彎曲試驗方法、片狀件的制造方法、彎曲試驗裝置、脆性片、帶元件的脆性片以及電子器件的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及彎曲試驗方法、片狀件的制造方法、彎曲試驗裝置、脆性片、帶元件的 脆性片以及電子器件。
【背景技術】
[0002] 作為圖像顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的基板，使用玻璃基 板。近年來，作為玻璃基板，開發出了一種具有撓性的玻璃片。
[0003] 作為用于檢查玻璃片的耐久性的試驗方法，提出了一種一邊利用輥輸送玻璃片一 邊使玻璃片沿著輥的外周彎曲的方法（參照例如專利文獻1)。并且，作為玻璃片的試驗方 法，還已知有使夾持已彎曲的玻璃片的平行的兩塊板之間的間隔逐漸縮小的方法（參照例 如非專利文獻1)。
[0004] 現有摶術f獻
[0005] 專利f獻
[0006] 專利文獻1 :日本特表2010 - 506168號公報
[0007] 非專利f獻
[0008] 非專利文獻 I :S. T. Gulati (其他 4 名），"Two Point Bending of Thin Glass Substrate'，，SID Symposium Digest of Technical Papers，2011 年 6 月，第 42 卷， p. 652-654
【發明內容】
[0009] 發明要解決的問題
[0010] 在使含有玻璃等脆性材料的片狀件沿著輥彎曲的情況下，以片狀件緊抱輥的方式 對片狀件施加張力。此外，在輥上存在異物等時，應力集中于片狀件的局部。因此，有時設 想外的力會施加于片狀件，可靠性降低。
[0011] 此外，在使夾持片狀件的平行的兩塊板之間的間隔逐漸縮小的情況下，片狀件的 拉伸應力的發生位置不發生變化。因此，若在拉伸應力的發生位置沒有成為裂紋的起點的 缺陷（傷、附著物、內包物等），則破壞強度的檢測結果偏高，可靠性降低。
[0012] 本發明是鑒于所述問題而做成的，其目的在于提供一種可靠性較高的彎曲試驗方 法等。
[0013] 用于解決問題的方案
[0014] 為了解決所述問題，根據本發明的一技術方案提供一種彎曲試驗方法，
[0015] 將含有脆性材料的片狀件分別支承于第1支承盤和第2支承盤，
[0016] 在維持彼此平行的所述第1支承盤的支承面與所述第2支承盤的支承面之間的間 隔的狀態下，使所述第2支承盤的位置相對于所述第1支承盤移動，
[0017] 檢查在所述第1支承盤與所述第2支承盤之間彎曲的所述片狀件是否形成有裂 紋。
[0018] 發明的效果
[0019] 采用本發明的一技術方案，提供一種可靠性較高的彎曲試驗方法。
【附圖說明】
[0020] 圖1是表示本發明的一實施方式的彎曲試驗裝置的試驗的樣子的圖。
[0021] 圖2是圖1中的彎曲試驗裝置的俯視圖。
[0022] 圖3是表示圖1中的彎曲試驗裝置的組裝片狀件時的狀態的圖。
[0023] 圖4是表示本發明的一實施方式的合成片的圖。
[0024] 圖5是表不本發明的一實施方式的液晶面板的圖。
[0025] 圖6是表不本發明的一實施方式的有機EL面板的圖。
[0026] 圖7是表示本發明的一實施方式的太陽能電池的圖。
[0027] 圖8是表示本發明的一實施方式的薄膜二次電池的圖。
[0028] 圖9是表不本發明的一實施方式的電子紙的圖。
[0029] 圖10是表示變形例的彎曲試驗裝置的組裝片狀件時的狀態的圖。
[0030] 圖11是從上方觀察圖10中的下側支承盤而得到的圖。
【具體實施方式】
[0031] 以下，參照【附圖說明】用于實施本發明的方式。在各附圖中，對同一結構或對應的結 構標注同一附圖標記或對應的附圖標記，并省略說明。
[0032] 圖1是表示本發明的一實施方式的彎曲試驗裝置的試驗的樣子的圖。在圖1中， 在實線所示的狀態下，在使下側支承盤相對于基部向圖中左方移動時，成為單點劃線所示 的狀態。圖2是圖1中的彎曲試驗裝置的俯視圖。圖3是表示圖1中的彎曲試驗裝置的組 裝片狀件時的狀態的圖。在圖1和圖3中，剖切移動部的局部來進行圖示。
[0033] 彎曲試驗裝置10是用于使含有脆性材料的片狀件彎曲的裝置。作為片狀件，使用 例如玻璃片2。通過檢查在彎曲的玻璃片2是否形成有裂紋，來確認玻璃片2的耐久性。
[0034] 玻璃片2可以被用作圖像顯示面板、太陽能電池、薄膜二次電池等電子器件的基 板，也可以在玻璃片2上形成各種元件。
[0035] 玻璃片2的玻璃的種類可以是多種多樣，例如可以是鈉鈣玻璃、無堿玻璃等。
[0036] 玻璃片2的厚度為例如200 μ m以下。在玻璃片2的厚度為200 μ m以下的情況下， 能夠將玻璃片2卷繞成螺旋狀而制作玻璃卷。玻璃片2的厚度優選為150 μ m以下，更優選 為100 μπι以下，特別優選為50 μπι以下。此外，玻璃片2的厚度優選為0. 1 μπι以上，更優 選為1 μπι以上，特別優選為5 μπι以上。
[0037] 在玻璃片2為矩形的情況下，也可以是，長邊的長度為150mm~3050mm、短邊的長 度為 100mm ~2850mm。
[0038] 例如如圖1~圖3所示，彎曲試驗裝置10包括：基部12 ;作為第1支承盤的上側 支承盤14 ;作為第2支承盤的下側支承盤16 ;移動部20 ;調整部30 ;檢測部40 ;支承部50 ; 以及載置部60。
[0039] 上側支承盤14用于支承玻璃片2。上側支承盤14的支承面14a可以是朝下的平 坦的面，例如可以是利用帶等固定玻璃片2的一端部的面。上側支承盤14的與支承面14a 相反的一側的面既可以平坦也可以不平坦。
[0040] 為了防止損傷玻璃片2,上側支承盤14包括金屬制的主體和用于與玻璃片2接觸 的樹脂層較好。樹脂層以與金屬制的主體分離自如的方式安裝于該金屬制的主體較好。在 玻璃片2的碎片等插入樹脂層的情況下，能夠更換樹脂層。
[0041] 下側支承盤16與上側支承盤14同樣用于支承玻璃片2。下側支承盤16的支承 面16a可以是朝上的平坦的面，例如可以是供玻璃片2的另一端部載置的載置面。玻璃片 2的另一端部在重力作用下被推壓于下側支承盤16的支承面16a，在摩擦力的作用下被固 定。為了防止玻璃片2發生位置偏移，在下側支承盤16的支承面16a設置用于與玻璃片2 的另一端部抵接的止擋件17較好。下側支承盤16的與支承面16a相反的一側的面既可以 平坦也可以不平坦。
[0042] 為了防止損傷玻璃片2,下側支承盤16包括金屬制的主體和用于與玻璃片2接觸 的樹脂層較好。樹脂層以與金屬制的主體分離自如的方式安裝于該金屬制的主體較好。在 玻璃片2的碎片等插入樹脂層的情況下，能夠更換樹脂層。
[0043] 移動部20用于以維持彼此平行的上側支承盤14的支承面14a與下側支承盤16 的支承面16a之間的間隔D的狀態使下側支承盤16的位置相對于上側支承盤14移動。移 動部20使下側支承盤16相對于基部12平行地移動，以使下側支承盤16的位置相對于上 側支承盤14移動。
[0044] 另外，本實施方式的移動部20使下側支承盤16相對于基部12平行地移動，但也 可以使上側支承盤14相對于基部12平行地移動，還可以使上側支承盤14和下側支承盤16 這兩者相對于基部12平行地移動。在任一情況下，下側支承盤16的位置均相對于上側支 承盤14移動。
[0045] 移動部20包括例如升降框架21、馬達22、滾珠絲杠機構23、滑塊24等。升降框架 21相對于基部12移動自如。馬達22例如可以是電動伺服馬達，安裝于升降框架21。滾珠 絲杠機構23用于將馬達22的旋轉運動轉換成直線運動并傳遞至滑塊24。滑塊24與下側 支承盤16連結，并和下側支承盤16 -起相對于基部12平行地移動。馬達22在包括微型 計算機等的控制器的控制下使滾珠絲杠軸23a旋轉，使滾珠絲杠螺母23b移動。隨著滾珠 絲杠螺母23b的移動，滑塊24和下側支承盤16相對于基部12平行地移動。
[0046] 另外，本實施方式的馬達22為旋轉馬達，但也可以是直線馬達。直線馬達包括定 子和可動元件，在可動元件安裝下側支承盤16。在作用在定子與可動元件之間的磁力的作 用下，可動元件進行直線運動，而使下側支承盤16移動。
[0047] 調整部30用于調整彼此平行的上側支承盤14的支承面14a與下側支承盤16的 支承面16a之間的間隔D。調整部30可以使下側支承盤16相對于基部12升降，以調整間 隔D0
[0048] 另外，本實施方式的調整部30使下側支承盤16相對于基部12升降，但也可以使 上側支承盤14相對于基部12升降，還可以使下側支承盤16和上側支承盤14這兩者相對 于基部12升降。在任一情況下，均能夠調整上側支承盤14與下側支承盤16之間的間隔D。
[0049] 調整部30包括例如菱形架伸縮式千斤頂。調整部30配置在移動部20 (詳細而言 為升降框架21)與基部12之間，用于使移動部20相對于基部12升降。隨著移動部20的 升降，下側支承盤16進行升降，從而能夠調整下側支承盤16與上側支承盤14之間的間隔。
[0050] 其中，本實施方式的調整部30包括菱形架伸縮式千斤頂，通過手動使調整部30工 作，但也可以將調整部30構成為與移動部20同樣，也可以包括馬達等。調整部的馬達在控 制器的控制下工作。
[0051] 檢測部40包括用于檢測在玻璃片2形成裂紋時產生的彈性波（例如AE (Acoustic Emission)波）的傳感器（例如AE傳感器）。確認在玻璃片2被上側支