一種電容式觸摸屏及其制備方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示技術領域,具體涉及一種電容式觸摸屏及其制備方法。
【背景技術】
[0002]觸控屏(英文全稱為Touch Panel),又稱觸摸屏、觸控面板,是一種可接收觸頭等輸入信號的感應式顯示裝置,廣泛應用在各種電子產品上。按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介質,觸摸屏可分為四種:電阻式、電容式、紅外線式和表面聲波式。
[0003]電容式觸摸屏(英文全稱為Capacity Touch Panel,簡稱為CTP)是利用人體的電流感應對屏幕進行控制的。根據偵測觸碰區域的電容變化,進而計算手指所在位置,精確度可達99%,響應時間小于3ms。CTP具有靈敏度高、容易實現多點觸控技術等優點,逐漸成為智能手機、平板電腦等電子產品中應用的主流觸摸屏。
[0004]電容式觸摸屏的電路結構為架橋結構,如圖1和2所示,包括形成于襯底100上的多個平行設置的橫向導電單元和多個平行設置的縱向導電單元,多個橫向導電單元與縱向導電單元形成彼此絕緣的交叉網絡;每個橫向導電單元由多個導電模塊220通過多個第一層導電橋211串聯組成,每個縱向導電單元由多個導電模塊210通過多個第二層導電橋221串接組成;在襯底100上設有覆蓋第一層導電橋211的第一介電層300,覆蓋所有橫向導電單元、縱向導電單元的第二介電層400。
[0005]現有技術中,橫向導電單元和縱向導電單元中的導電模塊通常會在同一導電層中通過刻蝕工藝同層制備,在刻蝕工藝中極易出現橫向導電單元中的導電模塊和縱向導電單元中的導電模塊未徹底分離,從而造成橫向導電單元和縱向導電單元短路的現象,嚴重影響產品的良率。
【發明內容】
[0006]為此,本發明所要解決的是現有電容式觸摸屏電極之間容易出現短路現象,嚴重影響產品良率的問題,提供一種電極間絕緣性能優異、良品率高的電容式觸摸屏及其制備方法。
[0007]為解決上述技術問題,本發明采用的技術方案如下:
[0008]本發明所述的一種電容式觸摸屏,包括形成于襯底上的多個平行設置的橫向導電單元和多個平行設置的縱向導電單元,多個橫向導電單元與縱向導電單元形成彼此絕緣的交叉網絡,每個橫向導電單元和縱向導電單元均由多個導電模塊通過多個導電橋串接組成,在襯底上設有覆蓋所有橫向導電單元、縱向導電單元的介電層;位于相鄰兩所述導電模塊之間的介電層上成型有條形凹槽,所述凹槽貫穿整個所述介電層的厚度。
[0009]所述凹槽的寬度小于或等于相鄰所述導電模塊的間距。
[0010]所述橫向導電單元中的導電模塊與所述縱向導電單元中的導電模塊以同種材料形成在同一層中。
[0011]所述橫向導電單元或所述縱向導電單元中所述導電橋與所述導電模塊以同種材料形成在同一層中。
[0012]所有所述導電模塊為菱形。
[0013]所述介電層包括第一介電層和第二介電層,所述第一介電層直接設置在靠近襯底的一層所述導電橋上,所述第二介電層設置在所有所述導電模塊和遠離襯底的一層所述導電橋上。
[0014]本發明所述的電容式觸摸屏的制備方法,包括如下步驟:
[0015]S1、在襯底上形成第一導電層,并圖案化形成分別沿橫向和縱向間隔排布的導電模塊,在沿橫向或縱向設置的導電模塊之間形成第一層導電橋,以串接所述導電模塊,形成多個平行設置的橫向導電單元或多個平行設置的縱向導電單元;
[0016]S2、在襯底上直接形成覆蓋圖案化后的第一導電層的第一介電質材料層,并圖案化制得覆蓋第一層導電橋的第一介電層;
[0017]S3、在第一介電層上形成垂直于第一層導電橋的第二層導電橋,將步驟SI中未串接的導電模塊進行串接;
[0018]S4、在襯底上直接形成覆蓋導電模塊、第一介電層和第二層導電橋的第二第一介電層;
[0019]S5、通過掩膜對第二介電層進行圖案化,形成垂直貫通第二介電層并設置在相鄰導電模塊之間的條形凹槽。
[0020]步驟SI中,所述第一層導電橋與所述導電模塊同步驟制得。
[0021]本發明的上述技術方案相比現有技術具有以下優點:
[0022]1、本發明所述的電容式觸摸屏及其制備方法,對設置在相鄰所述導電模塊之間的介電層區域進行刻蝕,形成條形凹槽,可實現對導電模塊的再次圖案化,從而使得導電模塊間的短路缺陷在該工藝中實現刻斷,提高了產品的良率,大幅降低了生產成本。
[0023]2、本發明所述的電容式觸摸屏及其制備方法,在現有制作工藝的基礎上只需要對介電層圖形化的光罩圖形做相應設計,完成刻蝕后即可實現產品良率的大幅提高,工藝簡單,具有極佳的應用價值。
【附圖說明】
[0024]為了使本發明的內容更容易被清楚的理解,下面根據本發明的具體實施例并結合附圖,對本發明作進一步詳細的說明,其中
[0025]圖1現有技術中所述電容式觸摸屏的剖視圖;
[0026]圖2是圖1中所述電容式觸摸屏的俯視圖;
[0027]圖3是本發明所述電容式觸摸屏的剖視圖;
[0028]圖4是圖2中所述電容式觸摸屏的俯視圖。
[0029]圖中附圖標記表示為:100-襯底、210-縱向導電單元中的導電模塊、211-第一層導電橋、220-橫向導電單兀中的導電模塊、221-第二層導電橋、300-第一介電層、400-第二介電層、410-凹槽。
【具體實施方式】
[0030]為了使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面將結合附圖對本發明的實施方式作進一步地詳細描述。
[0031]本發明可以以許多不同的形式實施,而不應該被理解為限于在此闡述的實施例。相反,提供這些實施例,使得本公開將是徹底和完整的,并且將把本發明的構思充分傳達給本領域技術人員,本發明將僅由權利要求來限定。在附圖中,為了清晰起見,會夸大層和區域的尺寸和相對尺寸。應當理解的是,當元件例如層、區域或基板被稱作“形成在”或“設置在”另一元件“上”時,該元件可以直接設置在所述另一元件上,或者也可以存在中間元件。相反,當元件被稱作“直接形成在”或“直接設置在”另一元件上時,不存在中間元件。
[0032]本實施例提供一種電容式觸摸屏,如圖3和4所示,包括形成于襯底100上的多個平行設置的橫向導電單元和多個平行設置的縱向導電單元,所述橫向導電單元與所述縱向導電單元形成彼此絕緣的交叉網絡,每個所述橫向導電單元和縱向導電單元均由多個導電模塊通過多個導電橋串接組成,在襯底100上設有覆蓋所有橫向導電單元、縱向導電單元的介電層