一種mems流量計流道結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及燃氣計量裝置領域，特別是一種MEMS流量計流道結構。
【背景技術】
[0002]隨著天然氣等清潔、高效能源的飛速發展，天然氣正在進入千家萬戶，越來越多的城鎮居民開始使用天然氣，而天然氣用量的計量結算是天然氣使用的必需步驟，目前使用的家用燃氣表基本是基于容積式原理的皮膜表，該表是輸入機械式表，靠里面的皮膜的震動運動進行計量，計量精度有限，而且皮膜在天然氣里面的水、油和灰塵的影響下，會逐漸老化，因此計量精度會逐漸變差，且皮膜表受本身原理限制，不能進行小型化。
[0003]除機械傳動計量的膜式燃氣表之外，目前市場上還出現了一種以超聲波計量的電子式燃氣表，它采用超聲波技術實現燃氣表的燃氣計量，它沒有可動的機械部件，可長期保持高精度；。但是，該表的超聲波流量計的測量線路比一般流量計復雜，須有完善的測量線路才能實現，設計難度較大。而實際使用中，被測流體中的污染物(如被測燃氣中的固體顆粒、水分和油氣)會慢慢沉淀在測量流道本體下部，這就導致設置在測量流道本體下部的換能器發射口被堵塞，這無疑會影響到超聲波換能器的計量精度和計量穩定性。
[0004]而目前性價比較好的MEMS流量燃氣表，都沒有防止燃氣中含有的如四氧化三鐵，硫化物等粉塵雜質附著于測量部件上的防塵結構，很容易因粉塵雜質的附著而影響燃氣表的計量精度，嚴重時甚至會導致測量部件損壞，降低燃氣表的使用壽命。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的發明目的在于針對現有的用于燃氣測量的MEMS流量計大多沒有防污染的結構，導致燃氣表器件易損壞的問題，提供一種具有防污染功能的流量計流道結構。
[0006]為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為:
[0007]—種MEMS流量計流道結構，包括燃氣表殼體、進氣管、流量檢測管以及出氣管；所述進氣管與燃氣表殼體的進口連接，所述出氣管與所述燃氣表殼體的出氣口連接，所述流量檢測管一端與所述出氣管連接并豎直懸空在殼體中；所述流量檢測管的自由端設置有側向開口的整流部，同時，所述流量檢測管中設置有MEMS燃氣流量傳感器，其用于測量燃氣流量。
[0008]進一步的，所述進氣管的出口為豎直設置或水平設置，其高度高于或低于所述流量檢測管的整流部。
[0009]進一步的，所述進氣管上設置有開關閥。
[0010]進一步的，燃氣表殼體為氣密性殼體，同時所述出氣管與燃氣表殼體的出氣口之間設置有密封圈，所述進氣管與燃氣表殼體的進氣口之間設置有密封圈。
[0011]進一步的，所述流量檢測管的主氣道中設置有用于分流的分流裝置。
[0012]進一步的，所述分流裝置為軸向設有多個氣流通道的圓柱體，該圓柱體通過螺釘固定或粘結固定在流量檢測管的主氣道圓管內。
[0013]進一步的，所述分流裝置為軸向設置的多個氣流通道呈同心圓形狀貫通圓柱體。
[0014]進一步的，所述流量檢測管中還集成有無線通信模塊，其用于將MEMS流量計的計量結果通過無線網絡傳出。
[0015]進一步的，所述整流部的開口處均勻設置有向整流部軸心傾斜的擋板。
[0016]綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是:
[0017]由于采用了上述方案，將燃氣表殼體設為具有氣密性容腔的殼體，輸氣管分為獨立的進氣管，以及連接在一起的流量檢測管和出氣管，流量檢測管上端與出氣管連接并垂直懸空在殼體中，使進入氣密性容腔殼體的燃氣不直接流入流量檢測管，而是先流入截面積大于進氣管的燃氣表殼體內，氣流截面積顯著增大，流速大幅度減緩，待氣體充滿容腔后才流入流量檢測管，所述流量檢測管垂直設置從而使得一些較大的污染物(如粉塵)不易由下向上進入，這樣可以讓燃氣中含有的微量粉塵等雜質，因流速降低而沉于腔底，使進入流量檢測管的燃氣純潔度提高，從而避免了燃氣中的粉塵等雜質附著于測量部件，影響燃氣表的計量精度和使用壽命。所述MEMS式流量計量計采用具有信號傳感模塊的熱式質量流量傳感器，這種具有信號傳感模塊的熱式質量流量傳感器能夠通過測量燃氣的質量流速而獲得燃氣的質量流量。與膜式然氣表的計量結構相比，該計量方式具有量程比寬，計量準確度高，直接電信號輸出等獨特優點；與以超聲波計量的電子式燃氣表相比，這種熱式質量流量傳感器得到的是質量流量，而非現有超聲波計量的體積流量，使用戶與供氣公司之間得到更公平的計量。
[0018]此外，由于在居民家庭應用場合，燃氣通過復雜龐大的燃氣管網后，其流向已經紊亂無章，因熱式質量流量傳感器對氣流的方向性和穩定性要求高，對管道中燃氣的紊流非常敏感，所以本發明在流量檢測管的主氣道下端下端設置有側向開口的整流部，使紊亂的氣流在通過用于調整紊流的裝置時得到調整，燃氣形成有序的流動的方向和穩定的流動狀態，有利于熱式質量流量傳感器的信息采集，同時，一些實施例中，該整流部設置有向軸心傾斜的擋板，可以進一步的起到阻擋部分粉塵雜質進入流量檢測管的作用，進一步提高被檢測氣流的純潔度。
[0019]本發明電子式質量流量燃氣計量表的結構簡單，利于制造和裝配，并且具有瞬時流量信號輸出功能，利用瞬時流量信號，可以監控燃氣泄露或者管道破裂預警，有效提高燃氣系統的安全性。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實用新型實施例1的結構示意圖。
[0021]圖2是本實用新型實施例2的結構示意圖。
[0022]圖3是本實用新型實施例3的結構示意圖。
[0023]圖4是本實用新型實施例4的結構示意圖。
[0024]圖5是本實用新型實施例1中流量檢測管示意圖。
[0025]圖6是本實用新型實施例2中流量檢測管示意圖。
[0026]圖7是是本實用新型流量檢測管中分流裝置的截面圖示例。
[0027]圖中標記:1_燃氣表殼體，2-進氣管，