4所示的第二壓電電壓檢測用電極17的第二變形例的俯視圖。
[0028]圖8是表示圖4所示的第二壓電電壓檢測用電極17的第三變形例的俯視圖。
[0029]圖9是與圖3對應的圖，是表示第一壓電電壓檢測用電極12的第一變形例的俯視圖。
[0030]圖10是與圖3對應的圖，是表示第一壓電電壓檢測用電極12的第二變形例的俯視圖。
[0031]圖11是與圖5對應的圖，是特別表示針對第一壓電電壓檢測用子電極20的變形例的截面圖。
【具體實施方式】
[0032]參照圖1?圖5，對本發明的一個實施方式的觸摸面板I進行說明。
[0033]觸摸面板I如圖5明確所示那樣，至少具備電介質膜2以及壓電體膜3。在本實施方式中，觸摸面板I還具備上部保護膜4以及下部保護膜5。這些上部保護膜4、電介質膜2、壓電體膜3以及下部保護膜5在觸摸面板I從上向下按該順序依次疊加。
[0034]上部保護膜4的上方主面6成為被操作者的手指等觸摸的操作面。在上部保護膜4的下方主面7上以圖2所示那樣的圖案形成有第一靜電電容檢測用電極8。
[0035]電介質膜2的上方主面9隔著第一靜電電容檢測用電極8與上部保護膜4的下方主面7對置。在電介質膜2的下方主面10上以圖3所示那樣的各圖案形成有第二靜電電容檢測用電極11以及第一壓電電壓檢測用電極12。
[0036]壓電體膜3的上方主面13隔著第二靜電電容檢測用電極11以及第一壓電電壓檢測用電極12與電介質膜2的下方主面10對置。壓電體膜3的下方主面14與下部保護膜5的上方主面15對置。
[0037]在下部保護膜5的上方主面15上以圖4所示那樣的圖案形成有第二壓電電壓檢測用電極17。下部保護膜5的下方主面16朝向安裝該觸摸面板I的設備(未圖示)偵U。
[0038]按照基于操作者的手指等的按壓操作能夠凹陷變形可能的方式選擇這些上部保護膜4、電介質膜2、壓電體膜3以及下部保護膜5各自的材料以及厚度。另外，根據需要，上部保護膜4、電介質膜2、壓電體膜3以及下部保護膜5分別由透光性材料構成。該情況下，第一靜電電容檢測用電極8、第二靜電電容檢測用電極11、第一壓電電壓檢測用電極12以及第二壓電電壓檢測用電極17也優選由透光性較高的材料構成。
[0039]在更加特定的實施例中，電介質膜2由聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或者聚丙烯(PP)構成。壓電體膜3由L型聚乳酸(PLLA)那樣的壓電性樹脂材料構成。保護膜4以及5由PET、PEN或者PP構成。另外，作為第一靜電電容檢測用電極8、第二靜電電容檢測用電極11、第一壓電電壓檢測用電極12以及第二壓電電壓檢測用電極17的材料，可使用ITO、ZnO、聚噻吩、聚苯胺、銀納米線、碳納米管等。在由這些材料構成的電極的形成中，可使用蒸鍍、濺射或者鍍覆。
[0040]特別是若關注構成上述的壓電體膜3的PLLA，則PLLA為手性高分子，其主鏈具有螺旋構造。若PLLA被單軸拉伸而分子取向，則具有壓電性。被單軸拉伸后的PLLA的壓電常數在各種高分子所具有的壓電常數的中也屬于非常高的種類。
[0041]針對PLLA的拉伸倍率優選為3?8倍左右。通過在拉伸后實施熱處理，可促進聚乳酸的拉伸鏈晶體(extended-chain crystal)的結晶化而提高壓電常數。其中，在雙軸拉伸的情況下，通過使各軸的拉伸倍率不同，能夠得到與單軸拉伸同樣的效果。例如，在將一個方向設為X軸并沿該方向實施8倍的拉伸，沿與該軸正交的Y軸向實施2倍的拉伸的情況下，關于壓電常數，能夠得到與沿X軸向大致實施4倍的單軸拉伸的情況幾乎同等的效果。雖然存在單純地單軸拉伸的膜容易沿拉伸軸向裂開的缺點，但通過實施雙軸拉伸，能夠一定程度地消除該缺點。
[0042]另外，PLLA在基于拉伸等的分子的取向處理中產生壓電性，不需要像PVDF等其他聚合物、壓電陶瓷那樣進行輪詢(Polling)處理。即，不屬于鐵電的PLLA的壓電性不像PVDF, PZT等鐵電體那樣通過離子的極化而發現，而由來于作為分子的特征構造的螺旋構造。因此，PLLA中不會產生在其他的鐵電性的壓電體中產生的焦電性。并且，隨著時間的推移，PVDF等出現壓電常數的變動，根據情況，壓電常數有時顯著降低，但PLLA的壓電常數隨著時間的推移而極為穩定。
[0043]另外，由于PLLA的相對介電常數約為2.5而非常低，所以若將d設為壓電常數，將εΤ設為介電常數，則壓電輸出常數(=壓電g常數，g = d/e τ)成為較大的值。
[0044]這里，介電常數ε33τ= 13X ε。、壓電常數d31= 25pC/N的PVDF的壓電g常數根據上述的公式，成為g31= 0.2172Vm/N?另一方面，若將壓電常數d 14= 10pC/N的PLLA的壓電g常數換算為g31而求出，則由于d 14 = 2 X d 31，所以成為d31 = 5pC/N，壓電g常數成為g31= 0.2258Vm/No因此，通過壓電常數dl4 = 10pC/N的PLLA能夠充分地得到與PVDF同樣的按壓量的檢測靈敏度。而且，本申請發明的發明人通過實驗得到d14= 15?20pC/N的PLLA,如果使用該PLLA，則能夠進一步高靈敏度地檢測按壓量。
[0045]并且，PLLA如上述那樣與可得到較高的壓電常數的一般鐵電體不同，介電常數較低。因此，在壓電體膜3的上方主面13上配置的第一靜電電容檢測用電極8和在下方主面14上配置的第二靜電電容檢測用電極11之間的電場封閉效果較低。由此，如果手指等電介質從外部接近壓電體膜3，則靜電電容容易變化。即，針對靜電電容的變化的檢測靈敏度變尚O
[0046]其中，聚乳酸(PLA)是脫水縮合聚合體，通過對作為乳酸的環狀二聚物的丙交酯(Lactide)進行開環聚合而得到。由于乳酸包含不齊碳，所以具有手性。因此，PLA中存在L體和D體，將其聚合體分別稱為L型聚乳酸(PLLA)、D型聚乳酸(I3DLA)。PLLA的主鏈為左螺旋，PDLA的主鏈為右螺旋構造。針對L體和D體，根據在乳酸的合成過程中使用的菌等微生物的種類來決定其種類。當前量產利用的PLA絕大多數是PLLA。因此，作為壓電體膜3的材料，在上述的實施例中，使用了 PLLA，但使用TOLA也是同樣的。
[0047]在制造觸摸面板I時，上部保護膜4、電介質膜2、壓電體膜3以及下部保護膜5例如通過粘合劑而相互接合。結果，第一靜電電容檢測用電極8被配置在上部保護膜4的下方主面7和電介質膜2的上方主面9之間，第二靜電電容檢測用電極11以及第一壓電電壓檢測用電極12被配置在電介質膜2的下方主面10和壓電體膜3的上方主面13之間，第二壓電電壓檢測用電極17被配置在壓電體膜3的下方主面14和下部保護膜5的上方主面15之間。
[0048]此外，也能夠與上述的形成方法不同，在電介質膜2的上方主面9上形成第一靜電電容檢測用電極8，在壓電體膜3的上方主面13上形成第二靜電電容檢測用電極11以及第一壓電電壓檢測用電極12的至少一方，在壓電體膜3的下方主面14上形成第二壓電電壓檢測用電極17。但是，在由PLLA構成的壓電體膜3上形成第二靜電電容檢測用電極11以及第一壓電電壓檢測用電極12的至少一方、或者第二壓電電壓檢測用電極17的情況下，由于PLLA的表面不活性，所以需要提高電極的緊貼性的處理。
[0049]接下來，針對第一靜電電容檢測用電極8、第二靜電電容檢測用電極11、第一壓電電壓檢測用電極12以及第二壓電電壓檢測用電極17各自的圖案的詳細進行說明。
[0050]第一靜電電容檢測用電極8如圖2所示那樣，具備在電介質膜2的上方主面9上沿第一方向延伸且在與第一方向交叉的、更特定而言正交的第二方向隔開間隔配置的多個第一靜電電容檢測用子電極18。此外，在圖2以及之后的圖3中，子電極的數量比實際的數量少，與此對應，將子電極