芯片測試機、芯片測試機的監控裝置及監控方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及芯片測試技術領域，具體涉及一種芯片測試機、芯片測試機的監控裝置及監控方法。
【背景技術】
[0002]半導體集成電路的制造過程，大致上可分為產品設計、晶圓制造、晶圓測試、切割、封裝及成品測試。成品測試是通過芯片測試機完成的。
[0003]現有技術的芯片測試機包括測試機臺、進料機構、出料機構以及機械臂。在芯片測試時，會將載滿芯片的測試盤送至進料機構，機械臂將芯片送入測試機臺的芯片座進行測試，測試完成后再通過機械臂將芯片通過出料機構送回測試盤。
[0004]芯片進入量產階段，就需要對成品芯片進行大批量測試，以檢驗其種類繁多的功能及參數。測試機的運轉效率，單顆芯片測試時間長短，將直接影響產能輸出，高的測試效率，同時也保證了如期交貨給客戶。為了提高產能，提高芯片測試機的運轉效率，芯片測試機需要長時間不間斷運轉，而測試機用于傳送待測芯片的機械臂的傳送定位精確度的大小，能否準確將待測芯片傳送到指定的位置坐標的測試機臺芯片座，直接影響到測試機運轉正常與否以及被測芯片測試準確率。此外，芯片測試機長時間不停的運轉，不可避免的會造成測試機機械臂位置坐標出現偏差。
[0005]現有技術通過定期的人工檢測和精度修正來保持芯片測試機的正常運轉，人工檢測的弊端是檢測不及時，只能定期維護檢修檢測無法做到定時監測監控，一旦由于檢修不及時，就會造成芯片檢測不良率增加，同時意味著一旦停機檢修，影響效率、效益。
【發明內容】
[0006]本發明提出一種芯片測試機、芯片測試機的監控裝置及監控方法，能夠實時監控機械臂的運轉異常并報警，提高芯片測試機的效率。
[0007]根據本發明的一個方面，提供一種芯片測試機的監控裝置，包括:位移檢測模塊，用于獲得所述芯片測試機的機械臂的位置坐標；主處理器模塊，接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標，并且在所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報警信息發送到上位機。
[0008]優選地，所述監控裝置還包括電源模塊，用于為所述監控裝置供電。
[0009]優選地，所述電源模塊為可充電電池。
[0010]優選地，所述位移檢測模塊包括三軸加速度計。
[0011]優選地，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標。
[0012]優選地，所述接口電路為I2C接口。
[0013]優選地，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。
[0014]根據本發明的另一方面，提供一種芯片測試機的機械臂的監控方法，包括:獲得所述機械臂的位置坐標；判斷所述機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，并在所述機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息；將所述報警信息發送到上位機。
[0015]優選地，所述機械臂的位置坐標通過三軸加速度計獲得。
[0016]優選地，所述報警信息通過WiFi單元傳輸到上位機。
[0017]根據本發明的又一個方面，提供一種芯片測試機，所述芯片測試機包括如上所述的監控裝置。
[0018]本發明的芯片測試機的監控裝置通過位移監測單元獲得機械臂的位置坐標，通過主處理器單元判斷機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，當所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息，及時通知工作人員進行停機維護，避免造成更大的經濟損失，提高了效率，延長了測試機的壽命。
【附圖說明】
[0019]通過以下參照附圖對本發明實施例的描述，本發明的上述以及其它目的、特征和優點將更為清楚，在附圖中:
[0020]圖1是根據本發明實施例的芯片測試機的監控裝置的結構框圖；
[0021]圖2是主處理器模塊的示意性結構框圖；以及
[0022]圖3是根據本發明實施例的芯片測試機的監控方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0023]以下基于實施例對本發明進行描述，但是本發明并不僅僅限于這些實施例。在下文對本發明的細節描述中，詳盡描述了一些特定的細節部分。對本領域技術人員來說沒有這些細節部分的描述也可以完全理解本發明。為了避免混淆本發明的實質，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細敘述。
[0024]此外，本領域普通技術人員應當理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。
[0025]同時，應當理解，在以下的描述中，“電路”是指由至少一個元件或子電路通過電氣連接或電磁連接構成的導電回路。當稱元件或電路“連接到”另一元件或稱元件/電路“連接在”兩個節點之間時，它可以是直接耦接或連接到另一元件或者可以存在中間元件，元件之間的連接可以是物理上的、邏輯上的、或者其結合。相反，當稱元件“直接耦接到”或“直接連接到”另一元件時，意味著兩者不存在中間元件。
[0026]除非上下文明確要求，否則整個說明書和權利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語應當解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義；也就是說，是“包括但不限于”的含義。
[0027]本發明屬于芯片成品測試應用領域，提供一種用于當前量產芯片測試的芯片測試機、芯片測試機的監控裝置及監控方法。所述監控裝置利用其內部各模塊軟硬件協作處理，監測芯片測試機的機械臂位置坐標偏移誤差，當坐標偏移誤差大于預設范圍時，通過該裝置無線報警模塊，及時遠程報警，通知值班人員，立即停機檢修故障。
[0028]參照圖1，本發明實施例的芯片測試機的監控裝置100包括:位移檢測模塊110、主處理器模塊120以及無線傳輸模塊130。
[0029]位移檢測模塊110用于實時監測機械臂的位置坐標和角度。例如位移檢測模塊110包括三軸加速度計，通過三軸加速度計實時監測機械臂的位置坐標和角度。
[0030]三軸加速度計大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產生正比于加速度的電阻、電壓和電容的變化。加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態，必須測得其三個坐標軸上的分量；另一方面，在預先不知道物體運動方向的場景下，應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號，來準確實時得到坐標信息，以便及時作出響應。本專利對于三軸加速度計的特殊應用，正是基于在預先不知道芯片測試機所偏離運動軌跡方向的場合下，利用三軸加速度計來準確得到相應空間矢量坐標的優勢特點。通過三軸加速度計，使得當測試機偏離既定軌跡時，主控模塊能夠及時作出修正措施，這也是普通二維及一維位置傳感器無法實現的。
[0031]位移檢測模塊110連接主處理器模塊120，并將所述機械臂的位置坐標和角度發送到主處理器模塊120。
[0032]主處理器模塊120用于實時接收來自位移檢測模塊110的機械臂的位置坐標和角度數據。主處理器模塊120判斷機械臂的位置坐標和角度數據是否在預定范圍內，也即判斷機械臂的位置坐標是否偏移超出預定誤差范圍。當機械臂的位置坐標和角度數據