電容式傳感器、傳感裝置、感測系統、以及電子設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及電容式傳感技術領域，尤其涉及一種電容式傳感器、電容式傳感裝置、電容式感測系統、以及電子設備。
【背景技術】
[0002]隨著社會的發展，越來越多的電子設備(如:手機、平板電腦、穿戴式設備、以及智能家居等各種智能產品)一般都會設置一種或多種傳感裝置。所述傳感裝置包括如感測用戶觸摸操作的觸摸傳感裝置、感測人體生物信息的生物信息傳感裝置等等。目前，生物信息傳感裝置等多采用電容式傳感裝置來執行感測操作。
[0003]電容式傳感裝置一般包括電容式傳感器和控制電路。所述電容式傳感器包括多個傳感單元(sensor)。所述多個傳感單元接收控制電路的驅動信號，并在用戶觸摸所述多個傳感單元時對應輸出感測信號給所述控制電路，以獲得相應的感測信息。
[0004]然，各傳感單元獨立檢測，分別輸出單一感測信號，所述單一感測信號(如:電壓和/或電量)一般強度較弱。另外，電壓、電量等感測信號在被傳輸的過程中易受電容式傳感裝置中寄生電容的影響，較不穩定，從而導致電容式傳感裝置的感測存在不精確或者出現誤判的情況，影響用戶體驗。
【發明內容】
[0005]有鑒于此，本發明提供了一種輸出感測信號較穩定的電容式傳感器、感測精度較高的電容式傳感裝置、感測精度較高的電容式感測系統、以及用戶體驗較好的電子設備。
[0006]本發明提供了一種電容式傳感器，包括:
[0007]多個傳感單元，呈陣列式排布，所述傳感單元包括:
[0008]感測電極，能夠以電容方式耦合到目標物體，所述感測電極用于加載參考信號；和
[0009]傳感電路，包括第三晶體管，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極，其中，第五傳輸電極用于連接一電流源；第三控制電極與感測電極為二電極，第三控制電極連接感測電極，或者，第三控制電極與感測電極為同一電極；所述第三晶體管用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，對應于第六傳輸電極上形成第二交流信號。
[0010]第二交流信號為電流信號。
[0011]優選地，相鄰的傳感單元的第三晶體管用于形成差分對管。
[0012]優選地，對于一傳感單元的第三晶體管:
[0013]用于與行方向上相鄰的傳感單元的第三晶體管形成差分對管；或/和
[0014]用于與列方向上相鄰的傳感單元的第三晶體管形成差分對管。
[0015]優選地，當相鄰的二傳感單元的第三晶體管形成差分對管時，所述相鄰的二傳感單元的第三晶體管分別形成的第二交流信號同幅同頻反相，且二者之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號相等。
[0016]優選地，所述電容式傳感器進一步包括信號線群組，一信號群組連接至少二傳感單元，所述信號線群組包括第一信號線、第二信號線、和第三信號線；所述第一信號線用于連接所述電流源；
[0017]對于位于同一列的二相鄰傳感單元:一傳感單元中的第三晶體管的第六傳輸電極用于與第二信號線連接，另一傳感單元中的第三晶體管的第六傳輸電極用于與第三信號線連接；所述二相鄰傳感單元的第三晶體管的第五傳輸電極通過同一第一信號線相連接。
[0018]優選地，奇數行的傳感單元的第三晶體管連接第二信號線；偶數行的傳感單元的第三晶體管連接第三信號線。
[0019]優選地，所述第一信號線、第二信號線、和第三信號線沿列方向延伸，對于同一信號線群組，所述第二信號線與所述第三信號線沿著行方向依次排列。
[0020]優選地，每一列傳感單元連接一信號線群組，不同列傳感單元連接不同的信號線群組。
[0021]優選地，所述電容式傳感器進一步包括第一開關單元，所述第一開關單元連接于第五傳輸電極與所述第一信號線之間，用于控制第五傳輸電極與第一信號線之間是否進行電流傳輸。
[0022]優選地，所述電容式傳感器進一步包括掃描線群組，所述掃描線群組包括第一掃描線，所述第一開關單元包括第一晶體管，所述第一晶體管包括第一控制電極、第一傳輸電極、和第二傳輸電極，所述第一控制電極與第一掃描線連接，用于響應第一掃描線上傳輸的掃描信號而對應控制第一傳輸電極與第二傳輸電極是否電連通，第一傳輸電極與第一信號線連接，第二傳輸電極與第五傳輸電極連接。
[0023]優選地，所述掃描線群組進一步包括第二掃描線，所述第一開關單元進一步包括第二晶體管，所述第二晶體管包括第二控制電極、第三傳輸電極、和第四傳輸電極，其中，第二控制電極連接第二掃描線，用于響應第二掃描線上傳輸的掃描信號而對應控制第三傳輸電極與第四傳輸電極是否電連通，第三傳輸電極連接第二傳輸電極、第四傳輸電極連接第五傳輸電極。
[0024]優選地，所述第二掃描線與所述第一掃描線絕緣交叉排布。
[0025]優選地，所述傳感電路進一步包括第二開關單元，用于控制是否傳輸所述參考信號給所述感測電極。
[0026]優選地，所述電容式傳感器進一步包括多條參考信號線，所述參考信號線與所述第二開關單元連接，用于傳輸所述參考信號。
[0027]優選地，所述掃描線群組進一步包括第三掃描線，所述第二開關單元包括:
[0028]第五晶體管，包括第五控制電極、第九傳輸電極、和第十傳輸電極，其中，第五控制電極連接第三掃描線，用于響應第三掃描線上傳輸的掃描信號而對應控制第九傳輸電極與第十傳輸電極是否電連通，第九傳輸電極連接參考信號線、第十傳輸電極連接第三控制電極。
[0029]優選地，所述傳感電路進一步包括第一補償單元，第十傳輸電極與第三控制電極之間串接第一補償單元，所述第一補償單元用于補償第五晶體管關閉時第十傳輸電極與第三控制電極之間的電壓。
[0030]優選地，所述掃描線群組進一步包括第四掃描線，所述第一補償單元包括第七晶體管，所述第七晶體管包括第七控制電極、第十三傳輸電極、和第十四傳輸電極，所述第七控制電極連接第四掃描線，所述第十三傳輸電極連接第十傳輸電極，所述第十四傳輸電極連接第三控制電極，且第十三傳輸電極與第十四傳輸電極短接。
[0031]優選地，所述第七晶體管用于與所述第五晶體管交替導通。
[0032]優選地，第一掃描線用于連接同一行第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一列第二晶體管的第二控制電極；或者，第一掃描線用于連接同一列第一晶體管的第一控制電極，第二掃描線用于連接同一行第二晶體管的第二控制電極。
[0033]優選地，同一行的傳感單元共用同一第三掃描線、同一第四掃描線、和同一參考信號線。
[0034]優選地，所述電容式傳感器進一步包括基板，所述基板用于承載所述多個傳感單
J L ο
[0035]優選地，當所述感測電極與所述第三控制電極為二電極時，所述傳感電路設置在所述感測電極與所述基板之間，且所述傳感電路的結構中設置接觸孔，所述感測電極通過所述接觸孔與所述第三控制電極連接；當所述感測電極與所述第三控制電極為同一電極時，所述第三控制電極相較于第五傳輸電極與第六傳輸電極鄰近所述基板設置。
[0036]優選地，所述電容式傳感器進一步包括接地線，與所述多個傳感單元設置在所述基板的同側，所述接地線用于加載一電壓信號，所述參考信號為恒定電壓信號或變化的電壓信號，在未有目標物體接近或觸摸所述感測電極時，所述參考信號相對于所述接地線加載的電壓信號保持不變。
[0037]優選地，所述感測電極與所述接地線相配合，來覆蓋所述傳感電路、信號線群組、掃描線群組、和參考信號線。
[0038]優選地，所述基板為絕緣基板，所述傳感電路中的所述各晶體管均采用薄膜晶體管，其中，所述薄膜晶體管的柵極用作控制電極，源極與漏極分別用作傳輸電極。
[0039]優選地，所述電容式傳感器進一步包括導電層，所述導電層與所述多個傳感單元設置在所述基板的相對二側，所述接地線與所述導電層用于傳輸相同的調制信號，所述調制信號包括接地信號和驅動信號。
[0040]優選地，所述電容式傳感器為指紋傳感器。
[0041]優選地，每一傳感單元的第三晶體管用于分時與各相鄰的傳感單元的晶體管分別形成差分對管。
[0042]優選地，所述第三晶體管對感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起的參考信號的變化量進行轉換以及放大，以產生放大的第二交流信號。
[0043]優選地，所述第二交流信號是用以計算目標物體的預定生物信息。
[0044]優選地，當第三控制電極與所述感測電極為二電極時，所述第三控制電極直接連接所述感測電極，或者，所述第三控制電極通過電阻連接所述感測電極。
[0045]本發明還提供一種電容式傳感裝置，包括電容式傳感器和控制電路，所述控制電路用于控制所述電容式傳感器執行感測操作，其中，所述電容式傳感器為上述中任意所述的電容式傳感器。
[0046]優選地，所述控制電路集成在一顆芯片上，所述電容式傳感器集成為另一顆芯片。
[0047]優選地，所述控制電路集成為一控制芯片，所述控制芯片采用半導體基板上形成包括有互補金屬氧化物半導體晶體管的集成電路的工藝制成，所述電容式傳感器采用絕緣基板上形成包括有薄膜晶體管的集成電路的工藝制成，其中，所述控制芯片壓合在形成有電容式傳感器的絕緣基板上。
[0048]本發明還提供一種電容式感測系統，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意所述的電容式傳感裝置，所述控制電路包括接地端，所述電源管理芯片用于為所述接地端提供調制信號，所述控制電路用于為所述電容傳感器提供參考信號，其中，所述參考信號隨所述調制信號的升高而升高、隨所述調制信號的降低而降低。
[0049]本發明還提供一種電容式感測系統，包括電容式傳感裝置和電源管理芯片，所述電源管理芯片用于為所述電容式傳感裝置供電，其中，所述電容式感測裝置為上述中任意一項所述的電容式傳感裝置，所述電源管理芯片提供給電容式傳感器的電源電壓高于提供給集成有控制電路的芯片的電源電壓。
[0050]本發明還提供一種電子設備，包括電容式傳感裝置，其中，所述電容式傳感裝置為上述中任意所述的電容式感測系統。
[0051]本發明還提供一種電子設備，包括電容式感測系統，其中，所述電容式感測系統為上述中任意所述的電容式感測系統。
[0052]由于本發明的電容式示傳感器的傳感單元包括第三晶體管，第三晶體管用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應于第六傳輸電極上形成第二交流信號，因此，所述電容式示傳感器輸出的感測信號較穩定。相應地，包括所述電容式傳感器的電容式傳感裝置的感測精度較高，具有所述電容式傳感裝置的電容式感測系統的感測精度較高，具有電容式傳感裝置或電容式感測系統的電子設備的用戶體驗較好。
[0053]盡管公開了多個實施例，包括其變化，但是通過示出并描述了本發明公開的說明性實施例的下列詳細描述，本發明公開的其他實施例將對所屬領域的技術人員顯而易見。將認識到，本發明公開能夠在各種顯而易見的方面修改，所有修改都不會偏離本發明的精神和范圍。相應地，附圖和詳細描述本質上應被視為說明性的，而不是限制性的。
【附圖說明】
[0054]通過參照附圖詳細描述其示例實施方式，本發明的特征及優點將變得更加明顯。
[0055]圖1為本發明電容式傳感裝置的第一實施方式的示意圖。
[0056]圖2為圖1所示電容式傳感裝置的電路結構示意圖。
[0057]圖3為圖2所示電容式傳感器的部分電路結構示意圖。
[0058]圖4為圖2所示電容式傳感裝置的部分電路結構示意圖。
[0059]圖5與圖6為圖3所示傳感電路的其它變更實施方式的示意圖。
[0060]圖7為圖1所示電容式傳感器的示意圖。
[0061]圖8至圖11中主要示出電容式傳感器的一傳感單元的第三晶體管與感測電極的剖面結構示意圖。
[0062]圖12為圖2所示的電容式傳感裝置的工作時序圖。
[0063]圖13為圖1所示電容式傳感器的部分方框示意圖。
[0064]圖14為本發明電容式傳感裝置的第二實施方式的示意圖。
[0065]圖15為圖14所示一行方向上相鄰二傳感單元的電路結構示意圖。
[0066]圖16為圖14的電容式傳感裝置的部分電路結構示意圖。
[0067]圖17為圖14所示電容式傳感器的方框結構示意圖。
[0068]圖18為本發明電容式傳感裝置的其它變更實施方式的示意圖。
[0069]圖19為在一片玻璃基板上形成多個電容式傳感裝置的示意圖。
[0070]圖20為圖19所示的一電容式傳感裝置的側視示意圖。
[0071]圖21和圖22為電容式傳感裝置的其它變更實施方式的側視圖。
[0072]圖23為本發明芯片組的一較佳實施方式的示意圖。
[0073]圖24為本發明電容式感測系統的第一實施方式的結構示意圖。
[0074]圖25為本發明電容式感測系統的第二實施方式的結構示意圖。
[0075]圖26為本發明電容式傳感裝置的封裝結構第一實施方式的示意圖。
[0076]圖27與圖28為本發明電容式傳感裝置的封裝結構其它實施方式的示意圖。
[0077]圖29為本發明電容式感測模組的一較佳實施方式的示意圖。
[0078]圖30為本發明在電子設備的保護蓋板下方設置電容式感測模組的示意圖。
[0079]圖31是圖30沿r-r’方向的部分剖面示意圖。
[0080]圖32為電子設備的顯示裝置的TFT陣列基板的示意圖。
[0081]圖33為本發明電子設備的一較佳實施方式的示意圖。
【具體實施方式】
[0082]現在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應被理解為限于在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本發明將全面和完整，并將示例實施方式的構思全面地傳達給本領域的技術人員。為了方便或清楚，可能夸大、省略或示意地示出在附圖中所示的每層的厚度和大小、以及示意地示出相關元件的數量。另外，元件的大小不完全反映實際大小，以及相關元件的數量不完全反應實際數量。在圖中相同的附圖標記表示相同或類似的結構。
[0083]此外，所描述的特征、結構可以以任何合適的方式結合在一個或更多實施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細節從而給出對本發明的實施方式的充分理解。然而，本領域技術人員應意識到，沒有所述特定細節中的一個或更多，或者采用其它的結構、組元等，也可以實踐本發明的技術方案。在其它情況下，不詳細示出或描述公知結構或者操作以避免模糊本發明。
[0084]在本發明的描述中，需要理解的是:“多個”包括兩個和兩個以上，除非另有明確具體的限定。“連接”可為電連接、機械連接、親接、直接連接、以及間接連接等多種實施方式，除非本發明下述特別說明，否則并不做特別限制。另外，各元件名稱以及信號名稱中出現的“第一”、“第二”等詞語并不是限定元件或信號出現的先后順序，而是為方便元件命名，清楚區分各元件，使得描述更簡潔。
[0085]進一步需要說明的是:本發明提供的電容式傳感裝置適用于生物信息傳感裝置，尤其指紋傳感裝置。然，本發明并不限于此，所述電容式傳感裝置也可適用其它合適類型的傳感裝置，如觸摸傳感裝置。所述生物信息傳感裝置用于感測目標物體的預定生物信息。所述目標物體如為用戶的手指，也可為用戶身體的其它部分、如手掌、腳趾、耳朵等，甚至也可為其它合適類型的物體，而并不局限為人體。所述預定生物信息如為指紋、掌紋、耳紋等。
[0086]所述電容式傳感裝置包括電容式傳感器(sensors)和控制電路。所述控制電路連接電容式傳感器，用于控制所述電容式傳感器執行感測操作。
[0087]優選地，所述電容式傳感器包括感測電極和差分對管。所述感測電極能夠以電容方式耦合到目標物體，用于加載參考信號。所述差分對管與所述感測電極相關聯，用于響應感測電極上因目標物體的接近或觸摸所引起參考信號的變化，而對應產生差分信號。
[0088]所述控制電路接收所述差分信號，并根據所述差分信號對應獲得相應的感測信息。所述感測信息如為目標物體的預定生物信息。類似地，所述控制電路也可根據差分信號獲知目標物體接近或觸摸了電容式傳感裝置這一感測信息。
[0089]由于本發明的電容式傳感器傳輸給控制電路的感測信號為差分信號，所述差分信號較強，且差分信號在傳輸給控制電路的過程中受電容式傳感裝置中的寄生電容的影響較小，因此，所述控制電路根據差分信號獲得的感測信息相對較準而能減少誤判，從而能夠提升用戶體驗。
[0090]優選地，所述差分信號為差分電流信號。
[0091]優選地，所述電容式傳感器包括多個感測電極和多個差分對管。同一差分對管所產生的差分信號為同幅同頻反相的第二交流電流信號。另外，所述差分對管用于與一電流源連接，所述電流源用于提供一第一恒定直流信號。所述二不同的第二交流電流信號之和與所述電流源提供的第一恒定直流信號相等。
[0092]所述差分對管與所述感測電極相關聯，其中，所述差分對管或者與所述感測電極為二元件，所述差分對管與所述感測電極連接；又或者，所述差分對管包括所述感測電極，即，所述感測電極為差分對管的一部分。
[0093]所述差分對管包括二晶體管，所述二晶體管包括一第三晶體管，所述第三晶體管包括第三控制電極、第五傳輸電極、和第六傳輸電極。當所述差分對管與所述感測電極為二元件時，所述第三控制電極與所述感測電極連接；當所述差分對管包括所述