一種提籃反向裝置的制作方法

本實用新型屬于半導(dǎo)體提籃治具領(lǐng)域，特別涉及一種提籃反向裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造、晶圓測試、芯片封裝和封裝后的測試組成。塑封之后，還要進(jìn)行一系列操作，如后固化、切筋和成型、電鍍以及打印等工藝。典型的封裝工藝流程為：劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、打印、切筋和成型、外觀檢查、成品測試和包裝出貨。提籃是放wafer的籃子，用于半導(dǎo)體制程的劃片、粘片工序中硅片、框架的周轉(zhuǎn)、存儲。劃片或粘片時鐵環(huán)會被切割，為防止二次切割會將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°，然后需要將鐵環(huán)再次轉(zhuǎn)回原角度，需要操作人員手動轉(zhuǎn)向；其不足之處在于：費時費力，作業(yè)繁瑣，操作人員需要將鐵環(huán)一片一片地放置轉(zhuǎn)向，容易刮傷產(chǎn)品。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種提籃反向裝置，使其能方便地將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°，避免刮傷產(chǎn)品。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：一種提籃反向裝置，包括矩形底板，底板上設(shè)有用于定位提籃的定位塊，所述定位塊共設(shè)置有四個，所述底板的每側(cè)設(shè)置有兩個定位塊，底板兩側(cè)的定位塊互相對稱分布，所述底板的下側(cè)設(shè)有導(dǎo)桿座，導(dǎo)桿座上滑動連接有若干互相平行的導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿延伸出底板的一端經(jīng)過渡板連接有豎直推板，所述底板上對應(yīng)推板設(shè)有矩形缺口，所述導(dǎo)桿的另一端固定連接有推進(jìn)把手，所述底板上還設(shè)有與提籃相貼合的豎直定位板。

本實用新型使用時，先將裝有wafer的提籃放置在靠近定位板的兩定位塊之間，再將空提籃放置在遠(yuǎn)離定位板的兩定位塊之間，空提籃緊貼裝有wafer的提籃，空提籃和裝有wafer的提籃反向放置，推動推進(jìn)把手，推板將wafer推至空提籃中，然后再將裝有wafer的提籃提起，然后將推進(jìn)把手拉回至原位，再將空提籃拿走，實現(xiàn)將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果在于：操作方便，能夠快速高效地將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°，避免產(chǎn)品被刮傷，更加安全，節(jié)省人力，降低成本。

為了更準(zhǔn)確地將提籃定位，所述底板上遠(yuǎn)離定位板的定位塊為L形定位塊。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述底板的下側(cè)設(shè)有支撐腿。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述過渡板為L形過渡板。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型使用時的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實用新型使用時的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為圖4的左視圖。

其中，1底板，2定位塊，3導(dǎo)桿座，4導(dǎo)桿，5過渡板，6推板，7推進(jìn)把手，8定位板，9支撐腿，10提籃，11 wafer。

具體實施方式

如圖1-5所示，為一種提籃反向裝置，包括矩形底板1，底板1上設(shè)有用于定位提籃10的定位塊2，定位塊2共設(shè)置有四個，底板1的每側(cè)設(shè)置有兩個定位塊2，底板1兩側(cè)的定位塊2互相對稱分布，底板1的下側(cè)設(shè)有導(dǎo)桿座3，導(dǎo)桿座3上滑動連接有若干互相平行的導(dǎo)桿4，導(dǎo)桿4延伸出底板1的一端經(jīng)過渡板5連接有豎直推板6，底板1上對應(yīng)推板6設(shè)有矩形缺口，導(dǎo)桿4的另一端固定連接有推進(jìn)把手7，底板1上還設(shè)有與提籃10相貼合的豎直定位板8。底板1上遠(yuǎn)離定位板8的定位塊2為L形定位塊。底板1的下側(cè)設(shè)有支撐腿9。過渡板5為L形過渡板。

本裝置使用時，先將裝有wafer11的提籃10放置在靠近定位板8的兩定位塊2之間，再將空提籃10放置在遠(yuǎn)離定位板8的兩定位塊2之間，空提籃10緊貼裝有wafer11的提籃10，空提籃10和裝有wafer11的提籃10反向放置，推動推進(jìn)把手，推板將wafer11推至空提籃10中，然后再將裝有wafer11的提籃10提起，然后將推進(jìn)把手7拉回至原位，再將空提籃10拿走，實現(xiàn)將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°。本裝置操作方便，能夠快速高效地將鐵環(huán)旋轉(zhuǎn)180°，避免產(chǎn)品被刮傷，更加安全，節(jié)省人力，降低成本。

本實用新型并不局限于上述實施例，在本實用新型公開的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)所公開的技術(shù)內(nèi)容，不需要創(chuàng)造性的勞動就可以對其中的一些技術(shù)特征作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。