一種高效硅片脫膠裝置的制作方法

本發明涉及多晶硅生產的技術領域，特別是硅片脫膠槽的技術領域。

背景技術：

硅片表面的清潔度是影響硅片合格率和電池轉換效率的關鍵因素。為獲得潔凈度較高的硅片，往往硅片在經過線切割后需要脫膠清洗和精細清洗兩個部分。現有的脫膠裝置脫膠效果不夠理想，脫膠完成后容易產生大量的殘留，不利于后面的清洗。

技術實現要素：

本發明的目的就是解決現有技術中的問題，提出一種高效硅片脫膠裝置，能夠使硅片脫膠效果提高，同時提高脫膠效率。

為實現上述目的，本發明提出了一種高效硅片脫膠裝置，包括固定環形機架、活動環形機架、脫膠支架、第一脫膠槽、第二脫膠槽、濾液槽，所述固定環形機架底部安裝有一可轉動的活動環形機架，活動環形機架底部安裝有5個相互獨立的伸縮桿，伸縮桿底部固定有脫膠支架，所述脫膠支架由頂板、豎直立柱、U型框、擋板組成，所述頂板底部固定有4根豎直立柱，4根豎直立柱組成一矩形陣列，所述豎直立柱所圍區域內自上向下固定有若干水平設置的U型框，U型框截面呈L形，所有U型框的開口端均朝向一側，所述頂板底部固定有一可拆卸的擋板，擋板位于U型框的開口側，所述活動環形機架下方設有第一脫膠槽、第二脫膠槽和濾液槽，所述第一脫膠槽底部安裝有第一排液管，第一排液管上安裝有第一排液閥，所述第一脫膠槽與第二脫膠槽之間有通過第二排液管相連，第二排液管上安裝有第二排液閥，所述第一脫膠槽和第二脫膠槽側壁上均設有若干加熱管，所述濾液槽位于第二脫膠槽的一側，濾液槽側壁上設有若干吹風口。

作為優選，所述第一脫膠槽、第二脫膠槽和濾液槽均呈圓弧形，第一脫膠槽、第二脫膠槽和濾液槽的弧形圓心與活動環形機架的圓心位于同一豎直軸線上。

作為優選，所述第二脫膠槽與濾液槽共用一個側壁，第二脫膠槽與濾液槽共用的側壁上開設有連通孔。

作為優選，所述第一脫膠槽、第二脫膠槽、濾液槽底部均設有支撐腳。

作為優選，所述第二脫膠槽底壁向一側傾斜，第二排液管的進液端位于第二脫膠槽底壁的最低處，第二排液管的出液端位于第一脫膠槽的中部。

作為優選，所述第一脫膠槽和第二脫膠槽內均設有超聲波發生裝置。

作為優選，所述所述擋板緊貼兩根豎直立柱，擋板通過若干螺栓與豎直立柱相連。

本發明的有益效果：本發明通過將脫膠支架通過伸縮桿與活動環形機架相連，使得脫膠支架可自動經過第一脫膠槽、第二脫膠槽、濾液槽，使用方便，提高了脫膠效率；第二脫膠槽設置在第一脫膠槽的一側，使得硅片可得到兩次脫膠，提高脫膠效果和脫膠效率；第二排液管和連通孔的設置可以有效的提高脫膠液的利用率；吹風口的設置可以有效的將硅片上殘留的脫膠液吹干，間接提高了脫膠效果；U型框設置在豎直立柱所圍區域內，使得待脫膠的硅片可相互分開，使得硅片可與脫膠液充分接觸，提高脫膠效率；擋板的設置可以有效的避免硅片從U型框中滑出，有效的保護了硅片的安全。

本發明的特征及優點將通過實施例結合附圖進行詳細說明。

【附圖說明】

圖1是本發明一種高效硅片脫膠裝置的主視圖；

圖2是本發明一種高效硅片脫膠裝置的俯視圖；

圖3是本發明一種高效硅片脫膠裝置的脫膠支架主視圖；

圖4是本發明一種高效硅片脫膠裝置的脫膠支架仰視圖。

圖中：1-第一脫膠槽、2-第二脫膠槽、3-濾液槽、4-固定環形機架、5-脫膠支架、6-頂板、7-豎直立柱、10-第一排液管、11-第一排液閥、15-加熱管、16-超聲波發生裝置、19-支撐腳、20-第二排液管、21-第二排液閥、30-連通孔、31-吹風口、40-活動環形機架、41-伸縮桿、70-U型框、71-擋板、72-螺栓。

【具體實施方式】

參閱圖1、圖2、圖3和圖4，本發明一種高效硅片脫膠裝置，包括固定環形機架4、活動環形機架40、脫膠支架5、第一脫膠槽1、第二脫膠槽2、濾液槽3，所述固定環形機架4底部安裝有一可轉動的活動環形機架40，活動環形機架40底部安裝有5個相互獨立的伸縮桿41，伸縮桿41底部固定有脫膠支架5，所述脫膠支架5由頂板6、豎直立柱7、U型框70、擋板71組成，所述頂板6底部固定有4根豎直立柱7，4根豎直立柱7組成一矩形陣列，所述豎直立柱7所圍區域內自上向下固定有若干水平設置的U型框70，U型框70截面呈L形，所有U型框70的開口端均朝向一側，所述頂板6底部固定有一可拆卸的擋板71，擋板71位于U型框70的開口側，所述活動環形機架40下方設有第一脫膠槽1、第二脫膠槽2和濾液槽3，所述第一脫膠槽1底部安裝有第一排液管10，第一排液管10上安裝有第一排液閥11，所述第一脫膠槽1與第二脫膠槽2之間有通過第二排液管20相連，第二排液管20上安裝有第二排液閥21，所述第一脫膠槽1和第二脫膠槽2側壁上均設有若干加熱管15，所述濾液槽3位于第二脫膠槽2的一側，濾液槽3側壁上設有若干吹風口31，所述第一脫膠槽1、第二脫膠槽2和濾液槽3均呈圓弧形，第一脫膠槽1、第二脫膠槽2和濾液槽3的弧形圓心與活動環形機架40的圓心位于同一豎直軸線上，所述第二脫膠槽2與濾液槽3共用一個側壁，第二脫膠槽2與濾液槽3共用的側壁上開設有連通孔30，所述第一脫膠槽1、第二脫膠槽2、濾液槽3底部均設有支撐腳19，所述第二脫膠槽2底壁向一側傾斜，第二排液管20的進液端位于第二脫膠槽2底壁的最低處，第二排液管20的出液端位于第一脫膠槽1的中部，所述第一脫膠槽1和第二脫膠槽2內均設有超聲波發生裝置16，所述所述擋板71緊貼兩根豎直立柱7，擋板71通過若干螺栓72與豎直立柱7相連。

本發明工作過程：

本發明一種高效硅片脫膠裝置在工作過程中硅片裝在脫膠支架5內，活動環形機架40帶動脫膠支架5依次放入第一脫膠槽1進行第一次脫膠、第二脫膠槽2進行第二次脫膠，然后放入濾液槽3內將硅片上殘留的液體吹走，然后活動環形支架40將脫膠支架5移出，卸下擋板71，將硅片取出，然后裝入待脫膠的硅片，裝上擋板71，5個脫膠支架5每個對應一個步驟，如此往復循環，脫膠效率高，且脫膠效果明顯。

上述實施例是對本發明的說明，不是對本發明的限定，任何對本發明簡單變換后的方案均屬于本發明的保護范圍。