觸摸屏幕的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及觸摸屏幕。
【背景技術】
[0002]觸摸面板是檢測利用手指等的觸摸，來確定被觸摸的位置的位置坐標的裝置。觸摸面板作為優良的用戶接口單元之一而受到矚目。電阻膜方式、靜電電容方式等各種方式的觸摸面板被產品化。
[0003]一般地，觸摸面板包括內置觸摸傳感器的觸摸屏幕、和根據來自觸摸屏幕的信號來確定被觸摸的位置坐標的檢測裝置。
[0004]作為靜電電容方式的觸摸面板之一，有投射型靜電電容(Projected Capacitive)方式的觸摸面板(例如參照專利文獻I)。
[0005]投射型靜電電容方式的觸摸面板在即使用厚度是幾_左右的玻璃板等保護板覆蓋了內置觸摸傳感器的觸摸屏幕的前表面側的情況下，也能夠檢測觸摸。
[0006]該方式的觸摸面板因為能夠在前表面配置保護板，所以牢固性優良。另外，即使在戴上了手套時，也能夠檢測觸摸。另外，由于不具有可動部，所以壽命長。
[0007]投射型靜電電容方式的觸摸面板一般具備構成第I電極的在行方向上延伸地設置的多個行方向布線、和構成第2電極的在列方向上延伸地設置的多個列方向布線。通過檢測行方向布線與列方向布線之間的電場變化、即行方向布線與列方向布線的布線間電容(以下簡稱為布線間電容)的變化，確定被觸摸的位置坐標。該檢測方式一般被稱為互電容檢測方式(例如參照專利文獻2)。
[0008]另外，在將觸摸屏幕安裝于顯示裝置的情況下，通過觸摸屏幕中具備的行方向布線以及列方向布線，覆蓋顯示裝置的顯示區段。根據布線的配置，顯示光的透射變得不均勻、或者外部光的反射率變得不均勻，所以有時發生斑紋(moire)現象、或者布線被視覺辨認等。為了對用戶提供高質量的影像，更優選為布線不易被視覺辨認等、難以使用戶感覺到觸摸屏幕的存在的觸摸屏幕。
[0009]現有技術文獻
[0010]專利文獻
[0011]專利文獻1:日本特開2012-103761號公報
[0012]專利文獻2:日本特表2003-526831號公報
【發明內容】
[0013]發明所要解決的技術問題
[0014]上述投射型靜電電容方式的觸摸面板存在如下問題，即在第I電極和第2電極的電場耦合大的情況下，在用手指等指示體觸摸了時，不易產生布線間電容的變化，無法增大檢測靈敏度。如果減小檢測靈敏度，則易于引起誤檢測。
[0015]本發明是為了解決以上的課題而完成的，其目的在于提供一種行方向布線與列方向布線之間的布線間電容小、并且通過指示體進行了觸摸時的布線間電容的變化大的觸摸屏幕。另外，次要目的在于提供一種提高了視覺辨認性的觸摸屏幕。
[0016]解決技術問題的技術方案
[0017]本發明的觸摸屏幕被由包括行方向布線和列方向布線的上下兩層構成的網眼狀的布線圖案覆蓋，其特征在于，行方向布線由第I部分、和布線寬度比該第I部分的布線寬度小的第2部分構成，列方向布線的布線寬度小于行方向布線的所述第2部分的行方向的長度，行方向布線和列方向布線在行方向布線的所述第2部分交叉，在行方向布線和列方向布線的交叉部分，在行方向布線與方向布線之間在俯視時形成間隙，還具備在俯視時填補該間隙的浮置布線，浮置布線形成于與行方向布線或者列方向布線相同的層，浮置布線與行方向布線以及列方向布線絕緣。
[0018]發明效果
[0019]根據本發明，通過設置浮置布線，不會降低視覺辨認性，而能夠在行方向布線與列方向布線之間按照浮置布線的寬度設置間隔。因此，通過設置浮置布線，能夠降低行方向布線與列方向布線之間的布線間電容。另外，進而，能夠增大觸摸了觸摸屏幕時的布線間電容的變化量。因此，相比于未設置浮置布線的情況，能夠提高觸摸檢測靈敏度。
[0020]本發明的目的、特征、方面、以及優點通過以下的詳細說明和附圖將更加明晰。
【附圖說明】
[0021]圖1是實施方式I的觸摸屏幕的立體圖。
[0022]圖2是實施方式I的觸摸屏幕的俯視圖。
[0023]圖3是實施方式I的觸摸屏幕的下部電極的俯視圖。
[0024]圖4是圖3中的區域A的放大圖。
[0025]圖5是實施方式I的觸摸屏幕的上部電極的俯視圖。
[0026]圖6是實施方式I的觸摸屏幕的下部電極以及上部電極的俯視圖。
[0027]圖7是示出檢測靈敏度和浮置布線寬度的關系的圖。
[0028]圖8是不具備浮置布線的觸摸屏幕的下部電極以及上部電極的俯視圖。
[0029]圖9是示出最佳浮置布線寬度和透明基板的厚度的關系的圖。
[0030]圖10是示出浮置布線的斷線部和布線間電容的相對值的關系的圖。
[0031]圖11是實施方式2的觸摸屏幕的下部電極的俯視圖。
[0032]圖12是圖11中的區域B的放大圖。
[0033]圖13是實施方式2的觸摸屏幕的上部電極的俯視圖。
[0034]圖14是圖13中的區域C的放大圖。
[0035]圖15是實施方式2的觸摸屏幕的下部電極以及上部電極的俯視圖。
[0036]圖16是示出實施方式3的觸摸屏幕中的布線的單位圖案的圖。
[0037]圖17是實施方式3的觸摸屏幕的下部電極的俯視圖。
[0038]圖18是圖17中的區域D的放大圖。
[0039]圖19是實施方式3的觸摸屏幕的上部電極的俯視圖。
[0040]圖20是圖19中的區域E的放大圖。
[0041]圖21是實施方式3的觸摸屏幕的下部電極以及上部電極的俯視圖。
[0042](符號說明)
[0043]1:觸摸屏幕；8:端子；10:透明基板；11:層間絕緣膜；12:保護膜；20:下部電極；21:行方向布線；21a:浮置布線；21b、21c ；33a:斷線部；22:列方向虛設布線；斷線部；22:列方向虛設布線；30:上部電極；31:列方向布線；32:斷線部布線；33:行方向虛設布線；40:虛設引出布線；E1:第I部分；E2:第2部分；Wl、W2、Wc:布線寬度；M2:行方向的長度。
【具體實施方式】
[0044]<實施方式1>
[0045]< 結構 >
[0046]首先，使用圖1以及圖2，對本實施方式的觸摸屏幕I的層構造進行說明。本實施方式中的觸摸屏幕I是投影型靜電電容方式的觸摸屏幕。
[0047]圖1是本實施方式的觸摸屏幕I的層構造的立體圖。觸摸屏幕I的上表面層是由透明的玻璃材料或者透明的樹脂構成的透明基板10。在透明基板10的背面，形成上部電極
30 ο
[0048]另外，在透明基板10的背面，以覆蓋上部電極30的方式，形成層間絕緣膜11。層間絕緣膜11是硅氮化膜或者硅氧化膜等透明的絕緣膜。在層間絕緣膜11的背面，形成下部電極20。
[0049]另外，在層間絕緣膜11的背面，以覆蓋下部電極20的方式，形成保護膜12。與層間絕緣膜11同樣地，保護膜12是硅氮化膜等具有透光性的絕緣性的膜。
[0050]上部電極30具備由IT0(Indium Tin Oxide，銦錫氧化物)等透明布線材料或者銷等金屬布線材料構成的多根列方向布線31。另外，下部電極20具備由與列方向布線31相同的原材料構成的多根行方向布線21。
[0051]另外，在圖1以及圖2中，為便于圖示，列方向布線31以及行方向布線21未圖示為具有后述網眼狀的構造。
[0052]在本實施方式中，使列方向布線31以及行方向布線21成為鋁系合金層和其氮化層的多層構造。由此，能夠減小布線電阻，并且能夠提高可檢測區段的光的透射率。
[0053]另外，在行方向布線21的上層配置了列方向布線31，但也可以使它們的位置關系相反，在列方向布線31的上層配置行方向布線21。
[0054]使用者用手指等指示體觸摸成為觸摸屏幕I的表面的透明基板10來進行操作。如果指示體觸摸了透明基板10，則透明基板10下部的行方向布線21與列方向布線31之間的布線間電容變化。通過檢測該電容變化，能夠確定在可檢測區段內的哪個位置處被觸摸。
[0055]圖2是本實施方式的觸摸屏幕I的俯視圖。觸摸屏幕I的可檢測區段由在橫方向(行方向)延伸的多個行方向布線21、和在其跟前側在俯視時重疊且在縱方向(列方向)延伸的多個列方向布線31構成。
[0056]行方向布線21的每一個通過引出線Rl?R6與用于和外部的布線連接的端子8連接。另外，列方向布線31的每一個也同樣地通過引出線Cl?CS，與用于和外部的布線連接的端子8連接。
[0057]引出線R4、R5沿著可檢測區段的外周配置。另外，引出線R3、R6沿著可檢測區段的外周配置，在到達引出線R4或者引出線R5之后，沿著引出線R4、R5配置。這樣，引出線Rl?R6被緊挨可檢測區段的外周側配置。另外，引出線Cl?CS也同樣地，從接近端子8的引出線起，依次緊挨可檢測區段的外周側地配置。
[0058]這樣，通過盡可能緊挨可檢測區段的外周側而配置引出線Rl?R6、C1?CS，能夠抑制安裝觸摸屏幕I的顯示裝置與引出布線之間的邊緣電容。因此，通過成為這樣的引出布線的配置，能夠降低從安裝觸摸屏幕I的顯示裝置發生的電磁噪聲對引出布線造成的影響。
[0059]另外，在列方向布線31的引出線C8、和行方向布線21的引出線R6并行前行的部分中，在引出布線之間，設置提供接地等基準電位的虛設引出布線40。
[0060]通過這樣設置虛設引出布線40，能夠大幅降低引出線CS與引出線R6之間的布線間電容，所以即使在該部分有手指等指示體的觸摸的情況下，也能夠防止誤檢測。
[0061]接下來，使用圖3?6，說明行方向布線21以及列方向布線31的詳細的構造。圖3是將行方向布線21和列方向布線31在俯視時重疊的區域周邊放大了的下部電極20的俯視圖。圖4是圖3中的區域A的放大圖。另外，圖5是將