分離式探針模塊及具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種分離式探針模塊及具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備，特別涉及一種用于檢測晶粒的探針模塊及其檢測設備。
【背景技術】
[0002]隨著電子元件封裝測試產業不斷地朝向提高測試產能、提高測試精準度、降低成本、以及降低各種污染等面向發展，各家測試設備廠商無不絞盡腦汁開發各式新穎設備以符合封測廠商的要求。
[0003]請參閱中國臺灣實用新型專利第M439261號「晶粒分選機用探針高速分離裝置」，此為現有技術(以下簡稱公知文獻I)，其揭露了利用真空擷取機構從供給裝置將晶粒轉移至探針座，而真空擷取機構包括用于取放晶粒的吸頭，且真空擷取機構利用升降機構驅動驅動吸頭升降，而在升降的過程中利用壓桿來帶動探針座擺動，以使探針趨近接觸或遠離晶粒。
[0004]然而，吸頭在吸料的過程中，有可能因為晶粒尺寸的誤差、轉移機構操作上的誤差或其他外在因素導致吸頭吸附晶粒的位置有所偏移，如此將影響分選操作。進一步說明，請一并參閱公知文獻I的圖2，特別需要說明的是，以下所標注的附圖標記皆為公知文獻I說明書中所列，而不是本實用新型說明書的附圖標記。
[0005]公知技術在檢測完畢后，吹氣管821或吸頭22會吹出氣體使晶粒脫離吸頭22而落入承接匣8內，等待分類盤9對其進行良品或不良品的分類;然而，若吸頭22吸附晶粒的位置有所偏移(一般正常為晶粒的正中心的位置)，一旦吹氣管821或吸頭22吹出氣體時，將導致晶粒往側向亂噴，甚至撞擊下方的探針、探針座或承接匣8而噴出承接匣8之外。如此輕則影響檢測效率或毀損晶粒，重則將影響分類的準確性或甚至導致后續整個的檢測失效。
[0006]此外，上述公知設備固然具備不錯的測試產能，但因該設備包含了吸頭的升降機構以及探針座擺動的連動機構等，致使整個設備的機構復雜，不容易組裝及維修，且探針與晶粒間的接觸力難以調整，又由于升降機構采用氣壓組件，因此噪音頗大。而且，上述公知設備可適用的晶粒的類型局限單一種類，例如固定尺寸、固定厚度以及接點位置固定的單一類型的晶粒，穩定度上也較為欠缺。
[0007]綜上所述，目前產業界迫切需求一種機構簡單、成本較低、組裝維修簡便、可大幅降低噪音且可提升檢測效率，又可適用于多種類型的待測電子元件，更可有效避免晶粒亂噴的檢測設備。
【實用新型內容】
[0008]本實用新型的主要目的在于提供一種分離式探針模塊及具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備，從而使得以簡單的機構來達到檢測目的，故可降低成本并提升檢測效率;最重要的是，可有效避免電子元件亂噴，提升分類的準確性以及提升檢測設備的精度和合格率。
[0009]為達到上述目的，本實用新型提供一種具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備，主要包括供料裝置、分離式探針模塊、取放裝置以及控制裝置;其中，供料裝置包括供料區，且供料裝置用于供應至少一個待測電子元件;分離式探針模塊用于在測試位置檢測至少一個待測電子元件，而分離式探針模塊包括至少一個探針、二維移動機構及致動器，致動器連接二維移動機構，且至少一個探針組設于二維移動機構上;取放裝置轉移至少一個待測電子元件;控制裝置電連接供料裝置、分離式探針模塊及取放裝置;其中，控制裝置控制取放裝置從供料區將至少一個待測電子元件轉移至測試位置，而控制裝置控制致動器以驅動二維移動機構進行水平移動及升降移動，進而帶動至少一個探針進入測試位置而與至少一個待測電子元件電接觸并進行檢測。
[0010]據此，本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備可利用分離式探針模塊的致動器來驅動至少一個探針進行水平移動及升降移動，進而與至少一個待測電子元件電接觸，而構成電導通并進行檢測；故本實用新型通過使至少一個探針進行二維移動的方式，讓探針僅在檢測進行時位于測試位置內，其余時間則移出測試位置以避免影響進料及后續的分類流程。
[0011]較佳的是，本實用新型的至少一個待測電子元件進行檢測時，取放裝置持續地吸取至少一個待測電子元件;而當檢測完畢，控制裝置可控制致動器以驅動至少一個探針進行另一方向的升降移動及水平移動而退出測試位置之外。據此，本實用新型可完全避免電子元件在落入分選裝置的過程中，因撞擊探針或探針座所導致電子元件噴離分選裝置的情形。
[0012]此外，本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備的取放裝置可包括吸嘴，其下表面可包括至少一個電極接點，而控制裝置電連接至至少一個電極接點；當至少一個待測電子元件進行檢測時，吸嘴下表面的至少一個電極接點及至少一個探針電接觸于至少一個待測電子元件。據此，本實用新型也可利用取放裝置的吸嘴及探針充當測試電極，以適應各種類型的電子元件的不同接點位置。
[0013]另外，在本實用新型中，每一個待測電子元件的上表面及下表面可各包括兩個端子墊;而取放裝置的吸嘴的下表面包括兩個電極接點；且分離式探針模塊包括第一探針及第二探針。其中，當至少一個待測電子元件進行檢測時，吸嘴吸附至少一個待測電子元件，而吸嘴下表面的兩個電極接點、第一探針及第二探針分別與至少一個待測電子元件的上表面及下表面上的兩個端子墊電接觸。
[0014]據此，本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備也可適用于檢測上下各兩個接點(端子墊)的電子元件，即可利用吸嘴下表面的兩個電極接點以及分離式探針模塊的第一探針及第二探針分別與電子元件上下表面的兩個端子墊電接觸以構成電導通，以進行檢測。此外，本實用新型也不以吸嘴配置兩個電極接點和兩個探針為限，可根據電子元件的接點端口數配置更多的電極接點和探針。
[0015]另外，本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備還可包括兩個刷測電極，其電連接至控制裝置;而取放裝置可包括固定架，且吸嘴組設于固定架的下端面；固定架上包括兩個導電區域，其分別電連接至吸嘴下表面的兩個電極接點。其中，當取放裝置將至少一個待測電子元件轉移至測試位置時，兩個刷測電極分別與固定架的兩個導電區域電接觸。據此，當取放裝置將至少一個待測電子元件轉移至測試位置時，兩個刷測電極才會電連接吸嘴下表面的兩個電極接點，構成導通并進行測試，除了可以簡化線路的配置外，還可提尚安全性。
[0016]本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備的二維移動機構可包括基座、滑臺及升降臺，滑臺耦接于基座上并可相對水平滑動，而升降臺耦接于滑臺上并可相對升降滑動，且至少一個探針組設于升降臺；其中，致動器連接至滑臺和升降臺。因此，本實用新型可通過致動器驅動滑臺及升降臺，使滑臺可相對于基座作水平滑動以及使升降臺可相對于滑臺作升降滑動，進而帶動探針產生水平及升降運動。
[0017]此外，本實用新型具備分離式探針模塊的電子元件檢測設備的致動器可包括驅動軸，其徑向的外環周面上包括斜向凹槽及凸塊;且滑臺包括帶動桿及杠桿機構，而帶動桿耦合于斜向凹槽，杠桿機構介于驅動軸與升降臺之間；當驅動軸轉動，斜向凹槽可驅動帶動桿而帶動滑臺水平滑動，而凸塊可推抵杠桿機構的一端，杠桿機構另一端則推抵升降臺作升降滑動。據此，本實用新型可通過單一致動器的單一驅動軸分別驅動滑臺來做水平運動以及驅動升降臺來做升降運動，構思獨特，大幅簡化了驅動機構，可有效降低成本，可靠度極佳。
[0018]為達到上述目的，本實用新型提供一種分離式探針模塊，其在測試位置檢測至少一個待測電子元件，而分離式探針模塊包括至少一個探針、二維移動機構及致動器，致動器連接二維移動機構，至少一個探針組設于二維移動機構上;其中，致動器驅動二維移動機構進行水平移動及升降移動，進而帶動至少一個探針進入測試位置而與至少一個待測電子元件電接觸并進行檢測。
[0019]據此，本實用新型的分離式探針模塊利用至少一個探針水平移動以及升降移動來與至少一個待測電子元件電接觸，而構成電導通并進行檢測；故本實用新型通過使至少一個探針進行二維移動的方式，讓至少一個探針除了僅在檢測進行時位于測試位置內，其余時間則移出測試位置以避免影響進料及后續的分類流程。
[0020]此外，在本實用新型的分離式探針模塊中，二維移動機構可包括基座、滑臺及升降臺，滑臺可耦接于基座上并可