一種微電阻測量設備及測量方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種電阻測量設備，具體涉及一種用于對微小電阻進行測量的微電阻測量設備及測量方法。
【背景技術】
[0002]在電子產品領域，為了保證出廠產品的良率，在產品生產完成后，還需要對產品的電阻值進行測量。純金屬電阻值精密測量一般采用傳統的四聯回路設備進行測量，但是在測量的過程中，傳統的測量設備對測量點的位置選取不精確，探針的壓力難以控制，其可能會對測量的電阻值產生影響。由于測量產品的電阻值十分微小，只有幾毫歐或零點幾毫歐，為了提高其測量精確度，故一種微電阻測量設備及測量方法亟待提出。
【發明內容】
[0003]為了解決上述技術問題，本發明提出了一種微電阻測量設備及測量方法，該設備與方法可以快速有效對產品進行電阻值的測量，分辨出合格與不合格的產品，減少工人的操作復雜度，提高其檢測效率。
[0004]為了達到上述目的，本發明的技術方案如下:
[0005]—種電阻測量設備，電阻測量設備包括:滑動平臺、控制裝置以及設置于滑動平臺上可沿XYZ軸三個方向運動的微電阻測試計，微電阻測試計上設有一組或多組探針。
[0006]本發明一種微電阻測量設備采用滑動平臺上的微電阻測試計對產品進行測量。控制裝置控制微電阻測試計沿XY軸運動，可以準確有效地選取產品上的測量點進行測量，同時降低了工作人員的操作復雜度。而控制裝置控制微電阻測試計沿Z軸運動，可以有效控制微電阻測試計上的探針與產品測量點的壓力，防止兩者接觸不良或探針對產品壓力過大造成損傷，保證探針對產品的測量更精確。
[0007]在上述技術方案的基礎上，還可做如下改進:
[0008]作為優選的方案，在滑動平臺上設置有:Y軸水平組件，包括Υ軸滑塊、Υ軸滑軌以及Υ軸驅動裝置，Υ軸驅動裝置驅動Υ軸滑塊沿Υ軸滑軌運動；χ軸水平組件，設置于Υ軸滑塊上，包括X軸滑塊、X軸滑軌以及X軸驅動裝置，X軸驅動裝置驅動X軸滑塊沿X軸滑軌運動；ζ軸垂直組件，設置于X軸滑塊上，包括Ζ軸滑塊、Ζ軸滑軌以及Ζ軸驅動裝置，微電阻測試計設置于Ζ軸滑塊上，Ζ軸驅動裝置驅動Ζ軸滑塊沿Ζ軸滑軌運動。
[0009]采用上述優選的方案，結構簡單，成本低。
[0010]作為優選的方案，電阻測量設備還包括:設置于滑動平臺上的用于承載或運輸產品的載具。
[0011 ] 采用上述優選的方案，便于對產品進行承載或運輸。
[0012]作為優選的方案，電阻測量設備還包括溫度傳感器，溫度傳感器與控制裝置電連接。
[0013]采用上述優選的方案，溫度傳感器對微電阻測試計對產品進行測量時的環境溫度進行測量，對微電阻測試計測量的產品的電阻值進行溫度補償，消除環境溫度對產品電阻的影響，使其檢測更精確。
[0014]作為優選的方案，電阻測量設備還包括調零母板。
[0015]采用上述優選的方案，調零母板的表面鍍有貴金屬，如:金、銀。傳統的四聯回路設備，需要工作人員將每組探針進行接觸短接來實現，操作復雜，一個工作人員難以實現。而本申請采用阻值無限小的調零母板對微電阻測試計進行調零，操作更便捷。
[0016]作為優選的方案，調零母板水平設置于Z軸滑軌內部空腔中，且調零母板與母板驅動裝置連接，母板驅動裝置驅動調零母板運動。
[0017]采用上述優選的方案，降低工作人員的操作復雜度。
[0018]作為優選的方案，調零母板包括正面和背面，正面為金屬檢測面，背面上設有卡槽，卡槽內鉸接有用于支撐調零模板的支撐腳。
[0019]采用上述優選的方案，支撐腳對調零模板進行良好的支撐，保證其調零更有效。
[0020]一種微電阻測量方法，利用微電阻測量設備進行測量，微電阻測量方法具體包括以下步驟:
[0021]1)利用調零母板將每組探針進行調零；
[0022]2)將產品設置于載具上；
[0023]3)控制裝置控制微電阻測試計沿X軸和Y軸兩個方向進行運動，到達產品的上方；
[0024]4)控制裝置控制微電阻測試計沿Z軸向下運動，微電阻測試計的探針與產品的測量點接觸，得到產品的第一電阻值；
[0025]5)溫度傳感器對產品的所處溫度進行檢測，并將檢測得到的溫度信號傳遞于控制裝置；
[0026]6)控制裝置對溫度信號進行分析，并對第一電阻值進行合理補償，得到第二電阻值；
[0027]7)控制裝置對第二電阻值進行分析，判斷該產品質量是否合格；
[0028]8)重復步驟3)-步驟7)，選取產品上的不同測量點進行測量。
[0029]本發明一種微電阻測量設備其可以有效實現對產品電阻值的測量，操作便捷，測量精確。
[0030]作為優選的方案，步驟1)具體包括以下步驟:
[0031]1.1)母板驅動裝置驅動調零母板從Z軸滑軌內部空腔中伸出；
[0032]1.2)控制裝置控制微電阻測試計沿Z軸方向向下運動，微電阻測試計的每組探針與調零母板接觸；
[0033]1.3)控制裝置進行調零。
[0034]采用上述優選的方案，降低操作人員的勞動強度，檢測效率更高。
[0035]作為優選的方案，步驟1.1)還包括:母板驅動裝置驅動調零母板從Z軸滑軌內部空腔中伸出；伸出后，工作人員將調零母板背面的支撐腳轉出，對調零母板進行支撐。
[0036]采用上述優選的方案，支撐腳對調零母板進行良好的支撐，保證其調零更有效。
【附圖說明】
[0037]圖1為本發明實施例提供的微電阻測量設備的結構示意圖。
[0038]圖2為本發明實施例提供的Z軸垂直組件、微電阻測試計以及調零母板的主視圖。
[0039]圖3為本發明實施例提供的產品結構示意圖。
[0040]圖4為本發明實施例提供的產品俯視圖。
[0041]圖5為本發明實施例提供的微電阻測量設備的側視圖之一。
[0042]圖6為本發明實施例提供的微電阻測量設備的側視圖之二。
[0043]圖7為本發明實施例提供的微電阻測量設備的側視圖之三。
[0044]圖8為本發明實施例提供的調零母板背面的結構示意圖。
[0045]其中:1滑動平臺、11Y軸水平組件、111Y軸滑塊、112Y軸滑軌、12X軸水平組件、121X軸滑塊、122X軸滑軌、13Z軸垂直組件、131Z軸滑塊、132Z軸滑軌、133Z軸驅動裝置、2微電阻測試計、21探針、3載具、4調零母板、41卡槽、42支撐腳。
【具體實施方式】
[0046]下面結合附圖詳細說明本發明的優選實施方式。
[0047]為了達到本發明的目的，一種電阻測量設備及測量方法的其中一些實施例中，
[0048]如圖1和2所示，一種電阻測量設備，電阻測量設備包括:滑動平臺1、控制裝置、設置于滑動平臺1上可沿XYZ軸三個方向運動的微電阻測試計2、用于承載或運輸產品的載具3、溫度傳感器4以及調零母板5 ;微電阻測試計2上設有一組四個探針21 ;載具3設置于滑動平臺1上；溫度傳感器(圖中未示出)與控制裝置電連接；調零母板4用于對微電阻測試計2進行調零。
[0049]在滑動平臺1上設置有:Y軸水平組件11、Χ軸水平組件12以及Ζ軸垂直組件13。Υ軸水平組件11包括Υ軸滑塊111、Υ軸滑軌112以及Υ軸驅動裝置(圖中未示出)，Υ軸驅動裝置驅動Υ軸滑塊111沿Υ軸滑軌112運動。X軸水平組件12設置于Υ軸滑塊111上，包括X軸滑塊121、X軸滑軌122以及X軸驅動裝置(圖中未示出)，X軸驅動裝置驅動X軸滑塊121沿X軸滑軌122運動。Ζ軸垂直組件13設置于X軸滑塊121上，包括Ζ軸滑塊131、Ζ軸滑軌132以及Ζ軸驅動裝置133，微電阻測試計2設置于Ζ軸滑塊131上，Ζ軸驅動裝置133驅動Ζ軸滑塊131沿Ζ軸滑軌132運動。
[0050]如圖3和4所示，為