1.一種柔性互連金屬的制造方法:其流程包括:(1)在柔性基板上涂覆一層正性光刻膠,光刻并定義出凹凸不平的結構;(2)在基板上濺射鈦/金兩層金屬;(3)在鈦/金金屬上涂覆一層反轉膠,光刻并定義出互聯金屬線條;(4)蒸發鎳/金兩層金屬;(5)剝離頂層光刻膠,刻蝕底層鈦/金金屬層,采用丙酮清洗底層正性光刻膠,形成彎曲的互連金屬。
2.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(1)中所述的正性光刻膠的厚度為4-6微米;
3.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(1)中所述的凹凸不平的結構是有一定角度的,從凹處到凸處的角度小于70度,而且有一定的弧度,可以通過對光刻膠進行熱回流形成;也可以通過等離子體表面處理形成。
4.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(2)中濺射鈦/金兩層金屬的厚度為20/50納米。
5.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(3)中涂覆的反轉膠的厚度為2微米。
6.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(4)中蒸發的金屬為鎳/金兩層金屬,其厚度為30/500納米。
7.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(5)中剝離光刻膠的方法為采用單點噴射丙酮的方式,將具有一定壓力和溫度的丙酮噴灑到基板表面,將頂層的反轉膠剝離掉。
8.根據權利要求1所述的一種柔性互連金屬的制造方法,其特征在于:步驟(5)中刻蝕鈦/金的方法是反應離子刻蝕,采用的氣體為氯氣。