一種帶孔方形基片的夾持傳送裝置的制作方法

本發明屬于半導體行業擦片清洗領域，具體地說是一種帶孔方形基片的夾持傳送裝置。

背景技術：

目前，有部分企業采用有孔的方形陶瓷基片做產品。方形基片上的孔是由激光打孔，直徑約為0.2mm，激光打孔后，需要刷洗掉沉積在基片表面的熔融物以便于后續工藝的制作。去除掉基片表面的熔融物需要化學液沖洗及毛刷旋轉刷洗共同作用，因此基片需要有支撐部分，基片有支撐的面會有少量液體的殘留，取送基片的時候會有液體與取送裝置接觸，所以取送裝置需應對有液體的情況。現有基片的傳送固定方式普遍采用真空吸附的固定方式，吸附不了帶孔的基片。

技術實現要素：

為了解決真空傳送固定方式吸附不了有孔基片的問題，本發明的目的在于提供一種帶孔方形基片的夾持傳送裝置。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發明包括機械手安裝座、一字型手指安裝座、一字型手指、雙向滑臺及L型手指，其中雙向滑臺安裝在機械手安裝座上，在該雙向滑臺的兩側均設有安裝在所述機械手安裝座上的一字型手指安裝座，每個所述一字型手指安裝座上均連接有一字型手指；每個所述一字型手指的下方均設有L型手指，每個所述L型手指的一端均與所述雙向滑臺相連，另一端向上彎折形成L型；所述一字型手指及L型手指均隨機械手安裝座移動，兩側的所述一字型手指依次承載帶孔方形基片，并通過由所述雙向滑臺驅動的同側的L型手指實現夾持。

其中：所述雙向滑臺上安裝有調節L型手指推動帶孔方形基片速度及夾持帶孔方形基片力度的調速閥；每側所述L型手指向上彎折處均設有防止液體在一字型手指及L型手指上聚集的液體導流槽；所述一字型手指的一端固接在一字型手指安裝座上，另一端為自由端，所述L型手指向上彎折的另一端位于一字型手指另一端的外側；所述一 字型手指與一字型手指安裝座固接一端的上表面與一字型手指承載帶孔方形基片的自由端的上表面存在高度差，形成對所述帶孔方形基片的固定限位；兩側的所述一字型手指高度相同、對稱設置，兩側的所述L型手指高度相同、對稱設置，每側的所述一字型手指與同側的所述L型手指相平行。

本發明的優點與積極效果為：

1.本發明通過一字型手指承載帶孔方形基片，由雙向滑臺驅動L型手指推動帶孔方形基片，實現夾持，相比真空吸附等取送方式，本發明抓取更牢固、不會發生基片在傳送過程中有位置變化，解決了有孔及有液體的基片傳送問題，并且可用于有腐蝕性的液體。

2.本發明帶孔方形基片的推動速度及到L型手指夾持帶孔方形基片的力度可通過調速閥調節到設定的速度和力度。

3.本發明L型手指上設有液體導流槽，防止液體在一字型手指及L型手指上聚集，便于排放。

4.本發明一字型手指與一字型手指安裝座固接一端的上表面與承載帶孔方形基片的自由端的上表面存在高度差，形成了固定限位，使帶孔方形基片夾持更牢固，更防止了液體接觸到一字型手指安裝座。。

5.本發明的一字型手指和L型手指有共同的安裝基準機械手安裝座，保證了一字型手指和L型手指配合取片的準確性。

6.本發明結構簡單、安裝方便，便于更換以兼容各種尺寸的方形基片。

附圖說明

圖1為本發明的結構主視圖；

圖2為本發明的軸側圖；

其中：1為機械手安裝座，2為一字型手指安裝座，3為一字型手指，4為雙向滑臺，5為L型手指，6為調速閥，7為帶孔方形基片，8為液體導流槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳述。

如圖1、圖2所示，本發明包括機械手安裝座1、一字型手指安裝座2、一字型手指3、雙向滑臺4及L型手指5，其中機械手安裝座1的一端與機械手相連、隨機械手移動，另一端的下表面安裝有雙 向滑臺4，在雙向滑臺4的兩側對稱設有兩個一字型手指安裝座2。

每個一字型手指安裝座2均為“L”型，固定在機械手安裝座1的下表面，每個一字型手指安裝座2上均固接有一字型手指3。

雙向滑臺4兩側的一字型手指3等高對稱設置，每個一字型手指3均為長方形，一端固接在同側的一字型手指安裝座2上，另一端為自由端。

在兩側一字型手指3的下方，各設有一個L型手指5；兩側的L型手指5等高對稱設置，且分別與同側上方的一字型手指3相平行。每個L型手指5的一端均與雙向滑臺4固接，另一端向上彎折形成L型。每側L型手指5向上彎折的另一端位于同側一字型手指3另一端的外側。每側L型手指5在向上彎折處均設有液體導流槽8，防止液體在一字型手指3及L型手指5上聚集，便于排放。

每側一字型手指3與同側一字型手指安裝座2固接一端的上表面高于一字型手指3承載帶孔方形基片7的自由端的上表面，即一字型手指3兩端的上表面存在垂直高度差，形成對帶孔方形基片7的固定限位，防止液體接觸到一字型手指安裝座2，只是一字型手指3接觸液體。

的上表面低于同側一字型手指安裝座2的上表面，即一字型手指3上表面與一字型手指安裝座2上表面存在高度差，形成對帶孔方形基片7的固定限位。

一字型手指3和L型手指5有共同的安裝基準機械手安裝座1，保證了一字型手指3和L型手指5配合取片的準確性。在雙向滑臺4上還安裝有調速閥6，帶孔方形基片7的推動速度及到L型手指5夾持帶孔方形基片7的力度可通過調速閥6調節到設定的速度和力度。

本發明的雙向滑臺4為市購產品，購置于日本SMC公司，型號為MHF2-8DR-M9NW；調速閥6為市購產品，購置于日本SMC公司，型號為AS2201F-01-04S。

本發明的工作原理為：

在機械手指取片時，一字型手指3會隨機械手安裝座1運行到帶孔方形基片7下方，帶孔方形基片7然后落到兩側的一字型手指3上、由一字型手指3承載；一側的L型手指5會通過雙向滑臺4的驅動把帶孔方形基片7向雙向滑臺4驅動的方向推動，直至帶孔方形基片7碰到該側一字型手指3后方的固定限位上，利用L型手指5和固定限 位對帶孔方形基片7相對的兩側實現夾持。然后，另一側的L型手指5再通過雙向滑臺4的驅動把帶孔方形基片7向雙向滑臺4驅動的方向推動，直至帶孔方形基片7碰到另一側一字型手指3后方的固定限位上。

雙向滑臺4同時驅動兩側的L型手指5進行伸縮，因此本發明取送完成一側的單個帶孔方形基片7后才能進行另一側帶孔方形基片7的取送。

本發明可安裝在直線導軌或是電缸上以直線運行。

本發明的材料采用鋁合金，鋁合金表面可以通過表面處理，使其具有抗腐蝕、抗磨損、高硬度的性能，并且方便更換。