動化檢測技術領域，尤其涉及一種晶元片檢測頭。

背景技術：

晶元(Wafer)，是生產集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經過拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對其性能進行檢測，由于一個晶元片上存在成百上千個晶元，人工通過探針對每個晶元進行檢測，工作量非常大，而且容易漏檢。

技術實現要素：

本實用新型為了解決現有技術中晶元片檢測效率低的問題，提供了一種能適用于自動檢測設備，極大提高檢測效率，探針損壞后更換方便的晶元片檢測頭。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種便于更換探針的晶元片檢測頭，包括探針座，所述探針座的上端中心設有凹腔，所述凹腔底部設有若干探針定位通孔，所述探針定位通孔內設有探針，所述探針定位通孔的兩端設有套設在探針外側的絕緣夾套，所述探針的下端表面位于絕緣夾套處設有限位凸環，所述探針的上端設有導電套，所述導電套的外端設有導電柱，所述凹腔的內壁上設有環形階梯面，所述的環形階梯面上設有線路板，所述的線路板與導電柱之間電連接，所述凹腔的開口端設有端蓋，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，所述端蓋的上側面中心設有連接柱。

連接柱與自動檢測設備上的升降機構連接，晶元片安裝在滑動支架上，探針座向下移動一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測，然后探針座上移，滑動支架帶動晶元片移動一段距離，探針座下降檢測，依次循環，將晶元片上的所有晶元都檢測一次，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結果，極大的提高了晶元片的檢測效率；線路板、探針上端電連接都被封裝在凹腔內，受外界干擾小，具有良好的防水、防塵性能好；探針的兩端通過兩個絕緣夾套限位并與探針座之間絕緣，探針上端與導電套連接，探針下端通過限位凸環限位，探針長時間使用需要更換，只需要卸下導電套，卸下探針上端的絕緣夾套，然后將探針從下端抽出，更換上新的探針，探針更換非常方便。

作為優選，所述凹腔的側面設有引線孔，線路板上的數據線穿過引線孔，數據線的外端設有數據插頭，所述的引線孔內設有防水套。線路板上的數據線從引線孔處伸出，數據接頭與自動化設備上的接口直接連接，實現數據傳遞；防水套對引線孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽進入凹腔內導致探針短路。

作為優選，所述端蓋的下側面邊緣與線路板邊緣處設有密封圈。密封圈起到密封作用，防止外界水分進入凹腔內造成短路。

作為優選，所述的絕緣夾套包括夾套本體、設在夾套本體一端的擋圈，所述夾套本體的另一端外側面呈錐形。錐形便于夾套本體頭部能夠快速插入探針定位通孔內，擋圈露在探針定位通孔外部，便于取出絕緣夾套。

作為優選，所有探針的檢測端面為球面，所有探針的檢測端面共面。檢測端面與晶元接觸檢測，球面能確保與晶元接觸良好。

因此，本實用新型與自動檢測設備連接使用，極大提高晶元片的檢測效率；同時自身密封性能好，防水防塵性能好，穩定性好；探針損壞后更換非常方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖。

圖2為圖1的剖視圖。

圖3為圖2中A處局部放大示意圖。

圖4為圖2中B處局部放大示意圖。

圖中：探針座1、凹腔2、探針定位通孔3、探針4、絕緣夾套5、導電套6、導電柱7、環形階梯面8、線路板9、端蓋10、密封圈11、連接柱12、引線孔13、數據線14、數據插頭15、防水套16、限位凸環40、夾套本體50、擋圈51。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步描述：

如圖1和圖2所示的一種便于更換探針的晶元片檢測頭，包括探針座1，探針座1的上端中心設有凹腔2，凹腔底部設有若干探針定位通孔3，探針定位通孔內設有探針4，本實施例中的探針有16根，呈4X4的矩陣分布，探針定位通孔3的兩端設有套設在探針外側的絕緣夾套5，探針的下端伸出探針座底面，探針的檢測端面為球面，所有探針的檢測端面共面；如圖3所示，絕緣夾套5包括夾套本體50、設在夾套本體一端的擋圈51，夾套本體的另一端外側面呈錐形，探針4的下端表面位于絕緣夾套處設有限位凸環40，如圖4所示，探針的上端設有導電套6，導電套6的外端設有導電柱7，凹腔的內壁上設有環形階梯面8，環形階梯面上設有線路板9，線路板與導電柱之間電連接，凹腔的開口端設有端蓋10，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，端蓋的下側面邊緣與線路板邊緣處設有密封圈11，端蓋的上側面中心設有連接柱12；凹腔的側面設有引線孔13，線路板上的數據線14穿過引線孔，數據線的外端設有數據插頭15，引線孔內設有防水套16。

結合附圖，本實用新型的使用方法如下：連接柱與自動檢測設備上的升降機構連接，數據插頭與自動檢測設備上的插口連接，晶元片安裝在滑動支架上，探針座向下移動一次，4X4的探針分別與晶元片表面的4X4的晶元一一對應彈性接觸、檢測，然后探針座上移，滑動支架帶動晶元片移動一段距離，探針座下降檢測，依次循環，將晶元片上的所有晶元都檢測一次，檢測后直接從自動化檢測設備上讀取檢測結果，極大的提高了晶元片的檢測效率；線路板、探針與導電片的連接都被完全封裝在凹腔內，受外界干擾小，防水、防塵性能好；探針損壞后，更換非常方便。