層疊電感器的制作方法

本發明涉及層疊電感器，尤其涉及在層疊構造中內置線圈導體的層疊電感器。
背景技術：
：本發明所關注的層疊電感器具備具有將多個絕緣體層進行層疊而成的層疊構造的部件主體，并且在該部件主體的內部設置有線圈導體。線圈導體具有延伸成沿著絕緣體層之間的界面分別形成環狀的軌道的一部分的多個旋回導體層、以及在厚度方向上貫通絕緣體層的多個通孔導體而構成，并且通過這些旋回導體層和通孔導體交替地連接而成為以螺旋狀延伸的形態。已知在這樣的層疊電感器中，其電特性與以螺旋狀延伸的形態設置在部件主體的內部的線圈導體的內徑緊密相關，通過增大線圈導體的內徑，能夠提高q值。基于上述那樣的見解，以得到較高的q值為主要目的而提出的技術例如被記載于日本特開2010-165975號公報(專利文獻1)中。在專利文獻1所記載的層疊電感器中，第一外部端子電極及第二外部端子電極分別被形成為埋入部件主體的內部并以l字狀延伸。而且，構成線圈導體的主要部分的旋回導體層延伸成其外周邊緣不僅沿著部件主體的外周面還沿著第一外部端子電極及第二外部端子電極的以l字狀延伸的內邊緣。此時，通過使旋回導體層成為在多處彎曲的形狀，從而使旋回導體層與第一外部端子電極及第二外部端子電極的各內邊緣接近，并且在線圈導體中實現盡可能大的內徑。專利文獻1：日本特開2010-165975號公報根據上述專利文獻1所記載的層疊電感器，可知：雖然線圈導體的內徑增大，從而能夠得到較高的q值，但增大了線圈導體的內徑的結果是會遇到其他的問題。即，在各個外部端子電極與線圈導體之間多少會產生電位差，因此無法避免在此產生雜散電容。在專利文獻1所記載的層疊電感器中，增大線圈導體的內徑，所以如上述那樣，使構成線圈導體的主要部分的旋回導體層的外周邊緣與各外部端子電極的內邊緣接近。因此，導致在各個外部端子電極與線圈導體之間產生比較大的雜散電容。該雜散電容導致層疊電感器的自諧振頻率的降低，其結果是，使高頻域內的q值降低。技術實現要素：因此，本發明的目的在于解決上述的課題，提供一種能夠得到較高的q值的層疊電感器。本發明的層疊電感器具備部件主體。部件主體為具備相互對置的上表面及下表面、以及連結上表面及下表面之間的相互對置的第一側面及第二側面和相互對置的第一端面及第二端面的長方體形狀，并具有由多個絕緣體層在與側面正交的方向上層疊而成的層疊構造。在該部件主體的內部配置有線圈導體。線圈導體具有延伸成沿著絕緣體層之間的界面分別形成環狀的軌道的一部分的多個旋回導體層、以及在厚度方向上貫通絕緣體層的多個通孔導體而構成，通過旋回導體層與通孔導體交替地連接而成為以螺旋狀延伸的形態。另外，設置有分別與線圈導體的一端及另一端電連接的第一外部端子電極及第二外部端子電極。并且，分別連接線圈導體的一端及另一端與第一外部端子電極及第二外部端子電極的第一引出導體層及第二引出導體層沿著絕緣體層之間的界面形成。在這樣的層疊電感器中，本發明的特征在于：為了解決上述的技術課題，而具備如下結構。第一外部端子電極被設置為在至少一部分埋入部件主體的內部的狀態下，形成從第一端面的下半部到下表面的中途以l字狀延伸的露出面。第二外部端子電極被設置為至少一部分埋入部件主體的內部，并且以在下表面上與上述第一外部端子電極形成規定長度的間隙的方式形成從第二端面的下半部到下表面的中途以l字狀延伸的露出面。另外，線圈導體中的旋回導體層具有：下邊部分，其與下表面平行地以直線狀延伸；第一側邊部分及第二側邊部分，它們分別與第一端面及第二端面的上半部平行地以直線狀延伸；第一斜邊部分，其相對于下表面以傾斜方向連結下邊部分的第一端面側的端部與第一側邊部分的下端部；以及第二斜邊部分，其相對于下表面以傾斜方向連結下邊部分的第二端面側的端部與第二側邊部分的下端部。上述下邊部分具有比上述間隙的長度短的長度而位于間隙的范圍內。這樣，在本發明中，利用第一斜邊部分及第二斜邊部分的形狀和下邊部分的位置來確保對能夠產生的雜散電容的大小帶來影響的、形成于外部端子電極與旋回導體層之間的間隔的大小，由此將在外部端子電極與旋回導體層之間產生的雜散電容抑制得較小。在本發明中，優選從第一外部端子電極的l字狀的內角部向第一斜邊部分的外周邊緣引出的垂線的長度a1、以及從第二外部端子電極的l字狀的內角部向第二斜邊部分的外周邊緣引出的垂線的長度a2均為80μm以上。另外，在本發明中，優選從第一外部端子電極的沿著下表面延伸的部分中的最接近第一斜邊部分的端部向第一斜邊部分的外周邊緣引出的垂線的長度b1、以及從第二外部端子電極的沿著下表面延伸的部分中的最接近第二斜邊部分的端部向第二斜邊部分的外周邊緣引出的垂線的長度b2均為10μm以上且50μm以下。如上述優選的實施方式那樣，關于規定對能夠產生的雜散電容的大小帶來影響的、形成于外部端子電極與旋回導體層之間的間隔的大小的幾個尺寸值，若能夠提供可以較可靠地將雜散電容抑制得較小的條件，則能夠在層疊電感器中給予有利的設計方針。在本發明中，優選長度a1與長度a2彼此相等，并且長度b1與長度b2彼此相等。若這樣構成，則能夠在層疊電感器的安裝中消除方向性。根據本發明的層疊電感器，如上述那樣，由于能夠將在外部端子電極與旋回導體層之間產生的雜散電容抑制得較小，所以能夠將在整個層疊電感器能夠產生的雜散電容抑制得較小，由此，能夠提高自諧振頻率，其結果是，能夠提高高頻域內的q值。附圖說明圖1是示出本發明的一實施方式所涉及的層疊電感器1的外觀的立體圖。圖2是分解示出圖1所示的層疊電感器1的立體圖。圖3是沿線圈導體的中心軸線方向透視觀察圖1所示的層疊電感器1并示意性地示出的圖。圖4是示出關于在使從外部端子電極的l字狀的內角部向旋回導體層的斜邊部分的外周邊緣引出的垂線的長度a變化時自諧振頻率如何變化，通過電磁場模擬而求出的結果的圖。附圖標記說明：1…層疊電感器；2…部件主體；3…上表面；4…下表面；5、6…側面；7、8…端面；9a～9f…絕緣體層；10a～10e、10…旋回導體層；11a～11d…通孔導體；12…線圈導體；13a～13h…通孔焊盤；15、16…外部端子電極；15a、16a…外部端子電極的內角部；15b、16b…外部端子電極的端部；17、18…引出導體層；19…下邊部分；20、21…側邊部分；22、23…斜邊部分；22a、23a…斜邊部分的外周邊緣；g…間隙。具體實施方式如圖1所示，本發明的一實施方式所涉及的層疊電感器1具備部件主體2。部件主體2為具備相互對置的上表面3及下表面4、以及連結這些上表面3及下表面4之間的相互對置的第一側面5及第二側面6和相互對置的第一端面7及第二端面8的長方體形狀。部件主體2具有圖2所示的將多個絕緣體層9a～9f層疊而成的層疊構造。這些絕緣體層9a～9f在與側面5及側面6(參照圖1)正交的方向上層疊。此外，對于絕緣體層9a～9f中的位于兩端的絕緣體層9a及9f而言，為了看出它們比其余的絕緣體層9b～9e厚，而圖示為由多個絕緣體層構成的層疊體。在部件主體2的內部配置有線圈導體12，該線圈導體12通過交替地連接多個旋回導體層10a～10e與多個通孔導體11a～11d而成為以螺旋狀延伸的形態，上述多個旋回導體層10a～10e延伸為沿著絕緣體層9a～9f之間的任意一個界面分別形成環狀的軌道的一部分，上述多個通孔導體11a～11d在厚度方向上貫通絕緣體層9b～9e中的任意一個。另外，旋回導體層10a～10e在與通孔導體11a～11d的連接部分形成有比較寬的通孔焊盤13a～13h。更加詳細而言，線圈導體12由依次連接的旋回導體層10a、通孔導體11a、旋回導體層10b、通孔導體11b、旋回導體層10c、通孔導體11c、旋回導體層10d、通孔導體11d以及旋回導體層10e構成。這里，通孔導體11a經由通孔焊盤13a與旋回導體層10a連接，并經由通孔焊盤13b與旋回導體層10b連接。接下來，通孔導體11b經由通孔焊盤13c與旋回導體層10b連接，并經由通孔焊盤13d與旋回導體層10c連接。接下來，通孔導體11c經由通孔焊盤13e與旋回導體層10c連接，并經由通孔焊盤13f與旋回導體層10d連接。接下來，通孔導體11d經由通孔焊盤13g與旋回導體層10d連接，并經由通孔焊盤13h與旋回導體層10e連接。此外，對于依次連接來構成線圈導體12的旋回導體層10a～10e以及通孔導體11a～11d的數量、線圈導體12的匝數以及絕緣體層9a～9f的層疊數而言，并不局限于圖示的構造，能夠任意地變更。層疊電感器1具備第一外部端子電極15以及第二外部端子電極16。如圖1明確所示那樣，第一外部端子電極15被設置為形成從第一端面7的下半部到下表面4的中途以l字狀延伸的露出面。第二外部端子電極16被設置為以在下表面4上與第一外部端子電極15形成規定長度的間隙g的方式形成從第二端面8的下半部到下表面4的中途以l字狀延伸的露出面。在該實施方式中，外部端子電極15以及外部端子電極16分別成為除了上述露出面之外都被埋入部件主體2的內部的狀態。從沿絕緣體層9a與絕緣體層9b之間的界面設置的旋回導體層10a一體延伸的第一引出導體層17與第一外部端子電極15連接。另一方面，從沿絕緣體層9e與沿絕緣體層9f之間的界面設置的旋回導體層10e一體延伸的第二引出導體層18與第二外部端子電極16連接。這樣一來，線圈導體12的一端經由第一引出導體層17與第一外部端子電極15連接，線圈導體12的另一端經由第二引出導體層18與第二外部端子電極16連接。該層疊電感器1在安裝于電路基板(未圖示)時，下表面4成為面向電路基板的安裝面。因此，由線圈導體12施加的磁通量的方向與安裝面平行。層疊電感器1優選如下那樣制造。基本而言，應用了如下技術：通過在載體膜上通過印刷來涂敷例如以硼硅玻璃為主要成分的光敏絕緣體膏，來形成應成為絕緣體層9a～9f的多個絕緣體膏層的技術；使用例如以ag為金屬主要成分的光敏導電性膏來在特定的絕緣體膏層形成旋回導體層10a～10e等布線導體的技術；在特定的絕緣體膏層形成用于配置通孔導體11a～11d或者外部端子電極15及外部端子電極16的孔或者槽的技術；層疊多個絕緣體膏層并切割成規定的尺寸，之后進行燒制的技術。1.為了制成圖2所示的絕緣體層9a，通過反復進行在載體膜上印刷上述光敏絕緣體膏，來形成成為多層的光敏絕緣體膏層。這里，在作為絕緣體層9a的一部分的、應作為成為最外層的絕緣體層的光敏絕緣體膏層上，將其全面曝光在紫外線下。此外，為了容易進行層疊電感器1的安裝時的翻轉等檢測，優選對所得的作為最外層的絕緣體層實施與其他的絕緣體層不同的著色。另外，在作為絕緣體層9a的其余的一部分的、應成為形成有外部端子電極15以及外部端子電極16的絕緣體層的光敏絕緣體膏層上，應用光刻技術來形成用于配置外部端子電極15以及外部端子電極16的槽，并在該槽中填充光敏導電性膏。2.為了制成圖2所示的絕緣體層9b～9e，在載體膜上形成應成為各個絕緣體層9b～9e的光敏絕緣體膏層，對光敏絕緣體膏層應用光刻技術來形成用于配置通孔導體11a～11d的孔以及用于配置外部端子電極15以及外部端子電極16的槽。接下來，在上述光敏絕緣體膏層上通過印刷來涂敷光敏導電性膏層。此時，光敏導電性膏被填充至用于配置上述的通孔導體11a～11d的孔和用于配置外部端子電極15以及外部端子電極16的槽。接下來，對上述光敏導電性膏層應用光刻技術進行圖案化，以便得到具有通孔焊盤13a～13g的旋回導體層10a～10d。3.為了制成圖2所示的絕緣體層9f，通過反復進行在載體膜上印刷上述光敏絕緣體膏，來形成成為多層的光敏絕緣體膏層。這里，在作為絕緣體層9f的一部分的、應作為成為最外層的絕緣體層的光敏絕緣體膏層上，與上述絕緣體層9a的情況相同，將其全面曝光在紫外線下。而且，優選被實施與其他的絕緣體層不同的著色。另外，在作為絕緣體層9f的其余的一部分的、應成為僅形成有外部端子電極15以及外部端子電極16的絕緣體層的光敏絕緣體膏層上，應用光刻技術來形成用于配置外部端子電極15以及外部端子電極16的槽，并在該槽中填充光敏導電性膏。另外，在應形成具有外部端子電極15以及外部端子電極16和通孔焊盤13h的旋回導體層10e的光敏絕緣體膏層上，對該光敏絕緣體膏層應用光刻技術，來首先形成用于配置外部端子電極15以及外部端子電極16的槽。接下來，在該光敏絕緣體膏層上通過印刷來涂敷光敏導電性膏層。此時，光敏導電性膏被填充至用于配置上述外部端子電極15以及外部端子電極16的槽。接下來，對上述光敏導電性膏層應用光刻技術進行圖案化，以便得到具有通孔焊盤13h的旋回導體層10e。4.接下來，通過依次層疊上述的光敏絕緣體膏層以使絕緣體層9a～9f按圖2所示的順序層疊，從而得到了母層疊體。5.通過切割或者切斷等來切割母層疊體，從而得到未燒制的多個部件主體。在通過該切割而得到的切割面上露出外部端子電極15以及外部端子電極16。6.未燒制的部件主體被以規定條件進行燒制，由此得到部件主體2。部件主體2通過該燒制而收縮。對于部件主體2例如實施滾筒拋光加工。7.根據需要，在外部端子電極15以及外部端子電極16的從部件主體2露出的部分形成鍍膜。鍍膜例如由ni鍍層或者cu鍍層以及其上的sn鍍層構成。8.如上所述，完成層疊電感器1。在這樣的層疊電感器1中，成為該實施方式的特征的結構如下所述。主要參照圖3對成為該實施方式的特征的結構進行說明。圖3是沿線圈導體12的中心軸線方向透視觀察層疊電感器1而示意性地示出的圖。在圖3中，僅圖示出第一外部端子電極15以及第二外部端子電極16、和線圈導體12中的旋回導體層10a～10e，省略了通孔導體11a～11d和通孔焊盤13a～13h的圖示。此外，在圖3中，將相互重疊的旋回導體層10a～10e統一以附圖標記“10”來表示。如圖3所示，層疊電感器1所具備的旋回導體層10形成具有下邊部分19、第一側邊部分20及第二側邊部分21、第一斜邊部分22及第二斜邊部分23、以及上邊部分24的六邊形。進一步詳細而言，下邊部分19與下表面4平行地以直線狀延伸。下邊部分19具有比上述間隙g的長度短的長度而位于間隙g的范圍內。第一側邊部分20及第二側邊部分21分別與第一端面7及第二端面8的各上半部平行地以直線狀延伸。第一斜邊部分22相對于下表面4以傾斜方向連結下邊部分19的第一端面7側的端部與第一側邊部分20的下端部。第二斜邊部分23相對于下表面4以傾斜方向連結下邊部分19的第二端面8側的端部與第二側邊部分21的下端部。這樣，層疊電感器1的旋回導體層10中的第一斜邊部分22以及第二斜邊部分23不具有沿l字狀的第一外部端子15以及第二外部端子16的內邊緣彎曲的形狀。并且，由于旋回導體層10具有位于上述位置的下邊部分19，因此第一斜邊部分22以及第二斜邊部分23成為在下表面4側遠離第一外部端子15以及第二外部端子16的形狀。此外，在圖示的實施方式中，從圖3的第一斜邊部分22以及第二斜邊部分23具有直線狀延伸的形狀可以得知，第一斜邊部分22以及第二斜邊部分23成為以最短距離連結下邊部分19的端面7側及端面8側的各端部與側邊部分20及側邊部分21的各自的下端部的形狀。上邊部分24與上表面3平行地以直線狀延伸。此外，上邊部分24的位置關系比較遠離第一外部端子電極15以及第二外部端子電極16，因此上邊部分24不會較大地對上述的雜散電容的問題帶來影響。因此，上邊部分24的形態任意，不一定必須與上表面3平行地以直線狀延伸。優選從第一外部端子電極15的l字狀的內角部15a向第一斜邊部分22的外周邊緣22a引出的垂線的長度a1、以及從第二外部端子電極16的l字狀的內角部16a向第二斜邊部分23的外周邊緣23a引出的垂線的長度a2均為80μm以上。根據像這樣長度a1以及長度a2被確保為恒定以上的層疊電感器1，能夠如后面所敘述那樣，更加可靠地將在外部端子電極15及外部端子電極16與旋回導體層10之間產生的雜散電容抑制得較小。另外，從第一外部端子電極15的沿下表面4延伸的部分中的最接近第一斜邊部分22的端部15b向第一斜邊部分22的外周邊緣22a引出的垂線的長度b1、以及從第二外部端子電極16的沿下表面4延伸的部分中的最接近第二斜邊部分23的端部16b向第二斜邊部分23的外周邊緣23a引出的垂線的長度b2均比上述長度a1以及上述長度a2短，均為10μm以上且50μm以下。根據像這樣長度b1以及長度b2為恒定以下的層疊電感器1，能夠較長地獲取線圈導體12的內徑。這里，雖然具有長度b1以及長度b2越短就越能夠較長地獲取線圈導體12的內徑的優點，但若過短，則導致在高頻中，信號在旋回導體層10(10a～10e)與外部端子電極15及外部端子電極16之間通過，造成短路故障的可能性變高。另外，在上述的制造方法中，在為了形成外部端子電極15及外部端子電極16和旋回導體層而使用的光敏導電性膏所含有的導電性粉末無法通過光刻法被充分除去的情況下，若長度b1以及長度b2過短，則也會造成短路故障。由此，長度b1以及b2需要如上述那樣確保為10μm以上。在圖示的實施方式中，從圖3具有左右對稱的幾何形態可知，長度a1與長度a2彼此相等，并且長度b1與長度b2彼此相等。此外，在成為上述長度a1以及長度a2的起點的外部端子電極15以及外部端子電極16的內角部15a以及內角部16a形成有圓角的情況下，上述起點位于該內角部的圓角部分上。并且，在成為長度b1以及長度b2的起點的外部端子電極15以及外部端子電極16的端部15b以及端部16b形成有圓角的情況下，上述起點位于該端部的圓角部分上。另外，層疊電感器所具備的旋回導體層也可以在絕緣體層之間的一個界面上具有超過1圈并以漩渦形狀延伸的形態。在該情況下，成為長度a1以及長度a2、和長度b1以及長度b2的終點的斜邊部分22以及斜邊部分23的外周邊緣22a以及外周邊緣23a由位于最外側的旋回導體層的外周邊緣賦予。從后面敘述的模擬結果得知了根據具有如上那樣的尺寸條件的層疊電感器1，能夠將在外部端子電極15以及外部端子電極16與旋回導體層10(10a～10e)之間產生的雜散電容抑制得較小這一情況。因此，能夠將在整個層疊電感器1上能夠產生的雜散電容抑制得較小，由此，能夠提高自諧振頻率，其結果是，能夠提高高頻域內的q值。實施了如下所述的模擬。針對具備16層21圈結構的線圈導體、即含有在絕緣體層之間的一個界面中超過1圈并以漩渦形狀延伸的形態的旋回導體層的線圈導體的層疊電感器，如表1所示那樣，使上述長度a(＝a1＝a2)在66.2μm～155.2μm的范圍內擺動，從而自諧振頻率如何變化，關于此，使用電磁場模擬器實施了模擬。此外，在該模擬中，對超過1圈以漩渦形狀延伸的形態的旋回導體層的空間寬度進行微調，以使作為前提，將上述長度b(＝b1＝b2)固定在10μm，使長度a擺動，且l值成為170nh。通過上述模擬求出的結果如表1以及圖4所示。表1長度a(μm)自諧振頻率(mhz)66.298781.61012137.21030155.21033從表1以及圖4中可知，長度a越長，自諧振頻率越高。尤其可知：圖4的曲線的傾斜，在長度a在80μm以上的范圍內，與長度a小于80μm時相比顯著變小，自諧振頻率的提高效果在一定程度上飽和。即，在長度a為80μm以上時，能夠將在外部端子電極與旋回導體層之間產生的雜散電容抑制得較小，能夠實現較高的自諧振頻率。以上，雖然與圖示的實施方式相關聯地對本發明進行了說明，但在本發明的范圍內可以有其他各種的變形例。并且，本說明書所記載的實施方式以及變形例為示例，在實施方式與變形例之間，能夠進行結構的部分置換或者組合。當前第1頁12