一種定時腐蝕裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種定時腐蝕裝置。
【背景技術】
[0002]硬質薄膜的應用廣泛，其力學性能對鍍有硬質薄膜的零件的性能影響很大。幾乎所有的薄膜中存在著某種殘余應力，特別是硬質薄膜，薄膜的殘余應力對薄膜的其它性能有明顯的影響，大的殘余應力甚至可以導致薄膜的整體失效。為了深入研宄薄膜殘余應力的本質及其影響，需要建立精確的測量方法。
[0003]目前有一些實驗方法通過逐層剝離不銹鋼基體表面的硬質薄膜，來分析硬質薄膜的應力沿著層深的分布。在此過程中，需要對薄膜進行逐層腐蝕剝離。為了使每次腐蝕剝離的膜層厚度盡量一致，需要控制腐蝕時間。但是，目前還沒有專門的定時腐蝕裝置。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型要解決的技術問題在于，針對現有技術中沒有專門的定時腐蝕裝置用來對不銹鋼基體表面的硬質薄膜進行逐層剝離的缺陷，提供一種定時腐蝕裝置，可以用來對不銹鋼基體表面的硬質薄膜進行逐層剝離。
[0005]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:構造一種定時腐蝕裝置，包括:
[0006]底座；
[0007]從所述底座向上延伸的支柱；
[0008]連接在所述支柱頂端的橫梁；
[0009]設置在所述橫梁上的滑動支架；
[0010]用于容納基片樣品的樣品框；
[0011]用于驅動所述樣品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之間移動的垂直驅動汽缸，所述垂直驅動汽缸設置在所述滑動支架上，所述樣品框連接在所述垂直驅動汽缸上;
[0012]用于容納腐蝕溶液的腐蝕箱，頂部開口且設置在所述橫梁下方；
[0013]控制箱，包括定時器，所述控制箱與所述垂直驅動汽缸電連接。
[0014]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述定時腐蝕裝置還包括與所述腐蝕箱并排排列的清洗箱，所述清洗箱內設置有用于清洗基片樣品的多個噴頭，所述滑動支架可滑動地設置在所述橫梁上。
[0015]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述定時腐蝕裝置還包括用于驅動所述滑動支架所述橫梁上滑動的水平驅動汽缸，所述水平驅動汽缸與所述控制箱電連接。
[0016]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述腐蝕箱內設置有第一燒杯。
[0017]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述噴頭包括第一水噴頭和第二水噴頭，所述第一水噴頭的高度比第二水噴頭低，且第一水噴頭傾斜朝上，第二水噴頭傾斜朝下。
[0018]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述噴頭還包括第一酒精噴頭和第二酒精噴頭，第一酒精噴頭的高度比第二酒精噴頭低，且第一酒精噴頭傾斜朝上，第二酒精噴頭傾斜向下。
[0019]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述定時腐蝕裝置還包括用于分別控制所述第一水噴頭、第二水噴頭、第一酒精噴頭和第二酒精噴頭的啟閉的多個閥門，所述多個閥門與所述控制箱電連接。
[0020]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述定時腐蝕裝置還包括清洗液箱，所述清洗液箱包括用于容納水的水箱和用于容納酒精的酒精箱；所述定時腐蝕裝置還包括用于從所述水箱泵取水的第一電泵、以及用于從所述酒精箱泵取酒精的第二電泵，所述第一電泵通過管路與所述第一水噴頭和第二水噴頭連接，所述第二電泵通過管路與所述第一酒精噴頭和第二酒精噴頭連接。
[0021]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述水箱和酒精箱上，均設置有液面觀察窗。
[0022]根據本實用新型所述的定時腐蝕裝置，所述橫梁上設置有導向結構，所述滑動支架包括設置在所述導向結構內的滑動部、以及從所述滑動部延伸出來的延伸部，所述垂直驅動汽缸設置在所述延伸部上。
[0023]實施本實用新型的定時腐蝕裝置，具有以下有益效果:通過定時器預設腐蝕時間，可以設定每次腐蝕的時間，使數次腐蝕保持在相近水平，從而為逐層腐蝕和研宄硬質薄膜沿層深分布提供設備支持。通過本實用新型的定時腐蝕設備，可以實現硬質薄膜被較均勻地逐層去除，從而實現對硬質薄膜殘余應力的有效測量。
【附圖說明】
[0024]下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中:
[0025]圖1是本實用新型中定時腐蝕裝置的示意圖；
[0026]圖2是本實用新型中定時腐蝕裝置的主視圖；
[0027]圖3是本實用新型中定時腐蝕裝置的側視圖。
【具體實施方式】
[0028]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0029]圖1是本實用新型中定時腐蝕裝置100的示意圖；圖2是本實用新型中定時腐蝕裝置100的主視圖；圖3是本實用新型中定時腐蝕裝置100的側視圖。如圖1-3所示，本實用新型的定時腐蝕裝置100包括底座101、從底座101向上延伸的兩個支柱102、以及連接在兩個支柱102的頂端之間的橫梁103。在橫梁103上設置有導向結構104，該導向結構104可以是如圖所示的導向槽，也可以是導向軌。
[0030]在導向結構104內可滑動地設置有滑動支架105。該滑動支架105包括設置在導向結構104內的滑動部105a、以及從滑動部105a延伸出來的延伸部105b。在滑動支架105上，設置有用于驅動滑動支架105沿著水平方向往復運動的水平驅動汽缸(未圖示)。在滑動支架105的延伸部105b上，設置有垂直驅動汽缸106。定時腐蝕裝置100還包括連接在垂直驅動汽缸106上并被垂直驅動汽缸106帶動從而在上下方向上往復運動的樣品框107。垂直驅動汽缸106的缸體可固定在延伸部105b上，而樣品框107連接在垂直驅動汽缸106的活塞桿下方。表面附有硬質薄膜的基體樣品(例如，不銹鋼樣品)可以被放置在樣品框107 中。
[0031]在底座101上還設置有控制箱108。控制箱108的上方設有腐蝕箱109。但是腐蝕箱109的位置不限于此。
[0032]腐蝕箱109的頂部開口。在腐蝕箱109內放置有第一燒杯111。第一燒杯111內裝有腐蝕溶液。該腐蝕溶液可以由濃度為5.6mol/l的氫氧化鉀溶液、草酸鉀飽和溶液、以及質量比為30%的過氧化氫水溶液混合而成，這三種成分可以有不同的比例，比例的不同會導致腐蝕速度不同。但是混合而成的溶液只會腐蝕基體樣品表面的硬質薄膜，而不會腐蝕基體樣品。
[0033]定時腐蝕裝置100還包括與腐蝕箱109并排排列的清洗箱110，腐蝕箱109和清洗箱110均設置在