一種機械設備的制作方法

本發明涉及半導體領域，特別是涉及一種機械設備。

背景技術：

隨著半導體集成電路的競爭不斷加劇，半導體集成電路代工廠將向高產能、低成本的方向發展，這對半導體機械設備的穩定性提出了更高的要求。半導體集成電路代工廠擴大產能后，半導體機械設備的使用率上升，設備的運動模塊磨損加大，導致設備的穩定性降低，進而導致設備裝載精度降低。例如，利用半導體上載具設備將基板或者蓋板裝載到載具上。載具一般具有定位柱，而基板或者蓋板在對應定位柱的位置具有定位孔。若在裝載過程中，設備偏離預定行進方向，可能會導致基板或者蓋板無法精確裝載到載具上，嚴重時可能會損壞載具上的定位柱。

技術實現要素：

本發明主要解決的技術問題是提供一種機械設備，能夠提高機械設備的穩定性。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種機械設備，包括：動力源；第一剛性件，由所述動力源驅動而運動；第二剛性件，與所述第一剛性件機械接觸以相對所述第一剛性件運動或靜止；第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件與所述第一剛性件具有相對關系，所述第二磁性件與所述第二剛性件具有相對關系，所述第一磁性件與所述第二磁性件通過磁力作用使得兩者的相對位置趨于第一預定狀態，進而使得所述第一剛性件與所述第二剛性件兩者的相對位置趨于第二預定狀態。

其中，所述第一磁性件是柱狀件，所述第二磁性件是中空管狀件，且所述柱狀件位于所述中空管狀件之內，所述柱狀件直徑小于所述中空管狀件內徑。

其中，所述第一預定狀態是指所述柱狀件外壁與所述中空管狀件內壁不接觸。

其中，所述第一磁性件是金屬柱。

其中，所述第二磁性件包括導磁套管和強磁體，所述強磁體均勻設置于所述導磁套管外圍，以在所述導磁套管內形成均勻朝向軸心或遠離軸心的磁場。

其中，所述第一預定狀態是指所述金屬柱與所述導磁套管內壁距離預定距離，所述預定距離為0.5mm-2.0mm。

其中，所述第二剛性件包括第一鈑金件；所述第二磁性件的所述強磁體的一面固定在所述第一鈑金件上。

其中，所述第一剛性件包括絲桿，所述絲桿的一端與所述動力源固定連接，所述第二預定狀態是指所述絲桿與所述第一鈑金件機械接觸以帶動所述第一鈑金件沿預定方向行進。

其中，所述設備進一步包括第二鈑金件，所述金屬柱兩端包括固定部，所述固定部固定在所述第二鈑金件上；所述金屬柱軸心與處于第二預定狀態下的所述絲桿軸心相互平行。

其中，當所述絲桿帶動所述第二鈑金件沿所述預定方向行進時，所述金屬柱與固定在所述第二鈑金件上的所述強磁體的相對位置處于所述第一預定狀態，所述絲桿與所述第二鈑金件的相對位置處于所述第二預定狀態；當所述絲桿帶動所述第二鈑金件偏離所述預定方向行進時，所述金屬柱的位置不變，固定在所述第二鈑金件上的所述強磁體與所述金屬柱的相對位置偏離所述第一預定狀態，所述金屬柱與所述強磁體之間產生使所述強磁體趨向回復到所述第一預定狀態的第一磁作用力，所述第一磁作用力進而帶動所述第二鈑金件及所述絲桿的位置趨向回復到所述第二預定狀態。

本發明的有益效果是：區別于現有技術的情況，本發明所提供的機械設備包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之間的磁力作用使得該兩者的相對位置趨于第一預定狀態，進而使得與第一磁性件具有相對關系的第一剛性件以及與第二磁性件具有相對關系的第二剛性件的相對位置趨于第二預定狀態，從而提高設備穩定性，進而提高設備的裝載精度。

附圖說明

圖1是本發明機械設備一實施方式的結構示意圖；

圖2是圖1中第一磁性件與第二磁性件的剖面圖；

圖3是圖1中第一磁性件與第二磁性件的又一剖面圖；

圖4是圖1中第一磁性件與第二磁性件偏離第一預定狀態時剖面圖。

具體實施方式

請參閱圖1，圖1為本發明機械設備一實施方式的結構示意圖，包括：

動力源10，具體地，動力源10可以是電動機或者其他能夠提供驅動力的部件。

第一剛性件12，由動力源10驅動而運動；具體地，第一剛性件12包括絲桿120，絲桿120的一端與動力源10固定連接，在動力源10的驅動下，絲桿120將回轉運動轉化為直線運行，在其他實施例中，也可為其他類型的傳動元件，本發明對此不作限定。

第二剛性件14，與第一剛性件12機械接觸以相對第一剛性件12運動或靜止；具體地，第二剛性件14包括第一鈑金件140，絲桿120與第一鈑金件140機械接觸以帶動第一鈑金件140沿預定方向行進；在其他實施例中，請繼續參閱圖1，為了減小絲桿120與第一鈑金件140的機械摩擦，第二剛性件14還包括與第一鈑金件140固定連接的滑軌141、142，在絲桿120的傳動作用下，使得第一鈑金件140通過滑軌141、142沿預定軌道(圖未示)行進。

第一磁性件16和第二磁性件18，第一磁性件16與第一剛性件12具有相對關系，第二磁性件18與第二剛性件14具有相對關系，第一磁性件16與第二磁性件18通過磁力作用使得兩者的相對位置趨于第一預定狀態，進而使得第一剛性件12與第二剛性件14兩者的相對位置趨于第二預定狀態；具體地，請結合圖2，圖2為圖1中第一磁性件16與第二磁性件18的剖面圖，第一磁性件16是柱狀件20，第二磁性件18是中空管狀件22，且柱狀件20位于中空管狀件22之內，柱狀件20直徑小于中空管狀件22內徑，柱狀件20受到中空管狀件22的磁作用力處于一個穩定平衡的第一預定狀態，該第一預定狀態是指柱狀件20外壁與中空管狀件22內壁不接觸。

在一個應用場景中，請繼續參閱圖1，第一磁性件16是金屬柱16，本發明所提供的機械設備進一步包括第二鈑金件(圖未示)，第二鈑金件處于固定位置，即當該機械設備運作時，該第二鈑金件的位置穩定不變,金屬柱16兩端包括固定部160、161，固定部160、161固定在第二鈑金件上，金屬柱16軸心與處于第二預定狀態時絲桿140軸心相互平行。也就是說，當本發明中的機械設備運作時，金屬柱16的位置固定，相對水平面靜止不動。在本實施例中，金屬柱16的固定方式可以是螺絲鉚接的方式，在其他實施例中，也可為其他固定方式。

在一個應用場景中，請參閱圖3，圖3為圖1中第一磁性件16與第二磁性件18的又一剖面圖。第二磁性件18包括導磁套管30和強磁體32，強磁體32的一面固定在第一鈑金件140上，固定方式可以是螺絲鉚接或者其他固定方式；強磁體32均勻設置于導磁套管30外圍，以在導磁套管30內形成均勻朝向軸心或遠離軸心的磁場，如圖3中的箭頭所示。當強磁體32由至少兩塊磁鐵組成時，導磁套管30還具有固定的作用，即可通過螺絲鉚接或者其他方式將強磁鐵32固定在導磁套管30上。另外在本實施例中，當金屬柱34與強磁體32處于第一預定狀態時，金屬柱34與導磁套管30內壁距離預定距離，預定距離為0.5mm-2.0mm。

請結合圖1、圖3、圖4，下面將詳細解釋第一磁性件16和第二磁性件18對機械設備的穩定作用。

當絲桿120帶動第一鈑金件140沿預定方向行進時，例如此時預定方向為垂直于水平面上下運動，固定在第一鈑金件140上的強磁體32也同時垂直于水平面上下運動，固定在第二鈑金件(圖未示)上的金屬柱16(34)靜止不動，此時金屬柱16(34)處于受力平衡狀態，即與固定在第一鈑金件140上的強磁體32的相對位置處于第一預定狀態，例如，此時金屬柱16(34)處于導磁套管30中心，且距離其內壁1.0mm，與此同時絲桿120與第一鈑金件140的相對位置處于第二預定狀態；

由于設備長期上下運轉，不可避免的會出現絲桿120帶動第一鈑金件140偏離預定方向行進的情況，例如此時絲桿120的運動方向向左偏移一定角度，進而帶動第一鈑金件140也會相應向左偏移一定角度，此時若不及時使絲桿120和第一鈑金件140的位置回復到第二預定狀態，即絲桿120與第一鈑金件140沿預定方向行進，絲桿120與第一鈑金件140左面機械接觸面磨損將加劇；金屬柱16(34)是固定在靜止不動的第二鈑金件(圖未示)上，金屬柱16(34)的位置固定不變，而強磁體32是固定在第一鈑金件140上，因此此時強磁體32與金屬柱16(34)的相對位置偏離第一預定狀態，例如，請參閱圖4，此時金屬柱16(34)向右偏離導磁套管30中心一定距離，金屬柱16(34)與強磁體32之間產生使強磁體32趨向回復到第一預定狀態的第一磁作用力，即使強磁體32向右偏移的第一磁作用力，第一磁作用力進而帶動第一鈑金件140及絲桿120的位置向右偏移，進而使其趨向回復到第二預定狀態。

在其他實施例中，也可以把第一磁性件16和第二磁性件18分別設置于所述絲桿120和第一鈑金件140，或直接將所述絲桿120和第一鈑金件140制作為第一磁性件16和第二磁性件18。

綜上所述，區別于現有技術的情況，本發明所提供的機械設備包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之間的磁力作用使得該兩者的相對位置趨于第一預定狀態，進而使得與第一磁性件具有相對關系的第一剛性件以及與第二磁性件具有相對關系的第二剛性件的相對位置趨于第二預定狀態，從而提高設備穩定性。

以上所述僅為本發明的實施方式，并非因此限制本發明的專利范圍，凡是利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發明的專利保護范圍內。