技術特征:
技術總結
本發明提供一種透過粘合片照射激光進行的激光切割時,可抑制粘合片上的激光的散射,且在粘合片上易于通過擴張進行芯片分割,并且,可抑制在芯片分割時產生的粉塵的附著,成品率良好的芯片的激光切割用粘合片。本發明提供一種激光切割用粘合片,其特征為基材膜的一側的面上含有背面層,該背面層含有減摩劑和抗靜電劑,另一面具有粘合劑層,所述背面層表面的算數平均粗糙度為Ra為0.1μm以下,所述粘合片在23℃下的拉伸彈性模量為50~200MPa,400~1400nm的波長區域的平行線透射率為85%以上。
技術研發人員:中島剛介;田中智章;田中秀
受保護的技術使用者:電化株式會社
技術研發日:2015.10.27
技術公布日:2017.09.08