裝卸手的制作方法

本發明涉及半導體加工技術領域，具體地，涉及一種裝卸手。

背景技術：

隨著微電子技術的不斷發展，相關生產企業的競爭越來越激烈，降低成本、提高生產效率則是提高企業競爭力的常用手段。如LED光源生產企業為提高生產效率、降低生產成本，通常采用托盤搬運的方式實現同時搬運和刻蝕多個基片，以應對日益增加的市場需求。

為了提高工藝效率，通常將多個托盤裝載在同一個片盒中，圖1為現有的片盒的結構示意圖。如圖1所示，片盒1具有多個槽位2，且沿豎直方向間隔設置，用于一一對應地裝載多個托盤3。托盤3通常采用SiC制作，且厚度為6mm，可承載多個2～8寸的基片。

在實際應用中，托盤2的取放通常由操作人員使用裝卸手來完成。圖2為現有的裝卸手的結構示意圖。圖3為現有的裝卸手在夾持托盤時的結構示意圖。請一并參閱圖2和圖3，裝卸手5包括承托件55、壓緊件54和手柄，其中，手柄包括第一握持部51和第二握持部52，二者通過轉動副53連接，第一握持部51與承托件55連接，第二握持部52與壓緊件54連接，并且承托件55和壓緊件54位于轉動副53的一側，而第一握持部51和第二握持部52位于轉動副53的另一側。通過開合第一握持部51和第二握持部52，使壓緊件54與承托件55共同夾持托盤，或者使壓緊件54與承托件55相互分離。此外，在承托件55的邊緣處設置有兩個壓邊部56，二者對稱分布在壓緊件54的兩側，每個壓邊部56與承托件55形成凹槽。圖2示出了裝卸手在壓緊件54與承托件55相互分離時的狀態，操作人員將該狀態的裝卸手5移動至某一托盤3附近，且使承托件55插入該托盤3的底部，而壓緊件54位于該托盤3的上方；同時，托盤3的一部分 位于壓邊部56與承托件55形成的凹槽中。然后，閉合第一握持部51和第二握持部52，此時承托件55與壓緊件54共同夾持托盤3，如圖3所示。

上述裝卸手在實際應用中不可避免地存在以下問題：

由于當閉合第一握持部51和第二握持部52時，承托件55與壓緊件54相對的兩個表面之間的間隙是一定的，因此，上述裝卸手只能夾持單一厚度的托盤，而厚度較大或較小的托盤均不能使用該裝卸手，從而應用范圍較窄，無法滿足設備對不同厚度的托盤進行取放的需求。

技術實現要素：

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種裝卸手，其可以夾持不同厚度的托盤，從而可以擴大應用范圍，滿足設備對不同厚度的托盤進行取放的需求。

為實現本發明的目的而提供一種裝卸手，用于夾持托盤，所述托盤用于承載多個基片，所述裝卸手包括承托件、壓緊件和手柄，其中，所述承托件包括用于承載所述托盤的承載面；所述壓緊件包括用于壓住所述托盤的壓緊面；所述手柄包括第一握持部和第二握持部，二者通過轉動副連接，所述第一握持部與所述承托件連接，所述第二握持部與所述壓緊件連接，并且所述承托件和壓緊件位于所述轉動副的一側，而所述第一握持部和第二握持部位于所述轉動副的另一側；通過開合所述第一握持部和第二握持部，使所述壓緊件與所述承托件相互分離，或者使所述壓緊件與所述承托件夾持所述托盤；在所述壓緊件上設置有彈性組件，用于在所述壓緊件與所述承托件夾持所述托盤時，向所述托盤施加將其壓緊在所述承托件上的彈力。

優選地，所述彈性組件包括壓塊、固定銷和壓縮彈簧，其中，在所述壓緊件上設置有貫穿其厚度的通孔，所述固定銷安裝在所述通孔中；所述壓塊位于所述承載面與所述壓緊面之間，且與所述固定銷靠近所述承托件的一端連接；所述壓縮彈簧套設在所述固定銷上，且位于所述壓塊與所述壓緊件之間，用以在所述壓緊件與所述承托件夾 持所述托盤時，通過所述壓塊向所述托盤施加將其壓緊在所述承托件上的彈力。

優選地，所述壓塊與所述固定銷螺紋連接；通過順時針或逆時針旋轉所述壓塊，改變所述壓塊與所述固定銷的相對位置，以調節所述壓塊與所述承載面之間的間距。

優選地，在所述壓緊件的壓緊面上，且位于與所述通孔相對應的位置處設置有凹槽，用以容納所述壓塊。

優選地，所述彈性組件的數量為多個，且相對于所述壓緊面均勻分布。

優選地，在所述承托件的承載面上，且靠近所述壓緊件的一側邊緣處設置有壓邊部，所述壓邊部與所述承托件在所述承載面的邊緣區域形成凹槽，所述托盤在被裝載至所述承托件的承載面上時，其一部分位于所述凹槽中。

優選地，所述壓邊部為兩個，且對稱地分布在所述壓緊件的兩側。

優選地，在所述承托件上設置有摩擦墊，用以增加所述承托件與所述托盤之間的摩擦力。

優選地，所述裝卸手還包括限位銷；對應地分別在所述第一握持部和第二握持部上設置有通孔，所述第一握持部和第二握持部的通孔在二者閉合時同軸；通過將所述限位銷插入所述第一握持部和第二握持部的通孔中，鎖定所述壓緊件與所述承托件在相互分離時的相對位置。

優選地，所述壓緊件的形狀與所述托盤的上表面邊緣的一部分的形狀吻合。

本發明具有以下有益效果：

本發明提供的裝卸手，其通過在壓緊件上設置彈性組件，用于在壓緊件與承托件夾持托盤時，向托盤施加將其壓緊在承托件上的彈力，可以自動夾緊不同厚度的托盤，從而可以擴大應用范圍，滿足設備對不同厚度的托盤進行取放的需求。

附圖說明

圖1為現有的片盒的結構示意圖；

圖2為現有的裝卸手的結構示意圖；

圖3為現有的裝卸手在夾持托盤時的結構示意圖；

圖4A為本發明實施例提供的裝卸手的俯視圖；

圖4B為圖4A中沿A-A線的局部剖視圖；

圖4C為圖4B中I區域的放大圖；

圖5為本發明實施例提供的裝卸手夾持厚度最小的托盤時的局部剖視圖；以及

圖6為本發明實施例提供的裝卸手夾持厚度最大的托盤時的局部剖視圖。

具體實施方式

為使本領域的技術人員更好地理解本發明的技術方案，下面結合附圖來對本發明提供的裝卸手進行詳細描述。

裝卸手用于采用夾持的方式自片盒取出或者放入托盤。該片盒具有多個槽位，且沿豎直方向間隔設置，用于一一對應地裝載多個托盤。該托盤用于承載多個基片，基片例如為藍寶石襯底或者硅襯底，直徑通常為2～8寸。

圖4A為本發明實施例提供的裝卸手的俯視圖。圖4B為圖4A中沿A-A線的局部剖視圖。圖4C為圖4B中I區域的放大圖。請一并參閱圖4A-圖4C，裝卸手包括承托件61、壓緊件62和手柄，其中，承托件61用于承載托盤7，該承托件61僅支撐托盤7的一部分，而托盤7的其余部分懸空，這在保證穩定支撐托盤7的基礎上，不僅可以減輕裝卸手的重量，減少操作人員的體力消耗，而且不容易與鄰近的托盤發生碰撞，從而可以降低對操作準確度的要求。例如，如圖4A所示，承托件61的形狀近似為“鏟子”的形狀，以方便操作人員的取放托盤。

優選的，在承托件61上設置有摩擦墊67，如圖4B所示，該摩擦墊67可以采用例如橡膠等的摩擦系數較大的材料制作，用以增加 承托件61與托盤7之間的摩擦力，從而可以防止托盤7掉落。容易理解，摩擦墊67的上表面即為用于承載托盤7的承載面611，其相對于承托件61的上表面凸出，以保證能夠與托盤7相接觸。

壓緊件62包括用于壓住托盤7的壓緊面，該壓緊面在壓緊件62壓住托盤7時與承載面611相對。手柄包括第一握持部64和第二握持部66，二者通過轉動副68連接，其中，第一握持部64與承托件61連接，第二握持部66與壓緊件62連接，并且承托件61和壓緊件62位于轉動副68的一側(圖4B中轉動副68的右側)，而第一握持部64和第二握持部66位于轉動副68的另一側圖4B中轉動副68的左側)；通過開合第一握持部64和第二握持部66，承托件61和壓緊件62隨二者同步開合，從而可以使壓緊件62與承托件62相互分離，或者使壓緊件62與承托件61夾持托盤7。

優選的，壓緊件62的形狀與托盤7的上表面邊緣的一部分的形狀吻合，這可以減小壓緊件62與承托件61在張開時的寬度，從而可以避免壓緊件62與承托件61在張開時與相鄰的上下兩個托盤發生碰撞。

另外，優選的，裝卸手還包括限位銷69，如圖4B所示，對應地分別在第一握持部64和第二握持部66上設置有通孔，第一握持部64和第二握持部66的通孔在二者閉合時同軸；通過將限位銷69插入第一握持部64和第二握持部66的通孔中，可以鎖定壓緊件62與承托件61在相互分離時的相對位置，從而可以避免因壓緊件62與承托件61張開的角度過大而與相鄰的上、下兩個托盤發生碰撞。容易理解，當需要重新張開壓緊件62與承托件61時，僅需取出限位銷69即可。

在本實施例中，在壓緊件62上設置有彈性組件63，用于在壓緊件62與承托件61夾持托盤7時，向托盤7施加將其壓緊在承托件61上的彈力。借助該彈性組件63，可以自動夾緊不同厚度的托盤，從而可以擴大應用范圍，滿足設備對不同厚度的托盤進行取放的需求。

如圖4C所示，彈性組件63包括壓塊633、固定銷631和壓縮 彈簧632，其中，在壓緊件62上設置有貫穿其厚度的通孔622，固定銷631安裝在通孔622中。該通孔622為沉頭孔，以降低固定銷631的高度。當然在實際應用中，通孔622也可以為直通孔，在這種情況下，固定銷631的頭部位于壓緊件62的上表面。壓塊633位于承載面611與壓緊面621之間，且與固定銷631靠近承托件61的一端(即下端)連接。壓縮彈簧632套設在固定銷631上，且位于壓塊633與壓緊件62之間，用以在壓緊件62與承托件61夾持托盤7時，通過壓塊633向托盤7施加將其壓緊在承托件61上的彈力。另外，在壓緊件62的壓緊面621上設置有凹槽623，該凹槽623的位置與通孔622的位置相對應，用以容納壓塊633，保證壓塊633有足夠的空間上移。當然，在實際應用中，也可以不設置該凹槽623。

若托盤7的厚度為B，承載面611與壓緊面621之間的豎直間隙為D，且厚度B小于豎直間隙D，如圖4C所示，當壓緊件62與承托件61閉合時，壓塊633會克服壓縮彈簧632的彈力使其產生壓縮變形，同時壓塊633受到壓縮彈簧632向下的反作用力，并傳遞至托盤7，從而實現壓緊托盤7。此外，固定銷631隨壓塊633一起被向上頂起，即，其頂部相對于壓緊件62的上表面凸出一部分，該部分的高度為H。

圖5為本發明實施例提供的裝卸手夾持厚度最小的托盤時的局部剖視圖。請參閱圖5，若托盤7的厚度為B1，且厚度B1小于上述厚度B，此時壓縮彈簧632相對于前述情況處于被輕壓縮的狀態，壓塊633與托盤7之間的摩擦力較小，但是仍然可以保證壓塊633能夠穩定地壓住托盤7。

圖6為本發明實施例提供的裝卸手夾持厚度最大的托盤時的局部剖視圖。請參閱圖6，若托盤7的厚度為B2，且厚度B2大于上述厚度B，此時壓縮彈簧632相對于前述情況處于被緊壓縮的狀態，壓塊633與托盤7之間的摩擦力較大，從而可以穩定地壓住托盤7。此外，壓縮彈簧632已達到最大壓縮量，同時固定銷631的頂部相對于壓緊件62的上表面凸出的部分的高度為H1，此時固定銷631的高度達到最大值。由此可知，固定銷631的高度可以反映出托盤7的厚度。

由上述三種情況可知，通過在壓緊件62上設置彈性組件63，可以自動夾緊不同厚度的托盤7，從而可以擴大應用范圍，滿足設備對不同厚度的托盤7進行取放的需求。

在實際應用中，壓縮彈簧的選取應保證在其在處于上述輕壓縮和緊壓縮的狀態時，均在有效壓縮區間內，從而確保壓縮彈簧不被損壞，而且壓縮彈簧在處于輕壓縮狀態時，應保證壓塊633與托盤7之間有足夠的摩擦力，從而確保壓塊633能夠穩定地壓住托盤7。

優選的，壓塊633與固定銷631螺紋連接；通過順時針或逆時針旋轉壓塊633，改變壓塊633與固定銷的相對位置，以調節所述壓塊與所述承載面之間的間距。

在本實施例中，如圖4A所示，上述彈性組件的數量為三個，且相對于壓緊面621均勻分布，用以保證在壓緊件62壓住托盤7時，使托盤7受力均勻，從而可以避免托盤7傾斜或滑出。在實際應用中，彈性組件的數量還可以根據具體情況設計為一個、兩個或者四個以上。

在本實施例中，如圖4A所示，在承托件61的承載面611上，且靠近壓緊件62的一側邊緣處設置有壓邊部65，壓邊部65與承托件61在承載面611的邊緣區域形成凹槽，托盤7在被裝載至承托件61的承載面611上時，其一部分位于該凹槽中，從而可以起到限位和固定的作用。上述壓邊部65的下表面與承載面611之間的豎直間距大致等于承載面611與壓緊面621之間的豎直間隙為D。優選的，壓邊部65為兩個，且對稱地分布在壓緊件62的兩側，用以避免托盤7傾斜或滑出。在實際應用中，壓邊部的數量和位置可以根據承托件或壓緊件的形狀和結構的不同而作適應性調整。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發明并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本發明的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發明的保護范圍。