觸控顯示面板的制作方法【專利說明】【
技術領域：
】[0001]本發明涉及一種觸控顯示面板，特別涉及一種透過雷射圖案化工藝制作的觸控顯示面板。【【
背景技術：
】】[0002]近年來，觸控技術已經逐漸廣泛應用在一般的消費性電子商品上，例如行動通訊裝置、數字相機、數字音樂播放器(MP3)、個人數字助理器(PDA)、衛星導航器(GPS)、掌上型計算機(hand-heldPC)、平板計算機(tablet),甚至薪新的超級行動計算機(UltraMobilePC,UMPC)等。觸控技術可以多種形式應用在顯示面板上，例如是外加觸控面板在顯示面板上(外掛式)，或是直接在顯示面板上制作觸控感測單元(內嵌式，又分為on-cell與in-cell兩種)。[0003]但是，制作觸控感測單元的工藝需經過成膜、曝光、顯影、蝕刻等工藝形成，其中在微影工藝的一連串步驟中，很容易在基板上殘留曝光階段使用的光阻和顯影液，而影響到后續進行的蝕刻或其它沉積工藝的質量。而且，光阻涂布、軟烤、曝光、顯影、硬烤、去光阻、回火等工藝過于繁復，例如回火通常需要進行烤箱回火步驟才能使非晶質轉變成多晶質材料，不但制作成本高、耗時，人為的疏失以及不當的工藝控制也都很容易造成基板彎曲、損壞或是污染。【【
發明內容】】[0004]本發明的目的在于提供一種觸控顯示面板，能夠簡化工藝而節省制作成本，并可得到較為準確的移轉圖案，同時避免公知將基板送到烤箱回火而容易造成基板彎曲、損壞或污染等問題。[0005]為達上述目的，本發明的一種觸控顯示面板包括一彩色濾光基板、一主動矩陣晶體管基板、一液晶層、一電極對、多個觸控感測單元以及至少一抗擾斑塊。主動矩陣晶體管基板與彩色濾光基板對應配置。液晶層設置在彩色濾光基板與主動矩陣晶體管基板之間。電極對設置在主動矩陣晶體管基板。電極對包括一畫素電極及一共享電極。畫素電極與共享電極間產生邊緣電場控制液晶層的液晶分子轉動。觸控感測單元共平面的設置在彩色濾光基板。相鄰的多個觸控感測單元之間形成一間隙區。抗擾斑塊設置在間隙區內。多個觸控感測單元及抗擾斑塊透過雷射回火處理而形成導電結構。[0006]在一實施例中，導電結構是結晶銦錫氧化物，透過將整片非晶銦錫氧化物層以一具有一彎折的抗擾斑塊圖案與一感測層預定圖案進行雷射回火處理后，去除未透過雷射回火處理的部分而得。[0007]在一實施例中，去除方式是濕式蝕刻。[0008]在一實施例中，導電結構是奈米金屬線，透過將整片奈米金屬層以一具有一彎折的抗擾斑塊圖案與一感測層預定圖案進行雷射回火處理后，去除未透過雷射回火處理的部分而得。[0009]在一實施例中，奈米金屬層包括一基質及多個奈米金屬結構，多個奈米金屬結構設置在基質內。[0010]在一實施例中，基質透過雷射處理后被去除。[0011]在一實施例中，主動矩陣晶體管基板包括一透光基板、多條閘極線、一閘極絕緣層以及多條數據線。多條閘極線配置在透光基板上。閘極絕緣層配置在透光基板上，并覆蓋多條閘極線。多條數據線配置在閘極絕緣層上。畫素電極配置在閘極絕緣層上，并與多條數據線位在同一層。[0012]在一實施例中，主動矩陣晶體管基板包括一透光基板、多條閘極線、一閘極絕緣層以及多條數據線。多條閘極線配置在透光基板上。共用電極配置在透光基板上，并與多條閘極線位在同一層。閘極絕緣層配置在透光基板上，并覆蓋多條閘極線及共用電極。多條數據線配置在閘極絕緣層上。畫素電極配置在閘極絕緣層上。[0013]在一實施例中，畫素電極及共用電極的材料是金屬氧化物。[0014]在一實施例中，共用電極是整片電極，畫素電極間隔配置在共用電極的上方；或者，畫素電極是整片電極，共用電極間隔配置在畫素電極的上方。[0015]在一實施例中，共用電極呈多條間隔配置，畫素電極間隔配置在相鄰共用電極之間的上方；或者，畫素電極呈多條間隔配置，共用電極間隔配置在相鄰畫素電極之間的上方。[0016]為達上述目的，本發明的另一種觸控顯示面板包括一雷射圖案化隱形感測層基板、一第二基板以及多個有機發光二極管單元。雷射圖案化隱形感測層基板包括一第一基板及至少一結構變化層。結構變化層透過雷射回火處理而形成導電結構。第二基板與第一基板對應貼合。有機發光二極管單元設置在第二基板上。有機發光二極管單元包括一第一電極層、一第二電極層及一有機發光層。第一電極層設置在第二基板上。有機發光層位在第一電極層與第二電極層之間。[0017]承上所述，在本發明將觸控面板的感測層以具有彎折的抗擾斑塊圖案與感測層預定圖案進行雷射回火處理，再去除抗擾斑塊圖案以外與感測層預定圖案以外的部分感測層，而形成觸控面板的隱形感測層，這種方式制作的觸控顯示面板能夠簡化工藝而節省制作成本，并可得到較為準確的移轉圖案，同時避免公知將基板送到烤箱回火而容易造成基板彎曲、損壞或污染等問題。【【附圖說明】】[0018]圖1是本發明較佳實施例的觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備的功能方塊圖。[0019]圖2是雷射單元的功能方塊圖。[0020]圖3A是雷射回火處理的立體示意圖。[0021]圖3B是圖3A沿A-A線段的剖面圖。[0022]圖4是感測層在工作雷射光照射前后的示意圖。[0023]圖5A是本發明較佳實施例的雷射圖案化隱形感測層基板的部分剖面圖。[0024]圖5B是本發明較佳實施例的雷射圖案化隱形感測層基板的上視圖。[0025]圖6A是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在外掛式觸控顯示面板的不意圖。[0026]圖6B是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在有機發光二極管觸控顯示裝置的示意圖。[0027]圖6C是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在液晶觸控顯示裝置的示意圖。[0028]圖7是本發明一實施例的邊緣電場轉換型液晶觸控顯示面板的示意圖。[0029]圖8A是本發明一實施例的主動矩陣晶體管基板的布線示意圖。[0030]圖8B是圖8A的主動矩陣晶體管基板沿B-B線段的剖面示意圖。[0031]圖9A是本發明一實施例的主動矩陣晶體管基板的布線示意圖。[0032]圖9B是圖9A的主動矩陣晶體管基板沿C_C線段的剖面示意圖。【【具體實施方式】】[0033]以下將參考相關附圖，說明依本發明較佳實施例的觸控顯示面板，其中相同的元件將以相同的參考符號加以說明。[0034]圖1是本發明較佳實施例的觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備的功能方塊圖。請參考圖1所示，雷射圖案化設備1可用以形成顯示面板的畫素電極、觸控面板的觸控電極(觸控感測結構)、或其它線路例如導線或接地線等導電結構。在本實施例中，是以形成觸控面板的隱形感測層(invisiblesensorlayer)為例進行說明。在此，雷射圖案化設備1包括一加載單元11、一成膜單元12、一雷射單元13以及一蝕刻單元14。[0035]加載單元11可提供一基板2(如圖2所示)，以將基板2運送到其它單元作后續工藝。實施上，加載單元11可以是機械手臂，以夾持基板2而運送，或者以吸附的方式運送基板2，例如機械手臂貼附在基板2并將空氣抽出而真空吸附，或是利用電磁鐵吸附基板2而運送。當然，以電磁鐵吸附的方式運送時，基板2需要是導磁性基材，或是事先貼合在一導磁元件以方便運送作業。除此之外，加載單元11也可以是滾輪組或輸送帶，以使基板2透過滾輪組或輸送帶運送到各單元的工作區。另外，當基板2是可撓性基板時，加載單元11也可使用多個滾動條(rolltoroll)來運送基板2。[0036]基板2是透光材料，例如是玻璃基板、高分子基板、塑料基板、或藍寶石基板，在此是以玻璃基板為例。基板2可以是剛性基板或可撓性基板，當是可撓性基板時，其可應用在可撓性顯示器。在應用上，基板2可以是透光蓋板(coverglass)，以減少應用在觸控面板的厚度。[0037]成膜(deposit1n)單元12可形成一感測層21在基板2上。在一些實施例中，成膜單元12可例如包括一腔室，以及一些容置在腔室內的沉積裝置，如沉積源或氣閥等。另夕卜，成膜單元12可透過調整氣閥的氣體供應而控制在大氣壓力環境、真空環境或鈍氣環境的狀態下作業。當基板2透過加載單元11運送到成膜單元12內，成膜單元12就可以濺鍍(sputtering)或蒸鍛(evaporat1n)形成感測層21在基板2上。在一些實施例中，成膜單元12可包括印刷機,透過印刷或噴墨印刷(ink-jetp當前第1頁1 2 3 4