基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法和系統的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及半導體生產領域，尤其涉及一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓 批次派工方法和系統。
【背景技術】
[0002] 在半導體制造生產中，由于生產工藝及其過程十分復雜，用于進行工藝制程的機 臺也不盡相同，不同機臺或者機臺組可W進行多種不同屬性晶圓批次的制程加工，而在同 一機臺組下的不同機臺可W派工的晶圓批次也不同。
[0003]目前，絕大多數的晶圓制造工廠都已經采用了實施派工系統（RealTime Dispatch,簡稱；RTD)來負責線上的派工。實施派工系統可W通過內置的算法對線上的晶 圓批次制定較為合理的派工結果，生產助理(MA)只需要依照實施派工系統推薦的晶圓批次 順序來派工即可，該樣相比人工派工可W大大提高派工的效率。
[0004] 但是，目前的實時派工系統是通過選定機臺來執行派工的，即生產助理是通過單 個機臺的派工規則來獲取派貨結果的。在實際生產過程中，往往會出現如下情況，一臺機 臺組下面的機臺會同時接到上游下來的晶圓批次，在進行派工的時候如果僅僅從單個機臺 的角度考慮，經常會引起同一臺機組下不同機臺之間互相搶貨的問題，該時是因為有的機 臺的生產助理先選中了 一批晶圓批次，但另外機臺的生產助理也恰好選中了該一批晶圓批 次。該樣就極大地浪費了天車W及制造廠（FAB)的產能W及生產助理的生產能力。
【發明內容】
[0005] 鑒于上述問題，本發明提供一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方 法和系統。
[0006] 本發明解決技術問題所采用的技術方案為：
[0007] -種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法，其中，所述方法包括：
[0008] 基于有效機臺信息和線上晶圓批次數據，設定一機臺組下每個機臺的負載端口的 數量、每個機臺的實時派貨規則，W及各個機臺上派貨至該機臺的每個晶圓批次的預定時 間規格；
[0009] 實時獲取每個機臺正在處理的晶圓批次信息，并根據每個機臺的負載端口的數量 和每個機臺正在處理的晶圓批次信息，計算出后續一段預估時間內各個機臺的空閑順序；
[0010] 按照所述空閑順序依次更新每個機臺的實時派貨規則，并根據更新后實時派貨規 則得到每個機臺的派貨結果；
[0011] 其中，對任一所述機臺的實時派貨規則進行更新后，均釋放已派貨至該機臺且超 過所述預定時間規格的晶圓批次，并將釋放的晶圓批次并入待派貨的晶圓批次中，然后再 基于該待派貨晶圓批次對后續一所述機臺的實時派貨規則進行更新，且同一時刻一個晶圓 批次只能派貨至一個機臺。
[0012] 所述的派工方法，其中，根據工藝需求設定每個機臺所對應加工的晶圓批次信息。
[0013] 所述的派工方法，其中，每個機臺預定晶圓批次的預定時間規格均大于所述預估 時間。
[0014] 所述的派工方法，其中，每個機臺正在處理的晶圓批次信息包括：晶圓批次編號、 TIT、FPT、Tn和Te;
[0015] 其中，TIT表示晶圓批次進入機臺的時間，FPT表示預計晶圓批次完成制程所需的 時間，In表示當前時間，Ti；表示所述預估時間。
[0016] 所述的派工方法，其中，所述各個機臺的空閑順序按照W下方式確定：
[0017] Tw+Te-UT-FTP的結果越大，表示其所對應的機臺的負載端口越早空閑，根據每個 負載端口的空閑的時間不同，得到各負載端口的空閑順序，且W每個機臺中最先空閑的負 載端口作為該機臺的最先空閑時間，W得到各機臺的空閑順序，從而得到所述空閑順序； [001引其中，當VTe-TIT-FTP〉0時，表示機臺在后續的Te內能夠對當前的晶圓批次結束 制程，從而使機臺中對應的負載端口空閑；
[001引當VTe-TIT-FTP<0時，表示機臺在后續的Te內不能夠對當前的晶圓批次結束制 程，從而機臺不空閑。
[0020] 所述的派工方法，其中，所述T,根據生產過程中的實際需要進行設定。
[0021] 一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工系統，其中，所述系統包括：
[0022] 機臺組下的有效機臺維護模塊，用于基于有效機臺信息和線上晶圓批次數據，設 定一機臺組下每個機臺的負載端口的數量、每個機臺的實時派貨規則，W及各個機臺上派 貨至該機臺的每個晶圓批次的預定時間規格；
[0023] 機臺空閑計算模塊，通信連接于所述有效機臺維護模塊，用于實時獲取每個機臺 正在處理的晶圓批次信息，根據每個機臺的負載端口的數量和每個機臺正在處理的晶圓批 次信息，計算出后續一段預估時間內各個機臺的空閑順序；
[0024] 機臺組下的派工監控模塊，通信連接于所述機臺空閑計算模塊，用于獲取所述空 閑順序后，按照所述空閑順序依次更新每個機臺的實時派貨規則，并根據更新后實時派貨 規則得到每個機臺的派貨結果；
[00巧]機臺組的派工結果顯示模塊，通信連接于所述機臺組下的派工監控模塊，W獲取 所述派貨結果后將所述派貨結果進行顯示；
[0026] 其中，對任一所述機臺的實時派貨規則進行更新后，均釋放已派貨至該機臺且超 過所述預定時間規格的晶圓批次，并將釋放的晶圓批次并入待派貨的晶圓批次中，然后再 基于該待派貨晶圓批次對后續一所述機臺的實時派貨規則進行更新，且同一時刻一個晶圓 批次只能派貨至一個機臺。
[0027] 所述的派工系統，其中，所述機臺空閑計算模塊還包括：
[0028] 第一計算單元，根據每個批次晶圓進入對應機臺的時刻和預計該晶圓批次進行制 程所需的時間來確定該晶圓批次是否能夠在所述預估時間內結束制程，從而使該晶圓批次 所對應的機臺負載端口空閑；
[0029] 第二計算單元，根據機臺組下每個負載端口的空閑情況，計算出各機臺的空閑順 序。
[0030] 所述的派工系統，其中，每個機臺正在處理的晶圓批次信息包括：晶圓批次編號、 TIT、FPT、Tn和Te;
[0031] 其中，T口表示晶圓批次進入機臺的時間，FPT表示預計晶圓批次完成制程所需的 時間，In表示當前時間，Ti；表示所述預估時間。
[0032] 所述的派工系統，其中，
[003引所述第一計算單元獲取Tw、Te、TIT、FTP后，計算Tw+Te-TIT-FTP的值，若大于零，貝U判斷出機臺在后續的T,內能夠對當前的晶圓批次結束制程，從而使機臺中對應的負載端口 空閑，若小于零，則判斷出機臺在后續的Tc內不能夠對當前的晶圓批次結束制程，從而機臺 不空閑；
[0034] 所述第二計算單元對所述第一計算模塊計算Tw+Te-UT-FTP后所得到值從大到小 進行排序，從而確定各負載端口的空閑順序，且W每個機臺中最先空閑的負載端口作為該 機臺的最先空閑時間，W得到各機臺的空閑順序。
[00巧]上述技術方案具有如下優點或有益效果：
[0036] 本發明通過對機臺組下的機臺進行派貨優化，避免了同一機臺組下機臺在預定晶 圓批次時發生同時預定同一批晶圓的情況，可W在很大程度上提高工廠的生產效率，大大 降低了派貨錯誤的發生幾率。
【附圖說明】
[0037] 參考所附附圖，W更加充分的描述本發明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和 闡述，并不構成對本發明范圍的限制。
[0038] 圖1是本發明基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法的步驟流程示 意圖；
[0039] 圖2是本發明實施例中生成關于機臺組的派工結果的邏輯框圖。
【具體實施方式】
[0040] 本發明提供了一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法。
[00川如圖1所示，本發明方法主要包括W下步驟：
[0042] 步驟1、基于有效機臺信息和線上晶圓批次數據，設定一機臺組下每個機