技術特征：
技術總結
本發明的實施例公開了一種用于多重圖案化技術的設計規則檢查的方法，包括：確定是否存在表示集成電路(IC)的布局的多重圖案化的圖案的至少五個鄰近的圖案中的任意兩個之間的每一個間隔都小于閾值間隔的沖突圖形；以及如果存在沖突圖形，則修改多重圖案化的圖案以排除由沖突圖形表示的圖案，以用于IC的制造。本發明的實施例還公開了一種用于多重圖案化技術的設計規則檢查的系統。
技術研發人員：徐孟楷;侯元德;陳文豪
受保護的技術使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
技術研發日：2017.01.13
技術公布日：2017.09.08