具備判定門可否打開的功能的激光裝置的制作方法

本發(fā)明涉及一種在通過門或可拆卸的壁面嵌板被密封的殼體內具備部件的激光裝置，尤其涉及一種在殼體內具備對發(fā)熱部件進行冷卻的冷卻裝置的激光裝置。

背景技術：

在半導體激光裝置或二氧化碳激光裝置等高輸出激光裝置中，從激光二極管或二氧化碳激光振蕩器等激光光源產(chǎn)生大量的熱。因此，在高輸出激光裝置中，為了使激光振蕩穩(wěn)定，例如具備使用冷卻水來冷卻激光光源的冷卻裝置。

這樣的激光光源被收納在密閉構造的殼體內，殼體具有用于激光裝置的維護或修理的門或可拆卸的壁面嵌板。當打開這樣的門或壁面嵌板時，若較高濕度的空氣與被冷卻水冷卻成低溫的激光光源的被冷卻部接觸，則在該被冷卻部上產(chǎn)生結露。

在向激光光源施加驅動電壓的情況下，若因結露而使水滴附著在激光光源上，則激光光源或其周邊的部件會損壞。例如，在半導體激光裝置中，若水滴附著在施加了驅動電壓的激光二極管上，則激光二極管的電極間容易短路而使激光二極管受到致命的損壞。此外，在二氧化碳激光裝置中，若水滴附著在為了激發(fā)二氧化碳而施加了高電壓的電極上，則產(chǎn)生火花而使電極或電極周邊的部件損壞。

此外，即使在不向激光光源施加驅動電壓的情況下，若因結露而使水滴附著在激光裝置內的激光光源和其周邊的部件上，則在部件上產(chǎn)生污染或腐蝕，部件的可靠性大幅度下降。并且，若在水滴附著于激光裝置內的激光光源或激光光源的電極上時使激光裝置重新運行，則如上所述地產(chǎn)生電氣短路或火花等，而導致激光光源和其周邊的部件損壞。

因此，以往，在使運行的激光裝置停止后，需要為了維護或修理等而打開激光裝置的門或壁面嵌板的情況下，采用如下的對應，使得在激光裝置內不產(chǎn) 生結露。

即，與激光裝置的運行停止對應地，停止向激光光源的冷卻水的供給(以下，稱為冷卻動作)。由此，被冷卻水冷卻成低溫的激光光源的被冷卻部的溫度上升。然后，被冷卻部的溫度上升到接近室溫后，打開門或壁面嵌板。此時，為了防止打開激光裝置的門或壁面嵌板的時機過早而在激光裝置內產(chǎn)生結露，從冷卻動作停止到打開門或壁面嵌板為止需要充分長的時間。

此外，在日本特開2007-193857號公報、日本專利第4085649號以及日本特公平6-32336號公報中公開了如下的技術：檢測裝置周圍的溫度和濕度，根據(jù)檢測出的溫度和濕度使得不產(chǎn)生結露。

然而，在上述那樣的現(xiàn)有技術中，在想要實施激光裝置內的維護或修理的情況下，不知道從激光裝置的運行停止后經(jīng)過何種程度的時間才能打開激光裝置的門或壁面嵌板。并且，由于不測定激光光源的被冷卻部的溫度，因此在打開激光裝置的門或壁面嵌板時，也無法知道被冷卻部的溫度是否達到了不產(chǎn)生結露的溫度。因此，有時從激光裝置的運行停止后到能夠開始維護或修理的等待時間不必要地變長。也就是說，在現(xiàn)有技術中，存在如下問題：從激光裝置的運行停止起，在短時間內無法完成維護或修理。

此外，上述的等待時間不知道恰當?shù)臅r間，因此有時從激光裝置的運行停止起打開激光裝置的門或壁面嵌板的時機過早。在該情況下，在激光光源的被冷卻部上產(chǎn)生結露。因此，如上所述產(chǎn)生如下問題：因水滴在激光光源和其周邊的部件上產(chǎn)生污染和腐蝕，或者，重新向激光光源施加電壓時激光光源和其周邊的部件損壞等。此外，即使知道會發(fā)生這些問題，也存在錯誤地過早打開激光裝置的門或壁面嵌板的危險性。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種激光裝置，其在實施激光裝置內的維護或修理時，能夠在恰當?shù)臅r機打開激光裝置的門或壁面嵌板，使得在激光裝置內不產(chǎn)生結露。

根據(jù)本發(fā)明的第一方式，提供一種激光裝置，具備：冷卻裝置、包含應被該冷卻裝置冷卻的激光光源的被冷卻部、至少收納冷卻裝置和被冷卻部的密閉構造的殼體，能夠通過門或壁面嵌板打開殼體的壁部，該激光裝置具備：第一溫度傳感器，其被設置在殼體內，檢測被冷卻部的溫度；第二溫度傳感器和濕 度傳感器，其被設置在殼體外，分別檢測殼體外的空氣的溫度和濕度；以及判定部，其根據(jù)由第二溫度傳感器檢測出的殼體外的空氣的溫度和由濕度傳感器檢測出的殼體外的空氣的濕度，來計算殼體外的空氣的露點，比較計算出的露點與由第一溫度傳感器檢測出的被冷卻部的溫度，來判定有無可能因殼體外的空氣而在被冷卻部上產(chǎn)生結露。

根據(jù)本發(fā)明的第二方式，在第一方式的激光裝置中，該激光裝置還具備：檢測部，其檢測打開門和壁面嵌板中的至少一方的行為；以及通知部，其向殼體外通知判定部的判定結果，在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露時，檢測部檢測到行為的情況下，通知部通知若打開門或壁面嵌板則在被冷卻部上產(chǎn)生結露的意思。

根據(jù)本發(fā)明的第三方式，在第一方式或第二方式的激光裝置中，該激光裝置還具備：上鎖裝置，其在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的期間，對門和壁面嵌板進行上鎖。

根據(jù)本發(fā)明的第四方式，在第三方式的激光裝置中，該激光裝置還具備：緊急解除開關，其用于不論判定部的判定結果，解除上鎖裝置進行的門和壁面嵌板的上鎖。

根據(jù)本發(fā)明的第五方式，在第一至第四方式的任意方式的激光裝置中，該激光裝置還具備：計算部，其在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，計算使冷卻裝置的動作停止后到被冷卻部的溫度達到能夠判定為不可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的溫度為止所需要的時間；以及通知部，其向殼體外通知判定部的判定結果，通知部顯示由計算部計算出的時間作為直到能夠打開門或壁面嵌板為止的等待時間。

根據(jù)本發(fā)明的第六方式，在第一至第五方式的任意方式的激光裝置中，該激光裝置還具備：加熱裝置，其在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，對被冷卻部進行加熱。

根據(jù)本發(fā)明的第七方式，在第一方式的激光裝置中，該激光裝置具備：包含判定開關的操作部，判定開關用于開始判定若打開門或壁面嵌板則有無可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露；通知部，其向殼體外通知判定部的判定結果；上鎖裝置，其對門和壁面嵌板進行上鎖；計算部，其計算使冷卻裝置的動作停止后到 被冷卻部的溫度達到能夠判定為不可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的溫度為止所需要的時間；加熱裝置，其對被冷卻部進行加熱；以及控制部，其至少控制冷卻裝置、通知部、上鎖裝置以及加熱裝置，所述控制部進行如下處理：根據(jù)判定開關的輸入，使冷卻被冷卻部的冷卻裝置的動作停止，在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，通過通知部通知若打開門或壁面嵌板則在被冷卻部上產(chǎn)生結露的意思，通過上鎖裝置對門和壁面嵌板進行上鎖，通過加熱裝置對被冷卻部進行加熱，通過通知部顯示由計算部計算出的時間，另一方面，在判定部判定為不可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，使加熱裝置的加熱動作停止，解除上鎖裝置的上鎖，通知可以打開門或壁面嵌板的意思。

根據(jù)本發(fā)明的第八方式，在第一方式至第七方式的任意方式的激光裝置中，通知部具備顯示部和警報部中的至少一方，其中，顯示部用于顯示判定部的判定結果，警報部用于根據(jù)判定部的判定結果發(fā)出基于聲音和光中的至少一方的警報，在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，顯示部顯示若打開門或壁面嵌板則在被冷卻部上產(chǎn)生結露的意思的警報，在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，警報部通過聲音或光中的至少一方來發(fā)出若打開門或壁面嵌板則在被冷卻部上產(chǎn)生結露的意思的警報。

根據(jù)本發(fā)明的第九方式，在第八方式的激光裝置中，在判定部判定為不可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，顯示部顯示可以打開門或壁面嵌板的意思，在判定部判定為不可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，警報部通過與判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況不同的聲音和光中的至少一方，來發(fā)出可以打開門或壁面嵌板的意思的警報。

根據(jù)附圖所示的本發(fā)明的典型的實施方式的詳細說明，能夠進一步明確本發(fā)明的這些目的、特征以及優(yōu)點以及其他目的、特征以及優(yōu)點。

附圖說明

圖1是表示第一實施方式的激光裝置的結構的框圖。

圖2是表示氣溫與飽和水蒸汽量的關系的圖表。

圖3是表示第二實施方式的激光裝置的結構的框圖。

圖4是表示第三實施方式的激光裝置的結構的框圖。

圖5是表示第四實施方式的激光裝置的結構的框圖。

圖6是表示第五實施方式的激光裝置的結構的框圖。

圖7是表示圖6所示的激光裝置的操作部中的判定開關輸入時的處理過程的流程圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。在以下的附圖中，對同樣的部件賦予同樣的參照符號。為了使理解變得容易，這些附圖適當變更比例尺。此外，以下作為激光裝置，主要以用于金屬板切斷或用作焊接用激光加工機的激光裝置為例進行了說明，但本發(fā)明并不限于此。

(第一實施方式)

圖1是表示第一實施方式的激光裝置的結構的框圖。

如圖1所示，第一實施方式的激光裝置11A具備由多個壁部形成的密閉構造的殼體12和收納在殼體12內的激光光源13。并且，多個壁部中的一個具有開閉自由的門12a，其他壁部由裝卸自由的壁面嵌板構成。另外，在激光裝置11A中安裝有壁面嵌板，并且關閉了門12a時，相對于外部空氣殼體12內被密封。

并且，在這樣的密閉構造的殼體12內設置有驅動激光光源13的電源部(未圖示)和冷卻從該電源部以及激光光源13等發(fā)熱部件產(chǎn)生的熱的冷卻裝置14等。

激光光源13例如是激光二極管、二氧化碳激光器等。

并且，作為冷卻裝置14，是以從激光裝置11A的殼體12外導入冷卻水來用水冷卻發(fā)熱部件的水冷裝置為代表的冷卻裝置。作為這樣的水冷裝置，例如能夠應用具備被供給由冷卻器調溫成低溫的冷卻水的熱交換器，并使冷卻水在冷卻器和熱交換器之間循環(huán)的裝置。通過使熱交換器與發(fā)熱部件相鄰，利用熱交換器內的冷卻水奪取發(fā)熱部件的熱。然后，將溫度上升了的冷卻水通過冷卻器調整為低溫后再次流到熱交換器，由此能夠抑制激光光源13等發(fā)熱部件的溫度上升。當然，用于本發(fā)明的冷卻裝置并不限定于水冷裝置，也可以是具備壓縮機的循環(huán)式冷卻機或使用珀爾貼元件的電子冷卻裝置等。

并且，如圖1所示，在殼體12內設置有第一溫度傳感器15。第一溫度傳感器15是用于檢測激光光源13以及驅動激光光源13的電源部等發(fā)熱部件的、 被冷卻裝置14冷卻成低溫的部分(即，被冷卻部13a)的溫度的傳感器。另一方面，在殼體12外設置有用于檢測殼體12外的空氣的溫度的第二溫度傳感器16和用于檢測殼體12外的空氣的濕度的濕度傳感器17。另外，在圖1中各示出了一個第一溫度傳感器15、第二溫度傳感器16以及濕度傳感器17，但各傳感器15、16、17的數(shù)量并不限于一個。

并且，在激光裝置11A的殼體12內設置有：判定部18，其判定在打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板時，有無在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性。也就是說，判定部18判定通過打開門12a或壁面嵌板等將殼體12外的空氣(外部空氣)導入到殼體12內，在被冷卻部13a上是否產(chǎn)生結露。

因此，判定部18根據(jù)由第二溫度傳感器16檢測出的殼體12外的空氣溫度(外部空氣溫度)和由濕度傳感器17檢測出的殼體12外的空氣濕度(相對濕度)，來計算激光裝置11A外的空氣的露點(外部空氣的露點)。然后，判定部18比較該計算出的露點與由第一溫度傳感器15檢測出的被冷卻部13a的溫度，來判定有無可能如上所述因外部空氣在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露。

另外，圖2是表示氣溫與飽和水蒸汽量的關系的圖表。如圖2所示，氣溫越高，空氣所包含的飽和水蒸汽量越高。因此，若氣溫低于露點溫度，則空氣所包含的飽和水蒸汽量以上的水蒸氣(圖中的粗線部分)變成水(結露)。在本申請中，在被冷卻部13a的溫度低于外部空氣的露點的情況下，與被冷卻部13a接觸的外部空氣低于該外部空氣的露點，外部空氣所包含的水蒸氣作為水滴附著在被冷卻部13a上。因此，如上所述，若比較外部空氣的露點與被冷卻部13a的溫度，則獲知是否具有在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性。此外，在進行這樣的比較時，優(yōu)選的是考慮外部空氣的露點誤差，對附加了容許誤差的預定范圍的露點溫度與被冷卻部13a的溫度進行比較。并且，露點的計算方法，例如具有使用JIS的飽和水蒸汽壓表來近似地進行計算，或使用空氣線圖來近似地進行計算的方法等。

此外，將上述那樣的判定結果發(fā)送給控制部20，控制部20根據(jù)判定結果控制顯示部19的顯示。顯示部19被設置在殼體12的壁部。另外，控制部20還控制激光光源13和冷卻裝置14的動作。

并且，控制部20在通過判定部18判定為有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結 露的情況下，在顯示部19中顯示若打開門12a或壁面嵌板則在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的警告。

此外，在本實施方式中，也可以在殼體12外設置警報部21，通過警報部21通知判定部18的判定結果。即，優(yōu)選的是控制部20在通過判定部18判定為有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的情況下，從警報部21發(fā)出若打開門12a或壁面嵌板則在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的警告。作為對在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思進行警報的單元，考慮使用聲音和光的至少一方。并且，既可以如圖1所示與顯示部19獨立地具備警報部21，也可以作為顯示部19的代替單元而具備警報部21。

也就是說，在本申請中，將顯示判定部18的判定結果的顯示部19以及根據(jù)判定部18的判斷結果發(fā)出基于聲音、光的至少一方的警報的警報部21中的至少一方用作將判定部18的判定結果通知到殼體12外的通知部29即可。

根據(jù)以上說明的第一實施方式，在實施激光裝置11A內的維護和修理時，能夠容易且準確地識別若打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板，有無可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露。也就是說，為了維護和修理而使激光光源13和冷卻裝置14的驅動停止后，能夠準確地知道可以打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板的時機。由此，能夠將使激光光源13和冷卻裝置14的驅動停止后到可以開始維護和修理之前的等待時間抑制成最小限。此外，能夠減少無用的等待時間，盡快開始緊急的修理。

并且，根據(jù)上述的第一實施方式，通過顯示部19或警報部21降低進行維護和修理的人錯誤地過早打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板的可能性。由此，能夠防止因打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板的時期過早，殼體12內的激光光源13或其周邊的部件由于結露而損壞。

另外，在圖1所示的方式中，將激光裝置11A內的被冷卻部13a表示為激光二極管或二氧化碳激光器等激光光源13的、被冷卻裝置14冷卻的部分。但是，在本發(fā)明中，被冷卻部13a并不限于激光光源13的一部分，而包含激光光源13和其周邊的部件。例如，冷卻用于驅動激光光源13的電源部(未圖示)的情況下，該電源部也被包含在被冷卻部13a中。在該情況下，進一步將第一溫度傳感器15追加到殼體12內來檢測電源部的溫度即可。然后，將所檢 測出的電源部的溫度信息發(fā)送到判定部18，并通過判定部18判定在電源部中有無產(chǎn)生結露的可能性。

并且，優(yōu)選的是上述的第一實施方式的激光裝置11A具備對被冷卻部13a加熱的加熱裝置22。通過加熱裝置22使被冷卻部13a升溫，由此能夠使被冷卻部13a的溫度迅速上升至不發(fā)生結露的溫度。由此，能夠縮短使激光光源13和冷卻裝置14的驅動停止后直到開始維護、修理為止的等待時間。

作為加熱裝置22的方式，考慮在被冷卻部13a內或被冷卻部13a外設置加熱器的方式。此外，將激光二極管用作激光光源13的激光裝置11A的情況下，也可以通過向激光二極管供給比振蕩閾值電流小的電流，來使被冷卻部13a的溫度上升?；蛘撸瑢⑺溲b置用作冷卻裝置14的激光裝置11A的情況下，也可以通過在水冷裝置內代替冷卻水而流過溫水，來使被冷卻部13a的溫度上升。

另外，上述的第二溫度傳感器16和濕度傳感器17，除了需要判定是否可以為了維護和修理而打開激光裝置11A的門12a或壁面嵌板來導入外部空氣時外不需要。因此，為了抑制成本上升，也可以在激光裝置11A上設置有能夠輸入分別來自第二溫度傳感器16和濕度傳感器17的輸出的連接器等接口部，在需要導入外部空氣時，通過連接上述接口部與第二溫度傳感器16、濕度傳感器17，向激光裝置11A輸入分別來自第二溫度傳感器16和濕度傳感器17的輸出。也就是說，也可以僅在需要導入外部空氣時，將第二溫度傳感器16、濕度傳感器17與激光裝置11A連接，使本實施方式的構成要素完備。

在該情況下，在激光裝置11A上沒有連接第二溫度傳感器16、濕度傳感器17時，判定部18可以進行與導入外部空氣則有結露的可能性的情況相同的判定。此外，也可以將第二溫度傳感器16和濕度傳感器17為未連接的意思或催促第二溫度傳感器16和濕度傳感器17的連接的意思顯示在顯示部19中。

(第二實施方式)

接著，對第二實施方式進行說明。但是，以下對與上述的第一實施方式相同的構成要素使用同一符號并省略說明。因此，以下僅敘述與上述的第一實施方式的構成要素不同的點。

圖3是表示第二實施方式的激光裝置的結構的框圖。

如圖3所示，第二實施方式的激光裝置11B還在第一實施方式的激光裝置11A(參照圖1)中具備用于檢測對激光裝置11B的門12a或壁面嵌板進行打開的行為的檢測部23。例如，檢測部23檢測用于打開門12a的手柄24或把手的旋轉動作?；蛘?，檢測部23也可以檢測取下殼體12的壁面嵌板時的松螺釘?shù)膭幼鳌?/p>

并且，在通過判定部18判定為有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的情況下，檢測部23在檢測到用于打開門12a的手柄24或把手的操作時，控制部20將若打開門12a則在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的警告顯示在顯示部19中。并且，在這樣檢測到手柄24或把手的操作時，控制部20從警報部21發(fā)出基于聲音和光中的至少一方的警報。也就是說，盡管在顯示部19中顯示警報消息，在進行了打開激光裝置11B的門12a或壁面嵌板的操作時，從警報部21發(fā)出聲音和光中的至少一方。

因此，根據(jù)第二實施方式，能夠可靠地防止進行維護或修理的人沒有注意到警告的顯示而打開激光裝置11B的門12a或壁面嵌板的錯誤。此外，通過檢測到用于打開門12a的手柄24或把手的操作后發(fā)出基于聲音或光的警報的結構，能夠以低成本、及時地進行有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的通知。

(第三實施方式)

接著，對第三實施方式進行說明。但是，以下對與上述的第一實施方式和第二實施方式相同的構成要素使用同一符號并省略說明。因此，以下僅敘述與上述的第一實施方式、第二實施方式的構成要素不同的點。

圖4是表示第三實施方式的激光裝置的結構的框圖。

如圖4所示，第三實施方式的激光裝置11C還在第二實施方案的激光裝置11B(參照圖3)中具備對激光裝置11C的門12a和壁面嵌板進行上鎖的上鎖裝置25。上鎖裝置25通過電動進行上鎖和解鎖。并且，通過判定部18判定為有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的期間，控制部20通過上鎖裝置25對激光裝置11C的門12a和壁面嵌板進行上鎖。這樣，通過具備上鎖裝置25，有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露時，變得無法打開激光裝置11C的門12a和壁面嵌板。

因此，根據(jù)第三實施方式，能夠可靠地防止盡管輸出了顯示部19的警告消息或警報部21的警告音等，進行維護或修理的人因疏忽而打開激光裝置11C的門12a和壁面嵌板，使得在激光裝置11C內的被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的錯誤。

并且，在上述的第三實施方式的激光裝置11C中，優(yōu)選的是還具備緊急解除開關26，其不論判定部18的判定結果，解除門12a和壁面嵌板的上鎖。并且，控制部20在通過上鎖裝置25對激光裝置11C的門12a或壁面嵌板進行上鎖的情況下，當輸入緊急解除開關26時，解除上鎖裝置25進行的門12a和壁面嵌板的上鎖。通過具備這樣的緊急解除開關26，能夠恰當?shù)貙o急狀態(tài)。例如，有時在激光裝置11C內發(fā)生了漏水或火災等，即發(fā)生了與防止因結露而使激光裝置11C內的部件損壞相比，應該優(yōu)先打開激光裝置11C的門12a或壁面嵌板的緊急狀況。在這樣的情況下，通過按壓緊急解除開關26，能夠立即打開激光裝置11C的門12a或壁面嵌板。

另外，在上述的第三實施方式中，也可以不具備檢測用于打開門12a或壁面嵌板的手柄24的動作的檢測部23。

(第四實施方式)

接著，對第四實施方式進行說明。但是，以下對與上述的第一實施方式至第三實施方式相同的構成要素使用同一符號并省略說明。因此，以下僅敘述與上述的第一實施方式至第三實施方式的構成要素不同的點。

圖5是表示第四實施方式的激光裝置的結構的框圖。

如圖5所示，第四實施方式的激光裝置11D在第三實施方式的激光裝置11C(參照圖4)中還具備：計算部27，其計算從使激光光源13和冷卻裝置14的驅動停止到能夠打開門12a或壁面嵌板為止的等待時間。此外，在判定部18判定為在被冷卻部13a上有可能產(chǎn)生結露的情況下，計算部27計算等待時間。

這樣的等待時間相當于被冷卻部13a的溫度達到能夠判定為在被冷卻部13a上不可能產(chǎn)生結露的溫度為止所需要的時間。換言之，被冷卻部13a的溫度變得高于在判定部18中計算出的露點為止所需要的時間相當于等待時間。因此，若獲知被冷卻部13a的溫度的時間變化率，則能夠推定等待時間。因此， 例如可以通過下述方法來計算等待時間。首先，使用第一溫度傳感器15取得從停止激光光源13和冷卻裝置14的動作時起到經(jīng)過預定的時間為止的被冷卻部13a的溫度的變化，求出被冷卻部13a的溫度的時間變化率。然后，從在判定部18中計算出的露點溫度值減去激光光源13和冷卻裝置14的動作停止時的被冷卻部13a的溫度值。并且，將該減去后的值除以被冷卻部13a的溫度的時間變化率來計算出上述的等待時間。

然后，控制部20將如上所述地計算出的等待時間作為從停止激光光源13和冷卻裝置14的驅動后到能夠打開門12a或壁面嵌板為止的等待時間而顯示在顯示部19中。優(yōu)選的是以倒計時的方式顯示這樣的等待時間。

根據(jù)第四方式，獲知等待時間，因此能夠將該等待時間有效地利用于其他作業(yè)。由此，容易制定作業(yè)計劃，進行有效的作業(yè)。此外，在需要緊急修理時，能夠獲知可以開始該修理之前的等待時間，因此還能夠減輕焦躁感。

另外，優(yōu)選的是在第一實施方式的激光裝置11A或第二實施方式的激光裝置11B中也具備上述的計算部27和與之相伴的顯示功能。

此外，在以上說明的從第一實施方式至第四實施方式的激光裝置11A～11D中，在判定部18判定為沒有在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性的情況下，優(yōu)選的是控制部20將可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板的意思顯示在顯示部19中。在該情況下，在通過判定部18判定為沒有產(chǎn)生結露的可能性的情況下，控制部20使警報部21動作，例如可以通過聲音或光來通知可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板的意思。作為用于通知可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板的意思的聲音或光，優(yōu)選使用與在警報中使用的聲音或光有較大不同的音色或發(fā)光色。通過具備這樣的功能，即使在遠離激光裝置的場所，也能夠容易地獲知可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板。因此，進行維護或修理的人不需要等待需要以上的長時間，而能夠打開激光裝置的門12a或壁面嵌板來開始維護或修理。也就是說，能夠減少無用的等待時間，盡快開始緊急的修理。

并且，也可以具備如下的功能：將可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板的意思顯示在顯示部19中或從警報部21發(fā)出聲音或光的控制部20的指令信號通過無線發(fā)送給便攜信息終端。通過具備這樣的功能，即使在不能直接看到 激光裝置的場所，也能夠識別可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板。

(第五實施方式)

接著，對第五實施方式進行說明。但是，以下對與上述的第一實施方式至第四實施方式相同的構成要素使用同一符號并省略說明。因此，以下僅敘述與上述的第一實施方式至第四實施方式的構成要素不同的點。

圖6是表示第五實施方式的激光裝置的結構的框圖。

如圖6所示，第五實施方式的激光裝置11E在第四實施方式的激光裝置11D(參照圖5)中還具備操作部28。操作部28包括：判定開關(未圖示)，其在想要打開激光裝置的門12a或壁面嵌板時，開始判定若打開激光裝置的門12a或壁面嵌板，則是否有在激光裝置內的被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性。并且，操作部28將判定開關的接通信號發(fā)送給控制部20，控制部20根據(jù)該判定開關的接通信息來執(zhí)行如下的處理過程(參照圖7)。

圖7是表示圖6所示的激光裝置11E的操作部28中的判定開關輸入時的處理過程的流程圖。另外，在圖7中示出了使在密閉了殼體12的狀態(tài)下運行的激光裝置11E停止后的處理過程。

參照圖6、圖7時，首先，若由人接通操作部28中的判定開關(未圖示)，則控制部20使用于冷卻被冷卻部13a的冷卻裝置14的動作停止(圖7的步驟S11、S12)。由此，判定部18通過第一溫度傳感器15檢測出被冷卻部13a的溫度，并且通過第二溫度傳感器16和濕度傳感器17分別檢測出殼體12外的空氣溫度和濕度(圖7的步驟S13)。

并且，判定部18根據(jù)第二溫度傳感器16和濕度傳感器17分別檢測出的殼體12外的空氣溫度和濕度，來計算殼體12外的空氣的露點(圖7的步驟S14)。然后，判定部18比較該計算出的露點與由第一溫度傳感器15檢測出的被冷卻部13a的溫度，來判定若打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板則是否有在激光裝置11E內的被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性(圖7的步驟S15)。該判定方法與在第一實施方式中說明的方法相同。

在圖7的步驟S15中，在判定為沒有在激光裝置11E內的被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性的情況下，控制部20不實施基于加熱裝置22的被冷卻部13a的加熱動作，另外，還解除上鎖裝置25進行的門12a和壁面嵌板的上鎖 (圖7的步驟S16、S17)。然后，控制部20將可以打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板的意思顯示在顯示部19中(圖7的步驟S18)。在該情況下，控制部20也可以使警報部21動作，例如通過聲音或光來通知可以打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板的意思。之后，若通過檢測部23檢測出打開了門12a或壁面嵌板(圖7的步驟S19)，則控制部20使警報部21停止，結束處理過程。

另一方面，在圖7的步驟S15中，在判定為有可能在激光裝置11E內的被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的情況下，控制部20將若打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板則在冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的警告顯示在顯示部19中(圖7的步驟S20)。在該情況下，控制部20也可以使警報部21動作，例如通過聲音或光來通知若打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板則在冷卻部13a上產(chǎn)生結露。

并且，根據(jù)有可能在冷卻部13a上產(chǎn)生結露的意思的判定結果，控制部20通過上鎖裝置25對激光裝置11E的門12a和壁面嵌板進行上鎖(圖7的步驟S21)。然后，控制部20為了使被冷卻部13a的溫度上升加速，實施基于加熱裝置22的被冷卻部13a的加熱動作(圖7的步驟S22)。

接著，計算部27計算從停止激光光源13和冷卻裝置14的驅動后到可以開始維護和修理之前的等待時間(圖7的步驟S23)。換言之，計算部27計算從停止冷卻裝置14的動作后到被冷卻部13a的溫度變得大于在判定部18中計算出的露點為止所需要的時間，作為上述的等待時間。然后，控制部20將通過計算部27計算出的等待時間顯示在顯示部19中(圖7的步驟S24)。

在上述的步驟S24后，直到判定為沒有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露之前，重復進行步驟S13至步驟S24。然后，在步驟S15中，在判定為沒有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的情況下，控制部20停止由加熱裝置22進行的被冷卻部13a的加熱動作，此外還解除由上鎖裝置25進行的門12a和壁面嵌板的上鎖(圖7的步驟S16、S17)。

之后，控制部20將可以打開激光裝置11E的門12a或壁面嵌板的意思顯示在顯示部19中(圖7的步驟S18)。并且，控制部20也可以通過警報部21，例如通過聲音或光來通知可以打開激光裝置的門12a或壁面嵌板的意思。然 后，若通過檢測部23檢測出打開了門12a或壁面嵌板(圖7的步驟S19)，則控制部20使警報部21停止，結束處理過程。

根據(jù)上述的第五實施方式，若接通用于判定有無可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的判定開關，則判定有無可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露后，將該判定結果通過顯示、聲音或光等進行通知。換言之，通過接通判定開關，自動地獲知在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的可能性的判定結果。因此，能夠縮短使激光光源13和冷卻裝置14的驅動停止到開始維護、修理為止的等待時間。尤其，在打開激光裝置的門12a或壁面嵌板時有可能在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的情況下，進行上鎖使得門12a或壁面嵌板不被打開，或顯示能夠打開門12a或壁面嵌板為止的等待時間。因此，能夠可靠地防止在被冷卻部13a上產(chǎn)生結露的錯誤。

此外，以上示出了典型的實施方式，但本發(fā)明并不局限于上述的實施方式，在不脫離本發(fā)明的思想的范圍內，能夠將上述的實施方式變更為各種形式、構造或材料等。

本發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的第一方式，在實施激光裝置內的維護和修理時，能夠容易且準確地識別有無可能若打開激光裝置的門或壁面嵌板則在被冷卻部上產(chǎn)生結露。也就是說，為了維護和修理使激光光源和冷卻裝置的驅動停止后，能夠準確地知道可以打開激光裝置的門或壁面嵌板的時機。由此，能夠將使激光光源和冷卻裝置的驅動停止后到可以開始維護和修理之前的等待時間抑制成最小限。此外，能夠減少無用的等待時間，盡快開始緊急的修理。

根據(jù)本發(fā)明的第二方式，向殼體外通知若打開激光裝置的門或壁面嵌板則有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露，因此能夠降低進行維護和修理的人錯誤地過早打開激光裝置的門或壁面嵌板的可能性。由此，能夠防止因打開激光裝置的門或壁面嵌板的時機過早，而使殼體內的激光光源或其周邊的部件被結露損壞。

并且，根據(jù)本發(fā)明的第二方式，在若打開門或壁面嵌板則有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，當檢測到打開門和壁面嵌板中的至少一方的行為時，能夠通過通知部發(fā)出有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的意思的警報。因此，能夠可靠地防止進行維護或修理的人因疏忽而打開激光裝置的門或壁面嵌板的錯 誤。

根據(jù)本發(fā)明的第三方式，在若打開門或壁面嵌板則有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的期間，無法打開門或壁面嵌板。因此，相對于本發(fā)明的第二方式，能夠更可靠地防止因疏忽而打開激光裝置的門或壁面嵌板的錯誤。

根據(jù)本發(fā)明的第四方式，通過具備能夠解除門和壁面嵌板的上鎖的緊急解除開關，能夠應對與在被冷卻部上產(chǎn)生結露的事態(tài)相比，更優(yōu)先打開門或壁面嵌板的緊急事態(tài)。

根據(jù)本發(fā)明的第五方式，顯示能夠打開門或壁面嵌板為止的等待時間，因此可以使進行維護或修理的人在該等待時間的期間從事其他作業(yè)。此外，在需要緊急修理時，能夠獲知可以開始該修理之前的等待時間，因此還能夠減輕焦躁感。

根據(jù)本發(fā)明的第六方式，在判定部判定為有可能在被冷卻部上產(chǎn)生結露的情況下，通過對被冷卻部進行加熱，能夠使被冷卻部的溫度快速達到不會產(chǎn)生結露的溫度。

根據(jù)本發(fā)明的第七方式，能夠得到上述的第一方式至第三方式、第五方式以及第六方式的效果，并且通過接通判定開關，自動地向殼體外通知針對在被冷卻部上產(chǎn)生結露的可能性的判定結果。

根據(jù)本發(fā)明的第八方式和第九方式，將用于顯示判定部的判定結果的顯示部以及警報部中的至少一方用作通知部，由此在殼體外能夠容易獲知判定部的判定結果，其中，警報部是將判定結果作為基于光和聲音中的至少一方的警報而發(fā)出。