技術特征：
技術總結
本發明描述一種離子植入系統，其包含：離子植入機，所述離子植入機包括殼體，所述殼體界定封圍容積，在所述封圍容積中定位有氣體箱，所述氣體箱經配置以固持一或多個氣體供應容器，所述氣體箱與所述封圍容積中在所述氣體箱外部的氣體進行受限式氣體流動連通；第一通風組合件，其經配置以使通風氣體流動通過所述殼體，并且從所述殼體排出所述通氣氣體到所述離子植入機的周圍環境；第二通風組合件，其經配置以將氣體從所述氣體箱排出到處理設備，所述處理設備適于從所述氣體箱排氣至少部分地移除污染物，或者所述處理設備適于稀釋所述氣體箱排氣，以產生經處理的流出氣體，所述第二通風組合件包括可變流量控制裝置及運動流體驅動器，所述可變流量控制裝置用于在相對較低的氣體箱排氣流率與相對較高的氣體箱排氣流率之間調整所述氣體箱排氣的流率，且所述運動流體驅動器適于使所述氣體箱排氣流動通過所述可變流量控制裝置到所述理設備；以及監測及控制組合件，其經配置以監測所述離子植入機的操作是否發生氣體危險事件，且當發生氣體危險事件時，響應地阻止所述一或多個氣體供應容器的氣體分配操作，并且調整所述可變流量控制裝置到所述相對較高的氣體箱排氣流率，使得所述運動流體驅動器以所述相對較高的氣體箱排氣流率使所述氣體箱排氣流動到所述處理設備。優選地，在氣體危險事件中，從所述殼體排放的所述殼排氣也終止，以促進所述殼體內、所述氣體箱的內部以及外部的所有氣體排出到所述處理單元。
技術研發人員：W·K·奧蘭德;唐瀛;B·L·錢伯斯;S·E·畢夏普
受保護的技術使用者：恩特格里斯公司
技術研發日：2015.10.29
技術公布日：2017.08.01