一種可見光ccd測試儀的制作方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種可見光C⑶測試儀。
【背景技術】
[0002] 可見光CCD用于檢測電路板的零件，這種檢測系統效率高同時成本低，能夠高效 快速的查找出電路板的錯誤，但是這種系統中使用的可見光CCD進行檢測的時候需要使用 專業的檢測設備，但是這種檢測設備檢測成本高，檢測手續繁瑣，檢測效率低。 【實用新型內容】
[0003] 本實用新型的目的在于提供一種可見光CCD測試儀，能夠改善現有技術存在的問 題，通過利用積分球裝置和目標板進行配合檢測，通過對結果進行復合計算，實現對可見光 CCD的快速檢測，成本低廉同時檢測效率高。
[0004] 本實用新型通過以下技術方案實現：
[0005] -種可見光CXD測試儀，包括鹵素燈光源室、單色儀、積分球裝置、分劃板部、大數 值孔徑顯微物鏡裝置、目標板、平行光管、三維調整架、高精度角速率轉臺和待測CCD ;鹵素 燈光源室包括齒鎢燈光源、密封塊、M3X8內六角圓柱頭螺釘、連接板、光源支撐桿、叉式壓 板座、叉式壓板、M5X4滾花高頭螺釘和M4X 12滾花高頭螺釘、光源聚焦透鏡、透鏡座、透鏡 壓圈、M4X 10連接螺釘、連接板，鹵素燈光源室通過連接板用螺釘固定在單色儀的出入平 行三光柵掃描單色儀的入口狹縫處；單色儀通過出入平行三光柵掃描單色儀的出口狹縫處 用螺釘固定在積分球的入口處；積分球出口軸線與分劃板部中分劃板軸線重合，且分劃板 部中靠近積分球一側分劃板放置在積分球出口水平方向IOmm位置處；大數值孔徑顯微物 鏡物鏡軸線與分劃板部中分劃板軸線重合，且大數值孔徑顯微物鏡放置在分劃板中靠近積 分球一側分劃板水平方向50mm位置處；三維調整架中7STA04500A電動平移臺沿寬度中心 7STA04500A電動平移臺運行方向與大數值孔徑顯微物鏡物鏡軸線平行且在同一個垂面內， 且7STA04500A電動平移臺中遠離電機一側端面與靠近三維調整架大數值孔徑顯微物鏡端 面水平方向距離40mm ;在鹵素燈光源室中，叉式壓板通過間隙配合與叉式壓板座連接；叉 式壓板座通過頂絲與光源支撐桿固定連接；光源支撐桿通過螺紋配合與齒鎢燈光源固定連 接；齒鎢燈光源通過與連接板固定連接；連接板通過過盈配合與密封塊連接；光源聚焦透 鏡通過透鏡壓圈與透鏡座固定連接；透鏡座通過M5X4滾花高頭螺釘與鹵鎢燈光源固定連 接，
[0006] 單色儀中設有雙刀單擲電源開關，雙刀單擲電源開關通過螺絲與光譜儀底座固定 連接；電源插座通過螺絲與光譜儀底座固定連接；連接器座通過螺絲與光譜儀底座固定連 接；DB25Z連接器座通過螺絲與光譜儀底座固定連接；光譜儀底座通過螺釘與上箱固定連 接；光譜儀底座通過螺絲與下箱固定連接；積分球通過螺釘與積分球支撐底座固定連接； 在分劃板部中，分劃板與隔圈通過過盈配合連接；隔圈通過壓圈與固定環固定連接；固定 環通過螺釘與7SRA1100電動旋轉臺固定連接；斜板通過螺釘與豎板固定連接；豎板通過螺 釘與7SRA1100電動旋轉臺固定連接；7SRA1100電動旋轉臺通過螺釘與連接底板固定連接； 連接底板通過螺釘與7STA1050電動平移臺固定連接；7STA1050電動平移臺通過螺釘與第 二平移臺連接板固定連接；第二平移臺連接板通過螺釘與第一平移臺連接板固定連接；第 一平移臺連接板通過螺釘與7STM04125平移臺固定連接；7STM04125平移臺通過螺釘與平 臺固定連接；平臺與支撐桿通過螺紋連接在一起；支撐桿與底座通過螺紋連接在一起；大 數值孔徑顯微物鏡通過物鏡頂緊螺釘與支撐底座固定連接；在三維調整架中，光學平板通 過螺釘與7SVM02120升降臺固定連接；7SVM02120升降臺通過螺釘與升降臺連接板固定連 接；升降臺連接板通過螺釘與7STA1050電動平移臺固定連接；7STA1050電動平移臺通過螺 釘與電動平移臺連接板固定連接；電動平移臺連接板通過螺釘與7STA04500A電動平移臺 固定連接；鹵素燈光源室通過過渡板用螺釘與單色儀連接，單色儀通過過渡筒與積分球裝 置連接；分劃板部安放在積分球裝置的后面，且分劃板部中的分劃板的中心正對積分球裝 置中積分球的球心；大數值孔徑顯微物鏡裝置中的大數值孔徑顯微物鏡安放在距離分劃板 50mm處，且分劃板的中心在大數值孔徑顯微物鏡的光軸上；通過調整三維調整架使得待測 CCD的光敏面位于大數值孔徑顯微物鏡的焦點位置，所述目標板、平行光管依次設置在光 源和待測CCD之間，所述目標板上設置有目標板橫條紋以及與目標板橫條紋相互垂直的目 標板豎條紋，目標板橫條紋至少是6組；所述每組至少包括3對條紋；
[0007] 所述橫條紋組之間的間隔是Ini = (p+i/n) X (1+Γ );其中：
[0008] 所述P是任意整數；
[0009] 所述i是大于等于1小于等于η的整數；
[0010] 所述η是目標板橫條紋的組數；
[0011] 所述1是目標板上每條條紋的寬度；
[0012] 所述Γ是目標板上條紋與條紋之間的間隔。
[0013] 所述目標板豎條紋至少是6組；所述每組至少包括3對條紋；所述橫條紋組之間 的間隔是 Imi = (k+j/m) X (1+Γ );
[0014] 所述k是任意整數；
[0015] 所述j是大于等于1小于等于m的整數；
[0016] 所述j是大于等于1小于等于m的整數；
[0017] 所述m是目標板豎條紋的組數；
[0018] 所述1是目標板上每條條紋的寬度；
[0019] 所述Γ是目標板上條紋與條紋之間的間隔；
[0020] 所述目標板上每條條紋的寬度1滿足l=f p/T c，d;
[0021] 其中：所述f' p是平行光管的焦距；
[0022] 所述f c是被測相機的焦距；
[0023] 所述d是被測相機中的C⑶像元尺寸；
[0024] 上述目標板上每條條紋的寬度1與目標板上條紋與條紋之間的間隔Γ是相等 的，
[0025] 所述平行管的口徑是相機口徑2-5倍，所述平行管的焦距是所述待測CCD相機焦 距的5-10倍，目標板的豎條紋與探測器的線陣方向平行，橫條紋與探測器線陣方向垂直；
[0026] 轉臺速度角速度不確定度優于0. 5%，轉臺速度ω與相機行頻hp，滿足hp=d/ (f' c · ω ) ο
[0027] 進一步地，為更好地實現本實用新型，所述鹵鎢燈光源為北京賽凡光電儀器有限 公司提供的7ILT250鹵鎢燈光源。
[0028] 進一步地，為更好地實現本實用新型，所述光源聚焦透鏡為上海迎盈光學器件廠 提供的DCX0804雙凸透鏡。
[0029] 本實用新型中見光C⑶的測試方法，該方法包括如下步驟：
[0030] SI.鹵素燈光源室中鹵鎢燈光源發出的光照入單色儀的入射狹縫，經過單色儀的 光柵分光后，由單色儀的出射狹縫發出白光或窄波段范圍的單色光；
[0031] S2.由Sl得到的白光或單色光經過積分球入口射入積分球，經積分球進行漫反射 后，由積分球的出口發出均勻的白光或均勻的單色光；
[0032] S3.由S2得到的均勻的白光或單色光照明分劃板，透過分劃板后的光經過分劃板 后面的大數值孔徑顯微物鏡照射到目光板上；
[0033] S4.透過目標板的光進入到平行光管內；
[0034] S5.經過平行光管成像到待測CXD的光敏面上；
[0035] S6.目標板安放在平行光管的焦面上，目標板的條紋方向與相機探測