基于質譜反饋的準靜態配氣儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種配氣儀，尤其涉及一種基于質譜反饋的準靜態配氣儀。
【背景技術】
[0002]氣體中不同物質成分濃度測量的動態范圍是衡量質譜儀器的重要性能之一。由于質譜動態范圍的限制，大多數質譜儀器，很難同時兼顧超痕量物質、痕量物質和微量物質的測量。
[0003]常見的做法是對于痕量和微量物質采用配氣儀，一路是待測樣品，一路是混合氣體然后通過不過同的比例進行混合使氣體的濃度進入到可測量的范圍。然而通過配氣儀器的方法，由于質譜儀器所需要氣體量較低，利用閥門進行配氣的方法穩定度和精度都相對較低。同時因為沒有反饋機制，測量過程中無法準確的調整到氣體的濃度在恰當的位置。測量時兼顧了 Olppm)物質時，就會損失部分痕量和超痕量物質的信息。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種基于質譜反饋的準靜態配氣儀，其主要解決沒有反饋機制，測量過程中無法準確的調整到氣體的濃度在恰當的位置的技術問題。
[0005]本實用新型的解決方案是:一種基于質譜反饋的準靜態配氣儀，其包括氣缸
(18)、配合在氣缸(18)內的活塞(16)、以及驅動活塞(16)移位的電機(19)，活塞(16)與氣缸(18)的底部圍成主腔體(13)，主腔體(13)與一個質譜儀(15)連通，主腔體(13)通過閥門一(7)輸入待測氣體(I)，還通過閥門二(8)輸入緩沖氣體(2)。
[0006]作為上述方案的進一步改進，所述配氣儀還包括緩沖池一(4)、緩沖池二(5);待測氣體⑴通過緩沖池一⑷再經由閥門一(7)輸入主腔體(13)內；緩沖氣體(2)通過緩沖池二(5)再經由閥門二(8)輸入主腔體(13)內。
[0007]作為上述方案的進一步改進，主腔體(13)通過閥門三(9)輸入標定氣體(3)。
[0008]進一步地，所述配氣儀還包括緩沖池三(6);標定氣體(3)通過緩沖池三(6)再經由閥門三(9)輸入主腔體(13)內。
[0009]作為上述方案的進一步改進，所述配氣儀還包括測量主腔體(13)內溫度的溫度傳感器。
[0010]進一步地，所述配氣儀還包括設置在氣缸(18)外表面的保溫加熱帶(17)。
[0011]優選地，所述配氣儀還包括溫控裝置(12)，溫控裝置(12)與所述溫度傳感器、保溫加熱帶(17)均電性連接。
[0012]作為上述方案的進一步改進，所述配氣儀還包括測量主腔體(13)內壓力的壓力傳感器。
[0013]作為上述方案的進一步改進，所述配氣儀還包括測量位移量的編碼器，所述編碼器安裝在電機(19)上，通過電機(19)的移動而獲得活塞(16)的位移量。
[0014]作為上述方案的進一步改進，所述配氣儀還包括安裝氣缸(18)和電機(19)的固定架。
[0015]本實用新型通過設置氣缸(18)、活塞(16)圍成的主腔體(13)，配合電機(19)驅動活塞(16)實現主腔體(13)內氣體的反饋機制，在質譜儀(15)的測量過程中能準確的調整到氣體的濃度在恰當的位置。本實用新型的有益效果:針對質譜儀，可擴充質譜檢測濃度范圍，提高質譜檢測的靈敏度，不損失小信號；進一步提高氣體進樣的穩定度。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型實施例提供的基于質譜反饋的準靜態配氣儀的結構示意圖。
[0017]主要符號說曰月
[0018]待測氣體I緩沖氣體2
[0019]標定氣體3緩沖池一 4
[0020]緩沖池二 5緩沖池三6
[0021]閥門一 7閥門二 8
[0022]閥門三9壓力傳感器11
[0023]溫控裝置12主腔體13
[0024]電動三通14質譜儀15
[0025]活塞16保溫加熱帶17
[0026]氣缸18電機19
[0027]溫度傳感器111
【具體實施方式】
[0028]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0029]請參閱圖1，本實用新型實施例提供的基于質譜反饋的準靜態配氣儀，其聯合質譜儀15使用。
[0030]配氣儀包括氣缸18、活塞16、閥門一 7、閥門二 8、閥門三9、緩沖池一 4、緩沖池二
5、緩沖池三6、電機19、固定架(圖未示)、編碼器(圖未示)、壓力傳感器11、保溫加熱帶17、溫度傳感器111、溫控裝置12。
[0031]氣缸18和電機19均可安裝在固定架上，活塞16配合在氣缸18內，活塞16與氣缸18的底部圍成主腔體13。氣缸18外表面可設置保溫加熱帶17，保持主腔體13內恒溫。通過移動活塞16可調節主腔體13的大小，也可以通過注入主腔體13內的氣體容積調節主腔體13的大小。電機19驅動活塞16移位，編碼器測量活塞16的位移，電機19可為步進電機。
[0032]編碼器可選用一般測量角位移量的編碼器即可，所述編碼器安裝在電機19上，通過電機19的角位移而獲得活塞16的位移量。壓力傳感器11測量主腔體13內的壓力，壓力傳感器11可選用比較直觀顯示的類型，便于使用者查看。溫度傳感器111測量主腔體13內的溫度，溫度傳感器111也可選用比較直觀顯示的類型，便于使用者查看。溫控裝置12與所述溫度傳感器111、保溫加熱帶17均電性連接，實現主腔體13內和管道內溫度的調節，溫控裝置12可選用易于操作的呆瓜式溫控器。保溫加熱帶17設置在氣缸18的外表面，也可以采用其他的加熱方式，如加熱片，加熱管，PTC等等。
[0033]主腔體13與一個質譜儀15連通，質譜儀15對主腔體13內的氣體采樣檢測。主腔體13通過閥門一 7輸入待測氣體1，還通過閥門二 8輸入緩沖氣體2，還可通過閥門三9輸入標定氣體3。待測氣體1、緩沖氣體2、標定氣體3可分別通過緩沖池一 4、緩沖池二 5、緩沖池三6到達主腔體13內，待測氣體1、緩沖氣體2、標定氣體3可事先存儲于罐體中。
[0034]本實用新型先后將待測氣體1、緩沖氣體2輸入在氣缸18內的主