一種雙重版圖的設計方法及系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及集成電路設計領域，特別涉及一種雙重版圖的設計方法。
【背景技術】
[0002]隨著集成電路特征尺寸的不斷縮小，傳統的193nm波長光源難以用于22nm以下圖形的光刻，單次曝光光刻達到了幾何基線，光刻問題成為研宄的重點。
[0003]目前，雙重版圖技術(DPL，Double Pattering Lithography)成為進一步縮小光刻尺寸的首選，雙重版圖技術是將一套高密度的電路圖形分解成兩套分立的、相對低密度的圖形，并分別進行成像和刻蝕，從而將高密度的圖形轉移到目標晶圓上。雙重版圖技術中的關鍵在于高密度的版圖的分解，分解中圖形的切割以及分解后的兩版圖間圖形數量的平衡都是需要考慮和解決的問題。
【發明內容】
[0004]本發明的目的旨在至少解決上述技術缺陷之一，提供一種雙重版圖的設計方法和系統，基于沖突環路進行圖形的切割，降低設計的復雜度，提高設計效率。
[0005]為此，本發明提供了如下技術方案:
[0006]一種雙重版圖的設計方法，包括:
[0007]查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預設距離的一對圖形；
[0008]根據沖突圖形查找沖突環路，沖突環路為圖形數為奇數的圖形環路；
[0009]將沖突環路中的圖形進行分割，以消除沖突環路。
[0010]可選的，查找版圖中的沖突關系的步驟包括:
[0011]將版圖中的圖形標號；
[0012]查找版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預設距離的一對圖形，并將沖突圖形的一對標號分別記錄在第一鏈表和第二鏈表的鏈表對中；
[0013]根據沖突關系查找沖突環路的步驟包括:
[0014]進行標號對的查找，當第二鏈表中的標號與之前標號對中第一鏈表的標號相同時停止查找，以獲得標號序列，每次標號對查找的步驟包括:以第一鏈表的標號在鏈表對中查找，獲得當次查找的標號對，并將當次標號對中第二鏈表的標號設定為下次查找的第一鏈表的標號；
[0015]從標號序列中選擇出環路，將圖形數量為奇數的環路確定為沖突環路。
[0016]可選的，從標號序列中選擇出環路之后，還包括步驟:
[0017]將圖形數量為偶數的環路確定為非沖突環路；
[0018]刪除末尾標號對，刪除末尾標號對的步驟包括:將非沖突環路的標號序列中的最后一個標號對刪除；
[0019]將最后一個標號對中第二鏈表的標號設定為繼續查找的第一鏈表的標號，并返回進行標號對查找的步驟；
[0020]若無法查找到下一個標號對，則返回末尾標號對的刪除步驟；
[0021]若查找到下一個標號對，則返回進行標號對的查找步驟。
[0022]可選的，在消除沖突環路之后，還包括:
[0023]進行圖形的分組，將相互間具有沖突關系的圖形歸為同組，將與其他圖形都不存在沖突關系的圖形歸為同組；
[0024]將組內圖形間隔著色。
[0025]可選的，還包括:
[0026]統計各組與相鄰的組在交界處與相鄰圖形具有相同顏色和不同顏色的數量之差;
[0027]將差值大于預定值的組內的圖形顏色進行翻轉。
[0028]此外，本發明還提供了一種雙重版圖的設計系統，包括:
[0029]沖突圖形查找單元，用于查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預設距離的一對圖形；
[0030]沖突環路查找單元，用于根據沖突圖形查找沖突環路，沖突環路為圖形數為奇數的圖形環路；
[0031]圖形分割單元，用于將沖突環路中的圖形進行分割，以消除沖突環路。
[0032]可選的，所述沖突圖形查找單元包括:
[0033]標號單元，用于將版圖中的圖形標號；
[0034]沖突圖形確定單元，用于沖突圖形為圖形間的距離小于預設距離的一對圖形，并將沖突圖形的一對標號分別記錄在第一鏈表和第二鏈表的鏈表對中；
[0035]所述沖突環路查找單元包括:
[0036]查找序號設定單元，用于將前次標號對中第二鏈表的標號設定為本次查找的第一鏈表的標號；
[0037]標號序列獲取單元，用于以第一鏈表的標號在鏈表對中查找，獲得當次查找的標號對，并將當次標號對中第二鏈表的標號設定為下次查找的第一鏈表的標號，當第二鏈表中的標號與之前標號對中第一鏈表的標號相同時停止查找，以獲得標號序列；
[0038]沖突環路確定單元，用于從標號序列中選擇出環路，將圖形數量為奇數的環路確定為沖突環路。
[0039]可選的，還包括:
[0040]非沖突環路確定單元，用于將圖形數量為偶數的環路確定為非沖突環路；
[0041]末尾標號對刪除單元，用于將非沖突環路的標號序列中的最后一個標號對刪除；
[0042]繼續查找序號設定單元，用于將最后一個標號對中第二鏈表的標號設定為繼續查找的第一鏈表的標號。
[0043]可選的，還包括:
[0044]分組單元，用于將進行圖形的分組，將相互間具有沖突關系的圖形歸為同組，將與其他圖形都不存在沖突關系的圖形歸為同組；
[0045]著色單元，用于將組內圖形間隔著色。
[0046]可選的，還包括:
[0047]邊界統計單元，用于統計各組與相鄰的組在交界處與相鄰圖形具有相同顏色和不同顏色的數量之差；
[0048]翻轉單元，用于將差值大于預定值的組內的圖形顏色進行翻轉。
[0049]本發明實施例提供的雙重版圖的設計方法及系統，沖突圖形為將圖形間的距離小于預設距離的一對圖形，基于沖突圖形確定出沖突環路，進而將沖突環路中的圖形進行切割，從而，消除沖突環路，基于沖突環路進行圖形的切割，降低設計的復雜度，提高設計效率。
[0050]進一步的，通過將沖突圖形的標號對存儲于兩個鏈表中，通過鏈表中存儲的標號對進行沖突環路的查找，可以極大地減少運算量，提高設計效率，尤其適用于大規模版圖的處理。
[0051]進一步的，在用于分解的著色過程中，按照交界處相鄰圖形的數量決定是否進行組內圖形顏色的翻轉，使得要分解的兩版圖間的數量上實現平衡，并具有較少的切割數量。
【附圖說明】
[0052]本發明上述的和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0053]圖1為根據本發明實施例的雙重版圖的設計方法的流程示意圖；
[0054]圖2為根據本發明實施例的設計方法中沖突環路圖形標號的示意圖；
[0055]圖3為根據本發明實施例的設計方法中圖形環路的示意圖；
[0056]圖4為根據本發明實施例的設計方法中沖突回路消除的圖形和環路示意圖；
[0057]圖5為根據本發明實施例的設計方法中分組的示意圖；
[0058]圖6為根據本發明實施例的設計方法中著色的示意圖；
[0059]圖7為根據本發明實施例的設計方法中翻轉的示意圖；
[0060]圖8為根據本發明實施例的設計系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0061]下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能解釋為對本發明的限制。
[0062]在本發明中，提出一種雙重版圖的設計方法，參考圖1所示，包括:查找原始版圖中的沖突圖形，沖突圖形為圖形間的距離小于預設距離的一對圖形；根據沖突圖形查找沖突環路，沖突環路為圖形數為奇數的圖形環路；將沖突環路中的圖形進行切割，以消除沖突環路。
[0063]進一步