一種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀的制作方法
【專利說明】
[0001 ] 技術領域:
本發明應用于氦質譜檢漏儀的檢漏領域，是一種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀。
[0002]【背景技術】:
氦質譜檢漏儀是一種常見的分析儀器，在電力行業、航天行業、核工業等廣泛運用，是真空檢漏技術中用的最普遍的檢漏儀器。目前國際上氦質譜檢漏儀的檢漏口最高壓力不超過1500Pa，而在電廠汽輪機組的凝汽器的真空度一般在3000-15000Pa，如果凝汽器泄漏則真空度甚至更高，此時氦質譜檢漏儀則無法進行真空法檢漏，這是由氦質譜檢漏儀中的分子栗的啟動工作壓力所決定的，一般分子栗的排氣口(即前級栗)壓力小于50Pa，復合分子栗的壓力小于1500 Pa才能正常工作。因此當待檢件中真空壓力小于一定壓力時，才能開啟檢漏儀檢漏。在檢測大容器時則需要長時間的抽空或配置大抽速栗抽空，方能達到氦質譜檢漏儀的檢漏壓力，甚者被檢件真空密封性不是很好，無法達到氦質譜檢漏儀的檢漏壓力，不能實現被檢件的氦質譜檢漏，這大大限制了氦質譜檢漏儀的檢漏效率及運用范圍，需要一種可以提高氦質譜檢漏儀檢漏壓力的方法。
[0003]本發明是提供一種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀，通過采用石英膜片對氦氣的物理滲透技術，解決了氦質譜檢漏儀無法在高檢漏壓力下檢漏的難題。
[0004]
【發明內容】
:
本發明的目的是提出一種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀，從根本上解決氦質譜檢漏儀的更高檢漏壓力的需求。
[0005]—種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀，包括質譜室，所述質譜室通過真空管道依次連接有分子栗和前級栗，所述分子栗的排氣口通過電磁閥連接前級栗的進氣口，所述分子栗的排氣口還安裝真空規管，所述分子栗的精檢口、中檢口還通過真空管道連接有電磁閥四、電磁閥三，所述前級栗的進氣口還通過真空管道連接有電磁閥一，所述電磁閥一、電磁閥四、電磁閥三的另一端通過真空管道形成公共管道，所述公共管道上連接電磁閥二，其特征在于:還包括隔膜栗、截流閥座、真空電磁閥，所述節流閥座有三個接口，一個接口連接隔膜栗的進氣口，一個接口內嵌有石英膜片，并通過該接口連接分子栗的精檢口，另一個接口通過真空管道連接真空電磁閥到檢漏口，該真空管道和公共管道連通，其連通處設有真空計，連接真空計的檢漏口處安裝有被檢工件。
[0006]所述的石英膜片采用真空磁控濺射鍍膜技術制作的厚度均勻的超薄石英膜片，通過氟橡膠密封圈內嵌在截流閥座接口端，能夠實現氦氣的物理滲透而截留空氣中的其它氣流，隔膜栗抽取的空氣中的氦氣能夠通過石英膜片到達分子栗進而到達質譜室，而空氣中不易被石英膜片滲透的其它氣體隔離再在真空質譜系統外，從而大大提高檢漏壓力。
[0007]所述隔膜栗是電磁隔膜真空栗，工作時50Hz、220V直接供電啟動，抽速在1-2L/min，抽取檢漏口處的氣流，保證在高壓檢漏下的氦質譜檢漏儀檢漏的較短的響應時間。
[0008]所述真空計是皮拉尼真空規管，檢測檢漏口壓力，當壓力到達高壓力值時，開啟真空電磁閥，隔膜栗抽取的檢漏口處的氣流中的氦氣通過石英膜片滲透進入分子栗，再逆流進入質譜室，實現氦質譜檢漏儀在高壓下的檢漏，當壓力到達低壓力值時，關閉真空電磁閥，通過電磁閥四、電磁閥三和電磁閥一的結合實現氦質譜檢漏儀在低壓下的檢漏。
[0009]所述的高壓力值為1000Pa到一個標準大氣壓。
[0010]所述的高壓力值為50000Pa。
[0011]所述的低壓力值為40_1500Pa。
[0012]所述低壓力值為300Pa。
[0013]本系統在工作的時候，儀器上電，前級栗工作，電磁閥打開，待真空規管達到要求的壓力時，分子栗啟動，分子栗完成預定轉速后，質譜室中器件上電，儀器進入待機狀態。在檢漏口連接被檢工件，開始檢漏，關閉電磁閥，電磁閥一打開對被檢工件進行抽空，待真空計的壓力值達到較高壓力值10000Pa、50000Pa、一個標準大氣壓時，開啟真空電磁閥，開啟電磁閥，關閉電磁閥一，這時對被檢工件進行高壓力下檢漏;若電磁閥一繼續打開對被檢工件抽空，待真空計壓力值到1500 Pa，開啟電磁閥，這時可以完成對被檢工件粗檢;待真空計壓力值到300 Pa時，關閉電磁閥一，打開電磁閥三，這時可以完成對被檢工件中檢;待真空計壓力值到40 Pa時，關閉電磁閥三，打開電磁閥四，這時可以完成對工件精檢。
[0014]本系統可以實現高壓10000Pa、50000Pa和一個標準大氣壓的真空檢漏，低壓1500Pa、300Pa、40Pa下的檢漏，遠超出市場上氦質譜檢漏儀的最高檢漏壓力。
[0015]本發明的優點:
本發明采用真空磁控濺射鍍膜技術制作的厚度均勻的超薄石英膜片，具有附著力強，厚度均勻，不易損壞等優點，能夠實現氦氣的物理滲透而截留空氣中的其它氣流，隔膜栗抽取的空氣中的氦氣能夠通過石英膜片到達分子栗進而到達質譜室，而空氣中不易被石英膜片滲透的其它氣體隔離再在真空質譜系統外，從而大大提高檢漏壓力，實現高壓檢漏。
[0016]采用隔膜栗，增加了進入石英膜片氣流的流速，使氦質譜檢漏儀具備較短的響應時間，具有體積小成本低等優點。
[0017]采用真空電磁閥的切換，可以實現氦質譜檢漏儀各種壓力下檢漏，極大地擴展了氦質譜檢漏儀的應用范圍。
[0018]【附圖說明】:
圖1為本發明示意圖。
[0019]其中，1、隔膜栗;2、截流閥座;3、石英膜片;4、真空電磁閥；5、真空計;6、檢漏口；7、質譜室;8、分子栗;9、前級栗；10、真空規管；11、電磁閥；12、電磁閥一；13、電磁閥二； 14、電磁閥三;15、電磁閥四。
[0020]【具體實施方式】:
參見圖1:
一種能夠實現高壓檢漏的氦質譜檢漏儀，包括質譜室7，所述質譜室7通過真空管道依次連接有分子栗8和前級栗9，所述分子栗8的排氣口通過電磁閥11連接前級栗9的進氣口，所述分子栗8的排氣口還安裝真空規管10，所述分子栗8的精檢口、中檢口還通過真空管道連接有電磁閥四1