接觸檢查裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及在半導體集成電路等的通電測試中使用的接觸檢查裝置。
【背景技術】
[0002]通常，對諸如半導體集成電路等的測試對象執行通電測試，以確定測試對象是否是按照精確的規格制造的。使用諸如探針卡、探針單元和探針塊等的接觸檢查裝置來執行該通電測試，該接觸檢查裝置具有單獨壓靠測試對象的待檢查部分的多個接觸部。這種類型的接觸檢查裝置用于使測試對象的待檢查部分與測試器電連接，以便執行檢查。
[0003]作為這種類型的接觸檢查裝置，專利文獻I公開了一種接觸檢查裝置，該接觸檢查裝置包括:探針基板，其具有供多根探針布置的下側，多根探針均具有將與測試對象的電極接觸的第一端;剛性的布線板，其將與測試器電連接;增強板，其用于支撐剛性的布線板；以及探針支撐件，其與探針基板連接，用于維持多根探針在預定位置處與探針基板接觸。
[0004]專利文獻2公開了一種通過如下方式生產的接觸檢查裝置:通過加熱使安裝于探針的第一端的導電連結材料軟化來使探針的第一端與探針基板臨時連接、將探針的在與測試對象接觸時待用作針尖的第二端插入通過多個定位構件、通過使定位構件相對于彼此移動來定位探針的第二端并且再次加熱和冷卻連結材料，使得探針能夠相對于探針基板定位并與探針基板連結。
[0005]現有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:JP2014-1997A
[0008]專利文獻2:JP2012-42330A
【發明內容】
[0009]發明要解決的問題
[0010]在專利文獻I公開的接觸檢查裝置中，探針支撐件包括第一板和第二板，第一板和第二板在探針的軸線方向上彼此面對，第一板與第二板之間具有間隙。探針延伸通過第一板和第二板。延伸通過探針支撐件的探針與探針基板的電極和測試對象的電極一一對應，并且分別與探針基板和測試對象電連接。
[0011]接觸檢查裝置的每根探針均包括位于探針支撐件的第一板與第二板之間的狗腿形(dog I eg-shape)的聯接部。聯接部能夠在作用在探針的軸線方向上的壓力下彈性變形，由聯接部的彈性變形產生的彈力幫助在探針與對應的電極之間建立電連接。
[0012]當具有該聯接部的探針繞著其軸線轉動時，該探針可能會與相鄰的探針接觸，從而導致短路。而且，當探針繞著其軸線轉動時，可能會磨損或損壞探針卡的與該探針接觸的電極。因而，在該接觸檢查裝置中，每根探針均具有在徑向上從其一部分延伸的突起。該突起被接收在穿過面對測試對象的第二板所形成的圓孔的長形槽中，并且與該長形槽配合地用作防止探針繞著其軸線轉動的轉動防止部件。
[0013]然而，在該接觸檢查裝置中，因為探針的聯接部必須位于探針支撐件的第一板與第二板之間，所以在多根探針的第一端均插入通過第二板的情況下，必須同時將多根探針的第二端插入通過第一板。換言之，當需要更換該接觸檢查裝置中的任意探針時，不能在不拆卸探針支撐件的情況下更換探針。這造成了較低的工作效率。另外，在組裝探針支撐件時，在多根探針的第一端均插入通過第二板的情況下，必須同時將多根探針的第二端插入通過第一板。這是麻煩的，并且會造成較低的工作效率。
[0014]在專利文獻2公開的接觸檢查裝置中，不能在不通過加熱使連結材料軟化的情況下更換探針。這也會導致較低的工作效率。另外，必須在通過加熱使連結材料軟化之后將探針的第二端插入通過多個定位構件，以使多根探針與探針基板臨時連結。這會使組裝過程復雜化，并且會造成工作效率的進一步降低。
[0015]鑒于以上問題而作出本發明，因此，本發明的目的在于提供一種接觸檢查裝置，該接觸檢查裝置被構造成減輕探針基板的與探針接觸的接觸部的磨損和損壞，并且利于探針的更換和組裝。
[0016]用于解決問題的方案
[0017]出于實現以上目的的目的，根據本發明的第一方面的接觸檢查裝置為對測試對象執行接觸檢查的接觸檢查裝置，該接觸檢查裝置包括:多根探針，所述多根探針均具有將與所述測試對象接觸的第一端;探針基板，所述探針基板包括與對應的所述探針的第二端接觸的接觸部;探針頭，所述多根探針延伸通過所述探針頭，并且所述探針頭能夠拆裝地安裝于所述探針基板；以及多個定位構件，所述多個定位構件設置于所述探針頭的面對所述探針基板的表面，并且所述多根探針延伸通過所述多個定位構件，每根探針均具有設置在所述第二端所在側的轉動被限制部，所述多個定位構件中的每個定位構件均具有適于與所述轉動被限制部接合的轉動限制部，其中，當所述多個定位構件相對于彼此移動時，所述轉動限制部使所述探針對齊，并且將所述探針從轉動未被限制狀態切換至轉動被限制狀態。
[0018]根據該方面，當多個定位構件相對于彼此移動時，轉動限制部使探針對齊(align)，并且將探針從轉動未被限制狀態切換至轉動被限制狀態。因而，因為防止了探針相對于探針基板的與該探針接觸的接觸部轉動，所以能夠減輕探針基板的接觸部的磨損或損壞。
[0019]另外，根據該方面，因為通過使多個定位構件相對于彼此移動能夠使探針對齊，所以能夠容易地定位探針，并且能夠改善探針的定位精度。因而，能夠減小探針基板的接觸部的尺寸，從而使探針基板的接觸部能夠應對進一步的間距減小。
[0020]另外，根據該方面，在探針頭不從探針基板脫離的情況下通過使多個定位構件相對于彼此移動，能夠使探針在轉動被限制狀態與轉動未被限制狀態之間切換。這利于探針的維修和更換以及探針頭的組裝，進而改善了維修和更換探針以及組裝探針頭的工作效率。
[0021]根據本發明的第二方面的接觸檢查裝置為根據第一方面的接觸檢查裝置，其中，所述轉動被限制部具有多邊形形狀，并且所述轉動限制部與各轉動被限制部的至少兩條邊接合，或者與各轉動被限制部的一條邊以及與該一條邊相對的一個頂點接合，以限制所述轉動被限制部的轉動。
[0022]根據該方面，轉動限制部與具有多邊形形狀的各轉動被限制部的至少兩條邊接合，或者與該各轉動被限制部的一條邊以及與該一條邊相對的一個頂點接合，以限制轉動被限制部的轉動。因而，因為防止了探針相對于探針基板的與該探針接觸的接觸部轉動，所以能夠減輕探針基板的接觸部的磨損或損壞。
[0023]根據本發明的第三方面的接觸檢查裝置為根據第一方面或第二方面的接觸檢查裝置，其中，所述多個定位構件包括第一定位構件和第二定位構件，所述第一定位構件的所述轉動限制部和所述第二定位構件的所述轉動限制部具有矩形形狀，所述轉動被限制部具有矩形形狀，并且當所述第一定位構件和所述第二定位構件沿著所述第一定位構件的所述轉動限制部和所述第二定位構件的所述轉動限制部的所述矩形形狀的對角線相對于彼此移動時，所述轉動限制部限制所述轉動被限制部的轉動。
[0024]根據該方面，多個定位構件包括第一定位構件和第二定位構件，并且第一定位構件的轉動限制部、第二定位構件的轉動限制部以及轉動被限制部均具有矩形形狀。當第一定位構件和第二定位構件沿著矩形形狀的對角線相對于彼此移動時，轉動限制部限制轉動被限制部的轉動。因而，當第一定位構件和第二定位構件沿著矩形形狀的對角線相對于彼此移動時，探針的各矩形的轉動被限制部的四條邊均被第一定位構件的轉動限制部和第二定位構件的轉動限制部限制。結果，能夠更可靠地將探針維持在轉動被限制狀態。另外，因為各轉動被限制部的四條邊均被限制，所以能夠以較高精度定位探針，從而使探針能夠應對較窄的間距。
[0025]根據第四方面的接觸檢查裝置為根據第一方面的接觸檢查裝置，其中，所述轉動被限制部和/或所述轉動限制部具有大致橢圓形形狀。
[0026]本文所使用的術語“大致橢圓形形狀”不僅指由在平面內距兩個固定點的距離之和為常數的所有點的組所構成的曲線，而且還指橫向長且具有成銳角的橫向端的橢圓，以及通過使矩形的兩相反端分別連結半圓所形成的形狀。
[0027]根據該方面，轉動限制部和/或轉動被限制部具有大致橢圓形形狀。因而，當多個定位構件相對于彼此移動時，各大致橢圓形的轉動限制部均與探針的轉動被限制部中的對應的一個轉動被限制部的一部分接觸，從而能夠使探針對齊，并且能夠將探針從轉動未被限制狀態切換至轉動被限制狀態。因而，因為防止了探針相對于探針基板的與該探針接觸的接觸部轉動，所以能夠減輕探針基板的接觸部的磨損或損壞。
[0028]根據第五方面的接觸檢查裝置為根據第一方面至第四方面中任一方面的接觸檢查裝置，其中，每根探針均包括第一接觸部、第二接觸部和彈性部，所述第一接觸部形成所述探針的所述第一端，所述