一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備的制作方法

本發明涉及一種晶圓清洗設備，尤其涉及一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備。

背景技術：

電子產品，是指供日常消費者生活使用之電子產品。它屬于特定的家用電器，內有電子元件，通常會應用于娛樂、通訊以及文書用途，例如電話、音響器材、電視機、DVD播放機甚至電子鐘等。消費電子產品于世界各地均有制造。從工業和信息化部運行監測協調局了解到，2012年1～11月，我國電子信息產品進出口總額10685億美元，同比增長4.1%，增速比1～10月提高0.8個百分點。

芯片或稱微電路、微芯片、集成電路，在電子學中是一種把電路（主要包括半導體設備，也包括被動組件等）小型化的方式，并通常制造在半導體晶圓表面上。在電子學中是一種把電路（主要包括半導體設備，也包括被動組件等）小型化的方式，并通常制造在半導體晶圓表面上。前述將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜集成電路。另有一種厚膜混成集成電路是由獨立半導體設備和被動組件，集成到襯底或線路板所構成的小型化電路。本文是關于單片集成電路，即薄膜集成電路。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓是生產集成電路所用的載體，一般意義晶圓多指單晶硅圓片。晶圓是最常用的半導體材料，按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規格，近來發展出12英寸甚至研發更大規格（14英吋、15英吋、16英吋……20英吋以上等）。晶圓越大，同一圓片上可生產的IC就越多，可降低成本；但對材料技術和生產技術的要求更高，例如均勻度等等的問題。一般認為硅晶圓的直徑越大，代表著這座晶圓廠有更好的技術，在生產晶圓的過程當中，良品率是很重要的條件。

電子產品主要靠其內的芯片來實現對其的控制，芯片若質量差，會導致理療儀在工作時不穩定，所以芯片是電子產品內極其重要的部分，芯片主要載體即為晶圓，所以晶圓的質量會影響到芯片的質量，晶圓在制作集成電路之前首先需要進行清洗，目前的晶圓清洗設備存在清洗效果差、清洗速度慢的缺點，因此亟需研發一種清洗效果好、清洗速度快的理療儀內置芯片生產用晶圓清洗設備。

技術實現要素：

（1）要解決的技術問題

本發明為了克服目前的晶圓清洗設備存在清洗效果差、清洗速度慢的缺點，本發明要解決的技術問題是提供一種清洗效果好、清洗速度快的理療儀內置芯片生產用晶圓清洗設備。

（2）技術方案

為了解決上述技術問題，本發明提供了這樣一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，包括有底板、左架、支撐桿、清洗池、出液管、閥門、網板、軸承座、轉軸、繞線輪、旋轉電機、攪拌葉片、第一定滑輪、第一拉線、支架、第二定滑輪、固定桿、固定板、凸起、滑軌、滑塊、頂板、第一彈簧、L型連桿、支桿、弧形擺動桿、頂塊、第二彈簧、固定環、第三定滑輪、第二拉線、鉸接部件、清洗箱、箱蓋和合頁，底板頂部左端焊接有左架，底板頂部右側右側對稱焊接有支撐桿，支撐桿頂端焊接有清洗池，清洗池右壁底部設有出液管，出液管上設有閥門，清洗池內下部通過螺釘連接的方式連接有網板，清洗池底部中心通過螺栓連接的方式連接有軸承座，軸承座內的軸承上過盈連接有轉軸，轉軸頂部左右對稱設有攪拌葉片，攪拌葉片位于清洗池內，轉軸下部通過鍵連接的方式連接有繞線輪，繞線輪上繞有第一拉線，底板頂部中間通過螺栓連接的方式連接有旋轉電機，旋轉電機的輸出軸通過聯軸器與轉軸連接，左架右側下部通過支架焊接有第一定滑輪和第二定滑輪，第二定滑輪位于第一定滑輪上方，左架右側中部對稱焊接有固定桿，固定桿右端焊接有固定板，固定板右側均勻焊接有凸起，左架右側上部通過螺栓連接的方式連接有滑軌，滑軌上滑動式連接有滑塊，滑塊與滑軌配合，第一拉線穿過左側支撐桿，繞過第一定滑輪和第二定滑輪，再穿過固定桿，并通過掛鉤連接的方式與滑塊底部連接，滑塊右側焊接有L型連桿，左架頂端焊接有頂板，頂板底部與L型連桿之間通過掛鉤連接的方式對稱連接有第一彈簧，L型連桿中部左側焊接有支桿，支桿左端通過鉸接部件連接有弧形擺動桿，弧形擺動桿左端焊接有頂塊，頂塊與凸起配合，L型連桿下部右側通過支架焊接有第三定滑輪，L型連桿底端通過鉸接部件連接有清洗箱，清洗箱上均勻開有通孔，清洗箱右壁底部通過螺釘連接的方式連接有合頁，合頁上通過螺釘連接的方式連接有箱蓋，固定環上固定有第二拉線，第二拉線繞過第三定滑輪，并且與清洗箱連接。

優選地，鉸接部件包括有凹形板、連接軸和旋轉板，連接軸固定安裝在凹形板上，在旋轉板上設置有通孔，連接軸穿過旋轉板上的通孔，并且旋轉板通過連接軸轉動，支桿上的鉸接部件的凹形板焊接在支桿的左端，支桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有弧形擺動桿，L型連桿上的鉸接部件的凹形板焊接在L型連桿的底端，L型連桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有清洗箱。

優選地，還包括有密封圈，清洗池內底部中心設有密封圈，密封圈與軸承座緊密接觸。

優選地，還包括有行程開關，滑軌右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關，行程開關均通過電路與旋轉電機連接。

優選地，旋轉電機為伺服電機。

優選地，清洗箱的材質為不銹鋼。

優選地，第一拉線和第二拉線的材質為鋼絲繩。

工作原理：當需要對晶圓進行清洗時，工人首先往清洗池內倒入五分之四的清洗劑，接著打開箱蓋，將需要清洗的晶圓放入到清洗箱內，然后工人控制旋轉電機順時針或逆時針旋轉，當旋轉電機順時針旋轉時，旋轉電機帶動轉軸順時針旋轉，轉軸帶動攪拌葉片和繞線輪順時針旋轉，攪拌葉片順時針旋轉攪動清洗劑，繞線輪順時針旋轉將第一拉線繞起，進而通過第一拉線帶動滑塊向下運動，從而帶動L型支桿及其上裝置向下運動，第一彈簧被拉伸，使得清洗箱浸入清洗劑內，并且因為頂塊與凸起配合，所以頂塊向下運動接觸到凸起時，頂塊會向右運動，帶動弧形擺動桿下端向右運動，第二彈簧被壓縮，進而帶動弧形擺動桿上端向左運動，固定環通過第二拉線拉動清洗箱向右擺動，當頂塊與凸起的最右端脫離時，弧形擺動桿下端在第二彈簧的彈力作用下向左運動，進而帶動弧形擺動桿上端向右運動，第二拉線被放松，使得清洗箱在慣性作用下向左擺動，當旋轉電機逆時針旋轉時，旋轉電機帶動轉軸逆時針旋轉，轉軸帶動攪拌葉片和繞線輪逆時針旋轉，攪拌葉片逆時針旋轉攪動清洗劑，繞線輪逆時針旋轉將第一拉線放開，L型支桿及其上裝置在第一彈簧的彈力作用下向上運動，使得清洗箱逐步脫離清洗劑，并且清洗箱繼續左右擺動，如此反復，攪拌葉片不斷攪動清洗劑，并且清洗箱不斷浸入到清洗劑內，使得清洗劑對清洗箱內的晶圓進行清洗，清洗箱不斷左右擺動，使得其內的晶圓不斷翻動，達到了均勻清洗的效果。當晶圓清洗完成，且清洗箱回到初始位置后，工人控制旋轉電機停止工作，接著打開箱蓋將其內的晶圓取出進行下一步工作，然后工人將閥門打開，清洗劑通過出液管流出，工人對其進行收集，因為有網板的作用，清洗過程中產生的垃圾被網板過濾，保證了清洗劑的循環利用，當清洗劑全部收集完畢后，工人將閥門關閉，并將網板上的垃圾清理干凈。

因為鉸接部件包括有凹形板、連接軸和旋轉板，連接軸固定安裝在凹形板上，在旋轉板上設置有通孔，連接軸穿過旋轉板上的通孔，并且旋轉板通過連接軸轉動，支桿上的鉸接部件的凹形板焊接在支桿的左端，支桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有弧形擺動桿，L型連桿上的鉸接部件的凹形板焊接在L型連桿的底端，L型連桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有清洗箱，該鉸接部件擺動靈活，使裝置的使用壽命更長。

因為還包括有密封圈，清洗池內底部中心設有密封圈，密封圈與軸承座緊密接觸，防止清洗劑泄漏。

因為還包括有行程開關，滑軌右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關，行程開關均通過電路與旋轉電機連接，當滑塊向下運動觸碰到下側行程開關時，下側行程開關控制旋轉電機逆時針旋轉，當滑塊向上運動觸碰到上側行程開關時，上側行程開關控制旋轉電機順時針旋轉，如此，使得操作更加方便、準確，避免了誤操作導致裝置損壞。

因為旋轉電機為伺服電機，伺服電機能更好的控制其轉速，方便調節清洗使得頻率。

因為清洗箱的材質為不銹鋼，不銹鋼耐腐蝕，有效延長了裝置的使用壽命。

因為第一拉線和第二拉線的材質為鋼絲繩，鋼絲繩不易斷裂，有效延長了裝置的使用壽命。

（3）有益效果

本發明達到了清洗效果好、清洗速度快的效果，并且結構簡單、操作方便，減小了工人的勞動強度，提高了工人的工作效率，晶圓表面清洗徹底，提高了芯片生產的質量，進而提升了企業的效益。

附圖說明

圖1為本發明的第一種主視結構示意圖。

圖2為本發明鉸接部件的立體結構示意圖。

圖3為本發明的第二種主視結構示意圖。

圖4為本發明的第三種主視結構示意圖。

附圖中的標記為：1-底板，2-左架，3-支撐桿，4-清洗池，5-出液管，6-閥門，7-網板，8-軸承座，9-轉軸，10-繞線輪，11-旋轉電機，12-攪拌葉片，13-第一定滑輪，14-第一拉線，15-支架，16-第二定滑輪，17-固定桿，18-固定板，19-凸起，20-滑軌，21-滑塊，22-頂板，23-第一彈簧，24-L型連桿，25-支桿，26-弧形擺動桿，27-頂塊，28-第二彈簧，29-固定環，30-第三定滑輪，31-第二拉線，32-鉸接部件，321-凹形板，322-連接軸，323-旋轉板，33-清洗箱，34-通孔，35-箱蓋，36-合頁，37-密封圈，38-行程開關。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的說明。

實施例1

一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備，如圖1-4所示，包括有底板1、左架2、支撐桿3、清洗池4、出液管5、閥門6、網板7、軸承座8、轉軸9、繞線輪10、旋轉電機11、攪拌葉片12、第一定滑輪13、第一拉線14、支架15、第二定滑輪16、固定桿17、固定板18、凸起19、滑軌20、滑塊21、頂板22、第一彈簧23、L型連桿24、支桿25、弧形擺動桿26、頂塊27、第二彈簧28、固定環29、第三定滑輪30、第二拉線31、鉸接部件32、清洗箱33、箱蓋35和合頁36，底板1頂部左端焊接有左架2，底板1頂部右側右側對稱焊接有支撐桿3，支撐桿3頂端焊接有清洗池4，清洗池4右壁底部設有出液管5，出液管5上設有閥門6，清洗池4內下部通過螺釘連接的方式連接有網板7，清洗池4底部中心通過螺栓連接的方式連接有軸承座8，軸承座8內的軸承上過盈連接有轉軸9，轉軸9頂部左右對稱設有攪拌葉片12，攪拌葉片12位于清洗池4內，轉軸9下部通過鍵連接的方式連接有繞線輪10，繞線輪10上繞有第一拉線14，底板1頂部中間通過螺栓連接的方式連接有旋轉電機11，旋轉電機11的輸出軸通過聯軸器與轉軸9連接，左架2右側下部通過支架15焊接有第一定滑輪13和第二定滑輪16，第二定滑輪16位于第一定滑輪13上方，左架2右側中部對稱焊接有固定桿17，固定桿17右端焊接有固定板18，固定板18右側均勻焊接有凸起19，左架2右側上部通過螺栓連接的方式連接有滑軌20，滑軌20上滑動式連接有滑塊21，滑塊21與滑軌20配合，第一拉線14穿過左側支撐桿3，繞過第一定滑輪13和第二定滑輪16，再穿過固定桿17，并通過掛鉤連接的方式與滑塊21底部連接，滑塊21右側焊接有L型連桿24，左架2頂端焊接有頂板22，頂板22底部與L型連桿24之間通過掛鉤連接的方式對稱連接有第一彈簧23，L型連桿24中部左側焊接有支桿25，支桿25左端通過鉸接部件32連接有弧形擺動桿26，弧形擺動桿26左端焊接有頂塊27，頂塊27與凸起19配合，L型連桿24下部右側通過支架15焊接有第三定滑輪30，L型連桿24底端通過鉸接部件32連接有清洗箱33，清洗箱33上均勻開有通孔34，清洗箱33右壁底部通過螺釘連接的方式連接有合頁36，合頁36上通過螺釘連接的方式連接有箱蓋35，固定環29上固定有第二拉線31，第二拉線31繞過第三定滑輪30，并且與清洗箱33連接。

鉸接部件32包括有凹形板321、連接軸322和旋轉板323，連接軸322固定安裝在凹形板321上，在旋轉板323上設置有通孔34，連接軸322穿過旋轉板323上的通孔34，并且旋轉板323通過連接軸322轉動，支桿25上的鉸接部件32的凹形板321焊接在支桿25的左端，支桿25上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有弧形擺動桿26，L型連桿24上的鉸接部件32的凹形板321焊接在L型連桿24的底端，L型連桿24上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有清洗箱33。

還包括有密封圈37，清洗池4內底部中心設有密封圈37，密封圈37與軸承座8緊密接觸。

還包括有行程開關38，滑軌20右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關38，行程開關38均通過電路與旋轉電機11連接。

旋轉電機11為伺服電機。

清洗箱33的材質為不銹鋼。

第一拉線14和第二拉線31的材質為鋼絲繩。

工作原理：當需要對晶圓進行清洗時，工人首先往清洗池4內倒入五分之四的清洗劑，接著打開箱蓋35，將需要清洗的晶圓放入到清洗箱33內，然后工人控制旋轉電機11順時針或逆時針旋轉，當旋轉電機11順時針旋轉時，旋轉電機11帶動轉軸9順時針旋轉，轉軸9帶動攪拌葉片12和繞線輪10順時針旋轉，攪拌葉片12順時針旋轉攪動清洗劑，繞線輪10順時針旋轉將第一拉線14繞起，進而通過第一拉線14帶動滑塊21向下運動，從而帶動L型支桿25及其上裝置向下運動，第一彈簧23被拉伸，使得清洗箱33浸入清洗劑內，并且因為頂塊27與凸起19配合，所以頂塊27向下運動接觸到凸起19時，頂塊27會向右運動，帶動弧形擺動桿26下端向右運動，第二彈簧28被壓縮，進而帶動弧形擺動桿26上端向左運動，固定環29通過第二拉線31拉動清洗箱33向右擺動，當頂塊27與凸起19的最右端脫離時，弧形擺動桿26下端在第二彈簧28的彈力作用下向左運動，進而帶動弧形擺動桿26上端向右運動，第二拉線31被放松，使得清洗箱33在慣性作用下向左擺動，當旋轉電機11逆時針旋轉時，旋轉電機11帶動轉軸9逆時針旋轉，轉軸9帶動攪拌葉片12和繞線輪10逆時針旋轉，攪拌葉片12逆時針旋轉攪動清洗劑，繞線輪10逆時針旋轉將第一拉線14放開，L型支桿25及其上裝置在第一彈簧23的彈力作用下向上運動，使得清洗箱33逐步脫離清洗劑，并且清洗箱33繼續左右擺動，如此反復，攪拌葉片12不斷攪動清洗劑，并且清洗箱33不斷浸入到清洗劑內，使得清洗劑對清洗箱33內的晶圓進行清洗，清洗箱33不斷左右擺動，使得其內的晶圓不斷翻動，達到了均勻清洗的效果。當晶圓清洗完成，且清洗箱33回到初始位置后，工人控制旋轉電機11停止工作，接著打開箱蓋35將其內的晶圓取出進行下一步工作，然后工人將閥門6打開，清洗劑通過出液管5流出，工人對其進行收集，因為有網板7的作用，清洗過程中產生的垃圾被網板7過濾，保證了清洗劑的循環利用，當清洗劑全部收集完畢后，工人將閥門6關閉，并將網板7上的垃圾清理干凈。

因為鉸接部件32包括有凹形板321、連接軸322和旋轉板323，連接軸322固定安裝在凹形板321上，在旋轉板323上設置有通孔34，連接軸322穿過旋轉板323上的通孔34，并且旋轉板323通過連接軸322轉動，支桿25上的鉸接部件32的凹形板321焊接在支桿25的左端，支桿25上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有弧形擺動桿26，L型連桿24上的鉸接部件32的凹形板321焊接在L型連桿24的底端，L型連桿24上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有清洗箱33，該鉸接部件32擺動靈活，使裝置的使用壽命更長。

因為還包括有密封圈37，清洗池4內底部中心設有密封圈37，密封圈37與軸承座8緊密接觸，防止清洗劑泄漏。

因為還包括有行程開關38，滑軌20右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關38，行程開關38均通過電路與旋轉電機11連接，當滑塊21向下運動觸碰到下側行程開關38時，下側行程開關38控制旋轉電機11逆時針旋轉，當滑塊21向上運動觸碰到上側行程開關38時，上側行程開關38控制旋轉電機11順時針旋轉，如此，使得操作更加方便、準確，避免了誤操作導致裝置損壞。

因為旋轉電機11為伺服電機，伺服電機能更好的控制其轉速，方便調節清洗使得頻率。

因為清洗箱33的材質為不銹鋼，不銹鋼耐腐蝕，有效延長了裝置的使用壽命。

因為第一拉線14和第二拉線31的材質為鋼絲繩，鋼絲繩不易斷裂，有效延長了裝置的使用壽命。

以上所述實施例僅表達了本發明的優選實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形、改進及替代，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。