一種異形陽極結構及其加工工藝的制作方法

本發明涉及太赫茲器件電子槍制造領域，具體涉及一種異形陽極結構及其加工工藝。

背景技術：

為了適應新的國際戰略格局和世界軍事技術發展趨勢，戰場環境中的密集的電磁信號，復雜的信號特征都對軍用電子技術和信息技術的發展提出了極高的要求，僅靠某一頻段的微波器件已經無法滿足軍事設備發展的需求，這就促使人們去探索、開發新的頻譜資源。太赫茲頻率介于微波與紅外之間，其系統兼顧電子學系統和光學系統的優勢，被譽為繼微波、光波后人類進一步認知世界、自然的“第三只眼睛”。居于此太赫茲波引起了人們的重視，太赫茲器件技術得到世界各國相關科研機構許多專家的關注和研究，本發明就是在開發太赫茲器件的背景下發明的適用于太赫茲電子槍制造。

技術實現要素：

有鑒于現有技術的上述缺陷，本發明提供一種異形陽極結構及其加工工藝，該陽極不同O型真空器件電子槍所用圓形陽極結構，其陽極通孔成矩形結構，該陽極給電子提供能量，起到加速電子的作用，對矩形電子束起到控制加速作用。

為了實現上述目的，本發明是通過如下的技術方案來實現：一種異形陽極結構，其包括陽極片，陽極片中心設有矩形陽極通孔，陽極片上還設有兩兩對稱的4個圓形通孔。

進一步的，所述陽極片直徑ФD1，厚度0.5~2mm；所述陽極片采用的是鉬圓盤，所述矩形陽極通孔用于電子束通過；所述其中兩個圓形通孔用于陽極與電子槍連接固定；所述另兩個圓形通孔用于陽極與太赫茲器件腔體組裝時通過定位銷定位。

該異形陽極結構的加工工藝步驟如下：

a）將真空熔煉鉬毛坯放入900～950℃氫爐內退火，保溫3～5分鐘，

目的在于去除材料內部應力，便于車削加工;

b) 將真空熔煉鉬毛坯車削加工，加工成直徑ФD1，厚度0.5~2mm的鉬圓盤；

c) 將車削好的鉬圓盤采用電火花加工技術，加工矩形陽極通孔和四個圓形通孔；

d) 將經過電火花加工后的毛坯，采用慢絲切割加工技術，精密加工異形陽極外形結構；

e) 將加工好的異形陽極進行化學去油清洗；

f) 將清洗好的異形陽極進行電解拋光處理，目的去除毛刺，防止其在電子槍內產生高壓打火。

本發明的有益效果是，該陽極不同O型真空器件電子槍所用圓形陽極結構，其陽極通孔成矩形結構，該陽極給電子提供能量，起到加速電子的作用，對矩形電子束起到控制加速作用，可獲得理想的電子束形狀。

附圖說明

圖1是本發明一種異形陽極結構示意圖；

圖2是本發明應用實例結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本發明。

如圖2所示，一種異形陽極結構，包括其包括陽極片，陽極片中心設有矩形陽極通孔，陽極片上還設有兩兩對稱的4個圓形通孔。

進一步的，所述陽極片直徑ФD1，厚度0.5~2mm，所述陽極片采用的是鉬圓盤，所述矩形陽極通孔用于電子束通過，所述兩個圓形通孔用于陽極與電子槍連接固定，所述另兩個圓形通孔用于陽極與太赫茲器件腔體組裝時通過定位銷定位。

該異形陽極結構的加工工藝步驟敘述如下：

a）將真空熔煉鉬毛坯放入900～950℃氫爐內退火，保溫3～5分鐘，目的在于去除材料內部應力，便于車削加工。

b) 將真空熔煉鉬毛坯車削加工，加工成直徑Ф60mm，厚度1mm的鉬圓盤；

c) 將車削好的鉬圓盤采用電火花加工技術，加工矩形陽極通孔，矩形通孔尺寸為寬邊0.6mm，長邊7mm，加工四個圓形通孔，兩個圓形通孔尺寸為直徑Ф2mm，孔心距為36mm，另兩個圓形通孔尺寸為直徑Ф1mm，孔心距為14.6mm；

d) 將經過電火花加工后的毛坯，采用慢絲切割加工技術，精密加工異形陽極外形結構，具體尺寸見圖2；

e) 將加工好的異形陽極進行化學去油清洗；

f) 將清洗好的異形陽極進行電解拋光處理，目的去除毛刺，防止其在電子槍內產生高壓打火。

本實施例的制作成的陽極不同于O型真空器件電子槍所用圓形陽極結構，其陽極通孔成矩形結構，該陽極給電子提供能量，起到加速電子的作用，對矩形電子束起到控制加速作用，可獲得理想的電子束形狀。

以上顯示和描述了本發明的基本原理和主要特征和本發明的優點。本行業的技術人員應該了解，本發明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理，在不脫離本發明精神和范圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發明范圍內，本發明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。