27f及27s的面對可動電極24的凸部26f及26s的相對面27a的接 近可動電極24的振動中屯、線C的側緣的Y方向的突出長度比另一個側緣的Y方向的突出長度 要長，且W相對于振動方向（X方向）具有角度α的方式傾斜。也就是說，可動電極24的凸部 26f及26s的相對面26a和固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相對面27a相互平行。由此， 可動電極24的凸部26f及26s的相對面26a的法線向相對的固定電極25f及25s的凸部27f及 27s的中屯、側傾斜。
[0078] 如上所述，可動電極的凸部的相對面26a可W與上述固定電極的凸部的相對面27a 平行。通過上述結構，抑制了凸部的相對面的電荷的不均勻并高效地產生靜電力。另外，平 行包含了具有±0.1度W下的傾斜的情況。
[0079] 固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相對面27a相對于振動方向的傾斜角α的下 限優選為0.1度，進一步優選為0.5度。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相對面27a相 對于振動方向的傾斜角α小于上述下限值的情況下，靜電力的調整功能不足，可能無法充分 抑制因可動電極24的位移而導致的驅動力的變化。固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相 對面27a相對于振動方向的傾斜角α的上限優選為15度，進一步優選為10度。在固定電極25f 及25s的凸部27f及27s的相對面27a相對于振動方向的傾斜角α超過上述上限值的情況下， 與可動電極24的凸部26f及26s的相對面26a之間的間隙變化變得過大，相反地，因可動電極 24的位移而產生的驅動力的變化可能變大。在該傾斜角α超過上述上限值的情況下，凸部 27f及27s可能會干擾可動電極24的凸部26f及26s并限制可動電極24的可動范圍。
[0080] 固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的平均長度的下限優選為化m，進 一步優選為4μπι。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的平均長度小于上述下 限值的情況下，在振動方向上能產生強靜電力的范圍變窄，驅動力及振幅可能不足。另一方 面，固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的平均長度的上限優選為20μπι，進一步 優選為10皿。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的平均長度超過上述上限值 的情況下，面積效率下降，因此振動驅動模塊的驅動力不足，振動驅動模塊可能會不必要地 大型化。
[0081] 固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的間隔（間隙）的下限優選為凸部 27f及27s的振動方向的平均長度的1/2,進一步優選為凸部27f及27s的振動方向的平均長 度的3/4。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的間隔小于上述下限值的情況 下，相鄰凸部27f及27s可能會相互干擾從而導致振動驅動模塊的驅動力及振幅不足。另一 方面，固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的間隔的上限優選為凸部27f及27s的 振動方向的平均長度的2倍，進一步優選為凸部27f及27s的振動方向的平均長度的3/2。在 固定電極25f及25s的凸部27f及27s的振動方向的間隔超過上述上限值的情況下，面積效率 下降，因此振動驅動模塊的驅動力不足，振動驅動模塊可能會不必要地大型化。
[0082] 固定電極25f及25s的凸部27f及27s的平均突出長度(Y方向的長度）的下限優選為 Ιμπι，進一步優選為2μπι。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的平均突出長度小于上述下 限值的情況下，固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的凹部在可動電極24之間形成電 場，會干擾凸部27f及27s所形成的電場，由此振動驅動模塊的驅動力及振幅可能不足。另一 方面，固定電極25f及25s的凸部27f及27s的平均突出長度的上限優選為20μπι，進一步優選 為ΙΟμπι。在固定電極25f及25s的凸部27f及27s的平均突出高度超過上述上限值的情況下， 振動驅動模塊可能會在Y方向上不必要地大型化。
[0083] 可動電極24的凸部26f及26s和上述固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振 動方向的平均重復長度的下限優選為1皿，進一步優選為化m。在可動電極24的凸部26f及 26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的平均重復長度小于上述下限值 的情況下，可能在可動電極24振動時，可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的 凸部27f及27s隔開距離，由此振動驅動模塊的驅動力及振幅不足。另一方面，可動電極24的 凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的平均重復長度的上 限優選為10皿，進一步優選為祉m。在可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸 部27f及27s的振動方向的平均重復長度超過上述上限值的情況下，振動驅動模塊可能在振 動方向上不必要地大型化。
[0084] 可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方 向的平均非重復長度的下限優選為1皿，進一步優選為2μπι。在可動電極24的凸部26f及26s 和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的平均非重復長度小于上述下限值 的情況下，可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的靜電力 的振動方向的分量變小，由此振動驅動模塊的驅動力及振幅可能不足。另一方面，可動電極 24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的平均非重復長 度的下限優選為10皿，進一步優選為8皿。在可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及 25s的凸部27f及27s之間的振動方向的平均非重復長度超過上述上限值的情況下，實質上 可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的距離變大，不能充 分發揮靜電力，振動驅動模塊的驅動力可能不足，并且振動驅動模塊可能在振動方向上不 必要地大型化。
[0085] 可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相對方向（Y 方向）的平均距離的下限優選為0.1皿，進一步優選為Uim。在可動電極24的凸部26f及26s和 固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的相對方向的平均距離小于上述下限值的情況下， 由于空氣的粘性，伴隨可動電極24的振動的空氣的剪切阻力變大，振動驅動模塊的驅動力 及振幅可能不足。另一方面，可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及 27s之間的相對方向的平均距離的上限優選為ΙΟμπι，進一步優選為扣m。在可動電極24的凸 部26f及26s和上述固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的相對方向的平均距離超過上 述上限值的情況下，可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間 的靜電力變弱，由此振動驅動模塊的驅動力及振幅可能不足。
[0086] 固定電極25f及25s的材質例如能使用娃。 <彈性體〉
[0087] 彈性體23形成為在X-Y俯視時大致呈V字形，一端與振動驅動模塊2的可動電極24 相連接，另一端固定于固定壁28,該固定壁28不動地設置于基板21。彈性體23與基板21之間 隔著間隙被固定壁28所支承。由此，彈性體23對可動電極24進行支承，W使可動電極24能在 彈性體23的彈性變形范圍內在X方向上振動。
[0088] 彈性體23的材質例如能使用娃。 用于使可動電極24在X方向上振動的驅動方法與實施方式1相同。
[0089] <振動驅動單元的制造方法〉 振動驅動單元22由如下制造方法制造得到，該制造方法包括如下工序：隔著犧牲層層 疊兩片娃基板的工序;對一個娃層進行蝕刻，W形成可動電極24、彈性體23及固定電極25f 及25s的平面形狀的工序;利用蝕刻去除犧牲層，將可動電極24及彈性體23與另一個娃層分 離的工序。
[0090] <作用〉 參照圖6及圖7,對振動驅動模塊中的上述可動電極24的凸部26f及26s和上述固定電極 25f及25s的凸部27f及27s的作用進行說明。
[0091 ] 如圖6所示，在可動電極24位于振動中屯、別寸，也就是在沒有對可動電極24和固定 電極25f及25s之間施加電壓時的配置下，若對可動電極24和固定電極25f及25s之間施加電 壓，則產生吸引可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s那樣的靜 電力。可動電極24的凸部26f及26s的相對面26a和固定電極25f及25s的凸部27f及27s的相 對面27a之間的距離d越大，靜電力越小。作用于可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f 及25s的凸部27f及27s之間的靜電力的方向根據可動電極24的凸部26f及26s和固定電極 25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的偏移(shift)而傾斜，可動電極24的凸部26f及 26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間的振動方向的重復長度越小（非重復長度越 長），靜電力的振動方向(X方向）的分量的比例越大。
[0092] 如圖7所示，若因上述靜電力而導致可動電極24在X方向上向施加有電壓的固定電 極25f及25s-側移動，則可動電極24的凸部26f及26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s 之間的振動方向的重復長度變大(非重復長度變小），因此靜電力的振動方向的分量的比例 減少。然而，可動電極24的凸部26f及26s的相對面2貼和固定電極25f及25s的凸部27f及27s 的相對面27a在X方向上具有角度α的傾斜，因此若可動電極24在振動方向上向固定電極25f 及25s-側移動，則可動電極24的凸部26f及26s的相對面26a和固定電極25f及25s的凸部 27f及27s的相對面27a之間的距離d變小。由此，可動電極24和固定電極25f及25s之間的靜 電力變大。也就是說，可動電極24的X方向的移動所產生的靜電力的X方向的分量比例的變 化由靜電力整體的大小變化來補充，由此抑制了可動電極24和固定電極25f及25s之間X方 向的靜電力的變化。
[0093] 由此，本振動驅動模塊中，若可動電極24的凸部26f及26s在振動方向上接近固定 電極25f及25s的凸部27f及27s，則可動電極24的凸部26f及26s的相對面2&1和固定電極25f 及25s的凸部27f及27s的相對面27a之間的靜電間隙減少，抑制了可動電極24的凸部26f及 26s和固定電極25f及25s的凸部27f及27s之間產生的靜電力的振動方向分量的大小變化， 因此驅動力相對于可動電極24的位移的變化較小。
[0094] <實施方式2的變形例〉 本發明的振動驅動模塊并不局限于上述實施方式2。上述實施方式中，振動驅動模塊采 用包括Ξ個振動驅動單元的結構，但振動驅動單元的數量及排列能任意地變更，振動驅動 單元的數量也可W設為1。上述實施方式2中，固定電極的凸部相對于可動電極的凸部在振 動方向上向振動中屯、C側偏移，但也可W向振動方向外側偏移。該情況下，