絕緣檢測方法及絕緣檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種與基板的配線圖形的絕緣檢測相關的絕緣檢測方法及絕緣檢測裝置。并且，本發明并不限定于印刷配線基板，其可適用于例如柔性(flexible)基板、多層配線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用電極板以及半導體封裝用封裝基板或薄膜載體等各種基板中的電氣配線的檢測，在本說明書中將這些各種配線基板總稱為“基板”。
【背景技術】
[0002]以往，基板上形成的配線圖形用于向裝載在基板上的IC或半導體部件或者除此以外的電子部件收發電信號。這種配線圖形隨著近來電子部件的微細化，在更微細且更復雜地形成的同時，按更低的電阻形成。隨著所述基板的配線圖形的微細化，對檢測配線圖形的良好/不良的精密度要求變得更高。
[0003]作為檢測此種配線圖形的良好/不良的方法，存在檢測配線圖形是否具有所定的電阻值而形成的導通檢測以及檢測各個配線圖形是否未短路而形成的絕緣檢測這兩大類檢測。
[0004]尤其，所述絕緣檢測通過向一側的配線圖形施加電壓，而在另一側的配線圖形中測定流動的電流，從而算出配線圖形間的電阻值，且通過此電阻值檢測絕緣狀態。
[0005]在這種絕緣檢測中，在向配線圖形施加所定電壓(施加電壓V)之后，由于隨配線圖形間的電壓不穩定而在配線圖形間瞬間流動過大的電流，因此在配線圖形間的電壓穩定為施加電壓V且經過電流變穩的時間(所定時間)之后，進行絕緣狀態的不良判定。但，若在檢測對象的配線圖形間施加較高的直流電壓(施加電壓)，則在施加電壓后，直至所定時間經過為止，在配線圖形間可能會產生電火花(放電現象)，且據此電火花，配線圖形間的絕緣電阻值發生變化，因此存在著不能算出正確的配線圖形間的絕緣電阻值的問題。
[0006]為了改善這種問題，可利用例如專利文獻I揭示的技術。此專利文獻I揭示的技術是通過測定向配線圖形接通施加電壓的所定時間中的配線圖形間的電壓變化值且檢測出上述電火花產生時的電壓降，從而檢測電火花。例如，在專利文獻I的圖10所示的電壓變化的圖表中，示出了在圖表中的時間t21和時間t22產生電火花。如此，在檢測電壓變化的同時，通過檢測(圖表中的A和B之處)因電火花引起的電壓降(算出「dv/dt」而獲得的值)來檢測電火花。
[0007]由于上述基板進行量產，因此如何對大量的基板有效率地實施并完成檢測是一個重要的問題。鑒于此，需要可靠且有效地實施絕緣檢測的方法。
[0008]【現有技術文獻】
[0009]【專利文獻I】
[0010]日本專利第3546046號公報
【發明內容】
[0011]本發明提供了一種在發現如上所述的電火花(spark)現象(電火花不良)的同時有效地實施絕緣檢測的方法及絕緣檢測裝置。
[0012]根據權利要求1的發明，提供了一種絕緣檢測裝置，針對形成有多個配線圖形的基板，從所述的多個配線圖形中選擇成為檢測對象的配線圖形，且進行上述配線圖形的絕緣檢測，所述絕緣檢測裝置包括:選出設備，從所述多個配線圖形中選出成為檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，同時選出除所述第一檢測部以外的成為檢測對象的配線圖形作為第二檢測部；電源設備，為了在所述第一檢測部與所述第二檢測部之間設定所定的電位差，分別與所述第一檢測部和第二檢測部電連接，進而供給電力；電壓檢測設備，檢測所述第一檢測部與第二檢測部之間的電位差；以及判定設備，利用所述電壓檢測設備檢測的電壓值，根據比較結果，將所述基板判定為良品或不良品，其中，所述電源設備包括控制來自所述電源設備的電流的電流控制部，所述電流控制部進行控制，以使第一電流大于第二電流，至所述第一檢測部與第二檢測部之間的所述電位差達到所述所定的電位差為止供給所述第一電流，且當達到了所述所定的電位差時供給所述第二電流。
[0013]根據權利要求2的發明，提供了一種絕緣檢測裝置，所述電流控制部將所述第一電流和所述第二電流控制在OmA至30mA的范圍。
[0014]根據權利要求3的發明，提供了一種絕緣檢測裝置，所述電流控制部將所述第一電流控制為所述第二電流的五倍至三十倍。
[0015]根據權利要求4的發明，提供了一種絕緣檢測方法，進行從基板上形成的多個配線圖形中選擇成為檢測對象的配線圖形的絕緣檢測，所述絕緣檢測方法包括如下步驟:從所述多個配線圖形中選出成為檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，且選出除所述第一檢測部以外的成為檢測對象的配線圖形作為第二檢測部；供給電力，以達到所述檢測對象間用于進行絕緣檢測的所定的電位差；檢測向所述檢測對象間供給所述電力時的所述檢測對象間的電位差；以所述檢測的所述電位差為基礎，判定所述檢測對象間的絕緣狀態；以及在所述檢測對象間設定所述電位差時，進行控制，以使達到所述電位差為止供給的電流值大于已達到所述電位差后進行供給的電流值。
[0016]根據權利要求1和4記載的發明，在向設定于第一檢測部和第二檢測部之間的檢測對象間賦予用于絕緣檢測的所定電位差時，由于通過控制使此檢測對象間達到所定的電位差為止的第一電流大于此檢測對象間達到所定電位差之后供給的第二電流，因此在為使檢測對象間達到所定電位差而供給電流的期間，根據大于第二電流的第一電流來賦予電位差，從而可縮短充電時間。此外，由于在檢測對象間設定所定的電位差后供給小于第一電流的第二電流，因此可降低供給電流的影響，進而進行電火花檢測。
[0017]根據權利要求2記載的發明，由于第一電流和第二電流設定為O至30mA的范圍內，因此可進行所希望的絕緣檢測。
[0018]根據權利要求3記載的發明，由于第一電流控制為第二電流的五倍至三十倍，因此可縮短向檢測對象間賦予所定電位差的時間，且針對賦予了電位差的檢測對象間，可具有高的電火花檢測能力。
【附圖說明】
[0019]圖1是示出根據本發明的絕緣檢測裝置的一個實施形態的概略構成圖。
[0020]圖2是示出根據本發明的絕緣檢測裝置的動作的一個實施形態的示圖。
[0021]圖3是示出根據本發明的檢測對象間的電壓變化的圖表。
[0022][附圖標記說明]
[0023]1:絕緣檢測裝置
[0024]2:電源設備
[0025]3:電壓檢測設備
[0026]5:電流控制部
[0027]6:控制設備
【具體實施方式】
[0028]現針對用于實施本發明的具體內容進行說明。
[0029]本發明涉及一種對在基板上形成的多個配線圖形進行絕緣檢測時所產生的電火花不良，能有效且不使檢測時間變冗長而進行檢測的絕緣檢測裝置及其方法。
[0030]圖1是本發明絕緣檢測裝置的一個實施形態的概略構成圖。
[0031]根據本發明的一個實施形態的絕緣檢測裝置I包括電源設備2、電壓檢測設備3、電流檢測設備4、電流控制部5、控制設備6、切換設備7、電流供給端子8、電壓檢測端子9和顯示設備10。在圖1的實施形態中，示出了本發明的絕緣檢測裝置1、成為檢測對象的基板CB、將絕緣檢測裝置I和基板CB相電連接的接觸探針CP。
[0032]圖1所示的基板CB具有四個配線圖形Pl至P4。此基板CB具有的配線圖形根據所設計的基板CB適當地設定其數量及形狀。圖1的基板CB雖然示出了一字狀的配線圖形PU T字狀的配線圖形P2以及十字狀的配線圖形P3和P4，但對此并不進行特別的限定。
[0033]圖1示出了與各配線圖形PI至P4電接觸的四個接觸探針CP。此接觸探針CP能使絕緣檢測裝置I和基板CB相電導通連接。且此接觸探針CP的配置位置或配置數量根據基板CB上形成的配線圖形適當地設定。
[0034]在圖1的實施形態中，雖然將后述的上流側和下流側電流供給端子以及上流側和下流側電壓檢測端子，通過一個接觸探針CP來可導通地連接到配線圖形上設定的所定檢測位置，但也可以將電流供給端子8和電壓檢測端子9分別通過不同的兩個接觸探針CP來可導通地連接到所定的檢測位置。
[0035]電源設備2向成為檢測對象的配線圖形和其他配線圖形之間(以下稱，檢測對象間)施加用于絕緣檢測的所定電位差(檢測電壓)。此電源設備2可使用直流電源或交流電源，并不進行特別的限定，只要能在檢測對象間施加所定的電位差則均可使用。
[0036]此電源設備2施加的電位差雖然根據使用者可適當地進行設定，但在基板的絕緣檢測時一般設定為200V至250V。
[0037]電流控制部5控制從電源設備2供給的電流，進而向檢測對象間進行供給。此電流控制部5能控制電流量的增減，且根據來自后述的控制設備6的控制信號進行控制。此電流控制部5進行的電流控制具體來說具有針對從電源設備2供給的電流設