半導體設備的數據處理方法及系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體技術領域，特別是涉及一種半導體設備的數據處理方法及系統。
【背景技術】
[0002]半導體設備的控制系統，一般包括有上位機和下位機。上位機與下位機通訊連接，上位機通過特有的調度算法來指揮和協調下位機的工作，實現各類半導體設備的自動化控制，以滿足生產線自動化生產的需要。
[0003]下位機控制程序中定義了數據(Data)對象，數據對象通過結點號和通道號與硬件設備相對應，對數據對象的讀寫操作相當于對硬件設備的讀寫。上位機提供了友好的圖形操作界面，供用戶實現對設備的控制。上位機控制程序由登錄界面、主界面和若干子界面組成。每個界面又是由若干個不同類型的控件構成。這些不同類型的控件，用于向用戶展示數據對象的詳細信息，也可以對數據對象進行讀寫操作。比如上位機控制軟件的某個界面，用于采集工藝過程中的數據，即隨著時間的遞增，記錄下各個參數值，如壓力，溫度，射頻電壓等。操作人員可以根據上位機界面展示的數據進行分析，監控設備的狀況，還可以尋找工藝改進的方向，提高工藝的結果。
[0004]現有的半導體設備的控制系統在程序啟動時，首先只對主界面中的數據對象進行訂閱，訂閱成功，則顯示上位機啟動成功。關于子界面，只有在用戶首次點擊到當前子界面，才會對該子界面中選定的數據對象進行訂閱。在此過程中，如果出現子界面的數據對象的名稱拼寫錯誤，或者下位機不存在該數據對象的定義，均會導致上位機啟動失敗，用戶需要重新啟動上位機，再次對主界面中的數據對象進行訂閱，增加了用戶的操作負擔。而且，系統中存在不與數據對象綁定的控件，需要在程序執行過程中人為將該數據對象和控件進行關聯，這樣很容易造成數據對象和控件的關聯失誤，誤碼率很高。一旦發生誤碼，會涉及程序的多次修改，包括代碼訂閱和回調函數中的代碼修改，增加了系統維護的負擔。
【發明內容】
[0005]基于上述問題，本發明提供了一種可維護性好的半導體設備的數據處理方法及系統，能夠在系統登錄失敗的情況下及時通知用戶，減少用戶的操作負擔。
[0006]為實現本發明目的而提供的半導體設備的數據處理方法，包括以下步驟:
[0007]S100,在上位機中，將所有的與下位機中的數據對象相關聯的控件均設置為自定義控件，并設置主界面和相應的子界面；
[0008]S200，啟動所述上位機，初始化所述主界面和所述子界面；
[0009]S300，遍歷所述主界面和所述子界面上的所有的控件，當所述控件為所述自定義控件時，訂閱與所述自定義控件相關聯的數據對象；
[0010]S400，若訂閱失敗，則提示用戶系統啟動失敗。
[0011]進一步地，在步驟S300后還包括以下步驟:
[0012]S300’，若訂閱成功，在所述下位機中的所述數據對象發生變化時，依次調用訂閱與所述數據對象相關聯的所述自定義控件的更新方法，更新所述自定義控件的狀態或顯示值。
[0013]其中，所述步驟S300包括以下步驟:
[0014]S310，遍歷所述主界面和所述子界面上的所有的控件，判斷所述下位機中是否存在與所述自定義控件相關聯的一個或多個數據對象；
[0015]S320，若判斷為是，則分別訂閱與每個所述自定義控件相關聯的一個或多個數據對象。
[0016]其中，所述自定義控件包括參數顯示框、片盒狀態顯示控件、閥門控件、隔離閥控件以及冷凍fe件。
[0017]相應的，一種為實現本發明目的而提供的半導體設備的數據處理系統，包括設置模塊、初始化模塊、訂閱模塊以及提示模塊；
[0018]所述設置模塊，用于在上位機中，將所有的與下位機中的數據對象相關聯的控件均設置為自定義控件，并設置主界面和相應的子界面；
[0019]所述初始化模塊，用于啟動所述上位機，初始化所述主界面和所述子界面；
[0020]所述訂閱模塊，用于遍歷所述主界面和所述子界面上的所有的控件，當所述控件為所述自定義控件時，訂閱與所述自定義控件相關聯的數據對象；
[0021 ] 所述提示模塊，用于若訂閱失敗，則提示用戶系統啟動失敗。
[0022]進一步地，本發明的半導體設備的數據處理系統還包括更新模塊；
[0023]所述更新模塊，用于若訂閱成功，在所述下位機中的所述數據對象發生變化時，依次調用訂閱與所述數據對象相關聯的所述自定義控件的更新方法，更新所述自定義控件的狀態或顯示值。
[0024]其中，所述訂閱模塊包括判斷單元和訂閱單元；
[0025]所述判斷單元，用于遍歷所述主界面和所述子界面上的所有的控件，判斷所述下位機中是否存在與所述自定義控件相關聯的一個或多個數據對象；
[0026]所述訂閱單元，用于在所述判斷單元判斷所述下位機中存在與所述自定義控件相關聯的數據對象后，分別訂閱與每個所述自定義控件相關聯的一個或多個數據對象。
[0027]其中，所述自定義控件包括參數顯示框、片盒狀態顯示控件、閥門控件、隔離閥控件以及冷凍fe件。
[0028]本發明的有益效果為:本發明提供的半導體設備的數據處理方法及系統，通過在上位機中，將所有的與下位機中的數據對象相關聯的控件均設置為自定義控件，并設置主界面和相應的子界面，將下位機中的數據對象與上位機中的控件綁定，從而使下位機中數據對象的變化反映到上位機的界面的控件上，直接可見，無需在頁面中重新定義數據對象與控件的關聯，降低了誤碼率，精簡了系統的開發和維護作業；上位機程序啟動后，遍歷主界面和子界面上的所有的控件，訂閱所有與自定義控件相關聯的數據對象，并在訂閱失敗后進行提示，減輕了用戶的操作負擔。
【附圖說明】
[0029]為了使本發明的半導體設備的數據處理方法及系統的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合具體附圖及具體實施例，對本發明半導體設備的數據處理方法及系統進行進一步詳細說明。
[0030]圖1為上位機對下位機中的數據對象進行讀寫操作的示意圖；
[0031]圖2為現有技術中半導體設備的數據處理方法中的數據訂閱流程示意圖；
[0032]圖3為本發明的半導體設備的數據處理方法的一個實施例的流程圖；
[0033]圖4為本發明的半導體設備的數據處理系統的一個實施例的結構圖。
【具體實施方式】
[0034]下面結合說明書附圖，對本發明實施例提供的半導體設備的數據處理方法及系統進行說明。
[0035]上位機控制程序通過訂閱機制對下位機控制程序中的數據對象進行讀寫操作，其方法為:
[0036]如果用戶希望在某個數據對象的值發生變化時得到通知，可以繼承Subscriber (訂閱者)類，并實現回調函數 void update (UntypedData*data, constValuelnfo&value),然后調用數據對象的subscribe (訂閱)方法注冊一個subscriber。
[0037]當該數據對象的值發生變化時，回調所有subscriber對象的update (更新)方法，其中，update (UntypedData*data, const Valuelnfo&value)方法中的 Untyped 數據對象代表值發生變化的對象，Valuelnfo代表變化后的新值。回調subscriber對象的update方法，即把該數據對象的值的更新信息發布到客戶端程序，而用戶則通過更新操作來接收更新信息。
[0038]當下位機控制程序中的同一個數據對象，注冊了兩個或者多個訂閱者，在這種情況下，如果此數據對象的值發生了變化，此時，下位機程序會按注冊時的先后順序自動回調所有訂閱者的update方法。
[0039]如圖1所示，下位機控制程序定義了三個數據對象:數據對象1、數據對象2和數據對象3，它們分別對應相關通道的硬件數據，例如為腔室離子規(設備1)或工藝規(設備2)的數據。上位機控制程序中定義了三個訂閱者:訂閱者1、訂閱者2和訂閱者3。其中，訂閱者1訂閱了下位機控制程序的數據對象1和數據對象2，訂閱者2訂閱了下位機控制程序中的數據對象2，訂閱者3訂閱了下位機控制程序中的數據對象2和數據對象3。下位機控制程序以一定的時間間隔讀取相關通道的硬件數據并更新對應數據對象的值，如果該數據對象的值發生變化將通知訂閱者，即數據對象1發生變化時，會通知上位機程序的訂閱者1，執行訂閱者1的update方法，同理，數據對象2發生變化，會通知訂閱者1、訂閱者2和訂閱者3，數據對象3發生變化時，會通知給訂閱者3。
[0040]現有技術中，上位機控制程序通過訂閱機制對下位機控制程序中的數據對象進行讀寫操作的步驟如下:
[0041]在某個頁面中，定義一個或者幾個Subscirber,訂閱某些數據對象,這些數據對象決定了頁面中某個控件的顯示方式或者顯示內容，但是此控件并不是自定義的控件，不與任何數據對象相關聯。當下位機的某個數據對象發生變化時，依次通知訂閱該數據對象的Subscriber,執行相應的更新處理程序。具體的實現過程如圖2所示。
[0042]本發明實施例提供了一種可維護性好的半導體設備的數據處理方法及