可測量雙側偏置敏感柵外側軸向偏導的軸向偏差六敏感柵全橋混合叉指金屬應變片的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及傳感器領域，尤其是一種金屬應變片。
【背景技術】
[0002] 金屬電阻應變片的工作原理是電阻應變效應，即金屬絲在受到應變作用時，其電 阻隨著所發生機械變形(拉伸或壓縮)的大小而發生相應的變化。電阻應變效應的理論公式 如下：
[0003]
(1)
[0004] 其中R是其電阻值，P是金屬材料電阻率，L是金屬材料長度，S為金屬材料截面積。 金屬絲在承受應變而發生機械變形的過程中，P、L、S三者都要發生變化，從而必然會引起金 屬材料電阻值的變化。當金屬材料被拉伸時，長度增加，截面積減小，電阻值增加；當受壓縮 時，長度減小，截面積增大，電阻值減小。因此，只要能測出電阻值的變化，便可知金屬絲的 應變情況。由式(1)和材料力學等相關知識可導出金屬材料電阻變化率公式
[0005]
(2)
[0006] 其中AR為電阻變動量，AL為金屬材料在拉力或者壓力作用方向上長度的變化 量，ε為同一方向上的應變常常稱為軸向應變，K為金屬材料應變靈敏度系數。
[0007] 在實際應用中，將金屬電阻應變片粘貼在傳感器彈性元件或被測機械零件的表 面。當傳感器中的彈性元件或被測機械零件受作用力產生應變時，粘貼在其上的應變片也 隨之發生相同的機械變形，引起應變片電阻發生相應的變化。這時，電阻應變片便將力學量 轉換為電阻的變化量輸出。
[0008] 但是有時我們也需要了解工件應變的偏導數，比如下面有三種場合，但不限于此 三，需要用到工件表面應變偏導數：
[0009] 第一，由于工件形狀突變處附近會出現應變集中，往往成為工件首先出現損壞之 處，監測形狀突變處附近的應變偏導數，可直觀的獲取該處應變集中程度。
[0010]第二，建筑、橋梁、機械設備中受彎件大量存在，材料力學有關知識告訴我們，彎曲 梁表面軸向應變與截面彎矩成正比，截面彎矩的軸向偏導數與截面剪應變成正比，也就是 可以通過表面軸向應變的軸向偏導數獲知截面剪應變，而該剪應變無法用應變片在工件表 面直接測量到；
[0011] 第三，應用彈性力學研究工件應變時，內部應變決定于偏微分方程，方程求解需要 邊界條件，而工件表面應變偏導數就是邊界條件之一，這是一般應變片無法提供的。
[0012] 此外，對工件的某些部位，比如軸肩、零件邊緣處等位置，由于形狀尺寸的突變，其 應變往往相應存在比較大的變化。然而，正由于形狀尺寸的突變，使得該處較難安置一般的 應變片，需要一種能測量應變片偏邊緣甚至邊緣外側位置而不是正中位置應變偏導的產 品。如此便可實現在避開較難安放應變片的目標被測點一定距離處布置應變片，而最終測 量到該目標被測點處的應變偏導。
【發明內容】
[0013] 為了克服已有的金屬應變片無法檢測應變偏導的不足，本發明提供一種既能測量 應變更能有效檢測表面應變軸向偏導的可測量雙側偏置敏感柵外側軸向偏導的軸向偏差 六敏感柵全橋混合叉指金屬應變片，特別是測量工件角落、邊緣等對應變片有尺寸限制部 位或者其他不宜布置應變片位置的軸向一階偏導。
[0014] 本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：
[0015] -種可測量雙側偏置敏感柵外側軸向偏導的軸向偏差六敏感柵全橋混合叉指金 屬應變片，包括基底，所述金屬應變片還包括六個敏感柵，每個敏感柵的兩端分別連接一根 引腳，所述基底上固定所述六個敏感柵；
[0016] 每一敏感柵包括敏感段和過渡段，所述敏感段的兩端為過渡段，所述敏感段呈細 長條形，所述過渡段呈粗短形，所述敏感段的電阻遠大于所述過渡段的電阻，相同應變狀態 下所述敏感段的電阻變化值遠大于所述過渡段的電阻變化值，所述過渡段的電阻變化值接 近于〇;
[0017] 每個敏感段的所有橫截面形心構成敏感段軸線，該敏感段軸線為一條直線段，所 述六個敏感柵中各敏感段的軸線平行并且位于同一平面中，敏感段軸線所確定平面內，沿 所述敏感段軸線方向即軸向，與軸向垂直的方向為橫向；每個敏感段上存在其兩側電阻值 相等的一個橫截面，取該截面形心位置并以該敏感段電阻值為名義質量構成所在敏感段的 名義質點，各個敏感段的名義質點共同形成的質心位置為敏感柵的中心；
[0018] 六個敏感柵中心之間在橫向上無偏差，在軸向部分存在偏差;六個敏感柵按敏感 柵中心位置的順序，沿軸向從左至右，首先是左五敏感柵和左三敏感柵，然后是中甲敏感柵 和中乙敏感柵，最后是右三敏感柵和右五敏感柵；左五敏感柵中心與左三敏感柵中心之間 距離為0,左五敏感柵中心與中甲敏感柵中心的距離為ΔΧ1，中甲敏感柵中心與中乙敏感柵 中心的距離為0,中乙敏感柵中心與右五敏感柵中心的距離為ΔΧ1，右五敏感柵中心與右三 敏感柵中心之間距離為〇;
[0019] 各敏感段軸線所確定平面上，左五敏感柵、左三敏感柵、中部中甲敏感柵與中乙敏 感柵之間互為叉指布置，中甲敏感柵、中乙敏感柵、右邊右五敏感柵與右三敏感柵之間互為 叉指布置；
[0020] 左五敏感柵、左三敏感柵、中甲敏感柵、中乙敏感柵、右三敏感柵和右五敏感柵的 敏感段總電阻呈5:3:8:8:3:5的比例關系，左五敏感柵、左三敏感柵、中甲敏感柵、中乙敏感 柵、右三敏感柵和右五敏感柵的敏感段在相同的應變下敏感段的總電阻變化值也呈5:3:8: 8:3:5的比例關系。
[0021] 據此，串聯左五敏感柵和右三敏感柵、中甲敏感柵、串聯左三敏感柵和右五敏感 柵、中乙敏感柵正好構成測量電橋的四個橋臂。
[0022] 進一步，每個敏感段的所有橫截面形狀尺寸一致，取每個敏感段的軸線中點位置 并以該敏感段電阻值為名義質量構成所在敏感段的名義質點，所述左五敏感柵、左三敏感 柵、中甲敏感柵、中乙敏感柵、右三敏感柵和右五敏感柵的敏感段總長度呈5:3:8:8:3:5的 比例關系。該方案為一種可以選擇的方案，名義質點的位置只要符合其兩側電阻值相等的 橫截面形心位置即可，也可以是其他位置。
[0023]更進一步，左五敏感柵均與右五敏感柵、右三敏感柵之間呈叉指布置，左三敏感柵 均與右五敏感柵、右三敏感柵之間呈叉指布置;也可以沒有叉指布置。所述叉指布置是指： 兩敏感柵的各敏感段軸線所在平面上，在與敏感段軸線垂直方向上兩敏感柵的敏感段錯落 分布，對在該方向上兩敏感柵之敏感段分別出現的次序和次數不做限制。
[0024]再進一步，相對中甲敏感柵和中乙敏感柵，右五敏感柵和左五敏感柵的敏感段軸 向長度可較短而橫向分布可較密。目的是減小左五敏感柵中心到應變片左側邊緣的距離以 及右五敏感柵中心到應變片右側邊緣的距離。
[0025]利用金屬材料電阻變化值與應變之間的線性關系，本應變片正如普通應變片那樣 可以用于測量應變。另一方面，依據數值微分理論中（如依馮康等編、國防工業出版社1978 年12月出版的《數值計算方法》21頁（1.4.11)-(1.4.14)式作等距插值分析)關于一階偏導 的具體計算方法，f(X，y)的X方向一階偏導數的數值計算方法如下：
[0026]
[0027]其中XI = XQ+h，X2 =:xi+