全自動ic電信號測試裝置及測試方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體器件測試領域，特別地涉及一種全自動IC電信號測試裝置以及測試方法。
【背景技術】
[0002]眾所周知，波形處理裝置包括根據數字控制信號使測試信號延遲的可變延遲模塊。跳躍施加控制模塊包括產生隨機數據的隨機數數據產生器以及產生正弦波數據的正弦波產生器。而且，跳躍施加控制模塊根據自隨機數數據產生器及正弦波產生器輸出的數據，輸出表示隨機跳躍的數字控制信號及表示正弦波跳躍的數字控制信號。可以將施加了隨機跳躍或正弦波跳躍的測試信號賦予IC器件，以對該IC器件的跳躍性能進行測試。
[0003]然而，對于在器件之間傳輸的傳輸信號所加的跳躍，眾所周知的是由傳輸線路損耗產生的跳躍以及由符號間的干擾所產生的跳躍等。較理想的是，電信號測試裝置可以對器件輸入施加了由傳輸線路損耗等引起的跳躍的測試信號，并對該器件的跳躍性能進行測試。然而存在如下的問題:由傳輸線路損耗引起的跳躍的大小會因在器件之間傳輸的傳輸信號的波形圖像而變得不同。
[0004]因此，本說明書中所包含的發明一個方面的目的在于提供一種能夠解決上述技術問題的全自動IC電信號測試裝置以及測試方法。該目的由權利要求書中的獨立權利要求所述的特征組合來實現。并且，從屬權利要求規定了本發明的更為有利的具體例。
【發明內容】
[0005]為了解決上述問題，本發明的目的之一是提供一種全自動IC電信號測試裝置，其是對IC器件進行測試的全自動IC電信號測試裝置，包括:圖像生成模塊，產生用于規定應供給至IC器件的測試信號的測試圖像；時序信號生成模塊，產生表示將測試信號供給至IC器件的時序的時序信號；濾波模塊，對測試圖像進行濾波，輸出表示與測試圖像相對應控制信號；波動處理模塊，根據控制信號而使時序信號延遲，借此將跳躍施加至時序信號；以及波形圖，以施加了跳躍的時序信號為基準，生成已形成了測試圖像的測試信號。
[0006]本發明目的之一的技術方案通過以下內容來實現，所述全自動IC電信號測試裝置包括:信號輸出模塊，將測試信號輸出至上述IC器件；信號輸入模塊，輸入根據測試信號而自IC器件輸出的輸出信號；圖像生成模塊，產生用于規定應自IC器件輸出的輸出信號的預期值圖像；時序信號生成模塊，產生表示對預期值圖像與輸出信號進行比較的時序的選通信號；濾波模塊，對預期值圖像進行濾波，輸出表示與預期值圖像相對應控制信號；波動處理模塊，根據控制信號而使選通信號延遲，以此使跳躍施加至選通信號；以及比較模塊，以施加了跳躍的選通信號的時序，對輸出信號與預期值圖像進行比較。
[0007]另外，本發明的目的之二是提供一種測試方法，其是對IC器件進行測試的測試方法，包括:產生測試圖像的階段，該測試圖像用于規定應供給至IC器件的測試信號；產生時序信號的階段，該時序信號表示將測試信號供給至IC器件的時序；對測試圖像進行濾波，并輸出表示與測試圖像相對應控制信號的階段；根據控制信號而使時序信號延遲，借此來將跳躍施加至時序信號的階段；以及以施加了跳躍的時序信號為基準，生成已形成了測試圖像的測試信號的階段。
[0008]本發明目的之二的技術方案通過以下內容來實現，所述IC器件進行測試的測試方法，包括:將測試信號輸出至IC器件的階段；輸入輸出信號的階段，該輸出信號是根據測試信號而自IC器件輸出的信號；產生預期值圖像的階段，該預期值圖像用于規定應自IC器件輸出的輸出信號；產生選通信號的階段，該選通信號表示對預期值圖像與輸出信號進行比較的時序；對預期值圖像進行濾波，并輸出表示與預期值圖像相對應控制信號的階段；根據控制信號而延遲選通信號，以此使跳躍施加至選通信號的階段；以及以施加了跳躍的選通信號的時序，對輸出信號與預期值圖像進行比較的階段。
[0009]上述發明概要并未列舉出本發明的所有必要特征，這些特征群的次組合也可以成為發明。
【附圖說明】
[0010]圖1與IC器件100 —起表示本發明的實施方式涉及的全自動IC電信號測試裝置20的構成。
[0011]圖2表示本發明的實施方式的跳躍控制模塊26以及波動處理模塊28的構成。
[0012]圖3表示本發明的實施方式的可變延遲模塊42的構成的一例。
[0013]圖4表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率高的信號波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率高的信號波形。
[0014]圖5表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率低的信號波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率低的信號的波形。
[0015]圖6表示由本發明的實施方式涉及的任意波形產生模塊58生成的顯示正弦波跳躍的任意波形跳躍信號的產生概率。
[0016]圖7表示本發明的實施方式的概率波動模塊60的構成的一例。
[0017]圖8表示由本發明的實施方式的概率波動模塊60生成的隨機跳躍信號的產生概率。
[0018]圖9表示將顯示正弦波跳躍的任意波形跳躍信號與隨機跳躍信號相加所得的跳躍信號的產生概率。
[0019]圖10與IC器件100 —起表示本發明的實施方式的第I變形例的全自動IC電信號測試裝置20的構成。
[0020]圖11表示本發明的實施方式涉及的第2變形例的時序信號生成模塊24的構成與跳躍控制模塊26。
[0021]附圖標記說明:20:全自動IC電信號測試裝置，22:圖像生成模塊，24:時序信號生成模塊，26:跳躍控制模塊，28:波動處理模塊，30:波形圖，32、44:信號輸出模塊，34、40:信號輸入模塊，36:比較模塊，42:可變延遲模塊，56:濾波模塊，58:任意波形產生模塊，60:概率波動模塊，62:AD轉換器，64、302:求和模塊,66:增益控制模塊，68:施加控制模塊，70:外模塊時鐘輸入模塊，72:內模塊時鐘產生模塊，74:時鐘選擇模塊，100:1C器件，200:延遲元件，202:選擇器，204:選擇器控制模塊，300:LFSR，304:求差模塊，306:概率輸出模塊，310:移位寄存器，402:第I相加器，404:第2相加器，406:累加模塊，408:鎖存器，410:第3相加器，412:粗延遲電路，414:微小延遲電路，416:跳躍施加切換模塊。
【具體實施方式】
[0022]下面根據發明的實施方式來對本發明進行說明，但以下的實施方式并不對申請專利范圍的發明進行限定，且在實施方式中所說明的特征的組合，并非全模塊是發明解決手段中所必需的。
[0023]圖1表示本發明的實施方式的全自動IC電信號測試裝置20的構成與IC器件100。全自動IC電信號測試裝置20將施加了跳躍的測試信號輸出至IC器件100，并根據該測試信號對自IC器件100輸出的輸出信號與預期值進行比較，借此來對IC器件100進行測試。全自動IC電信號測試裝置20包括圖像生成模塊22、時序信號生成模塊24、跳躍控制模塊26、波動處理模塊28、波形圖30、信號輸出模塊32、信號輸入模塊34以及比較模塊36。
[0024]圖像生成模塊22產生用于規定應供給至IC器件100的測試信號的測試圖像。作為圖像生成模塊22的一例，可以產生用于規定應供給至IC器件100的測試信號的波形的測試圖像。更具體而言，作為圖像生成模塊22的一例，可以在每個規定的測試周期中產生一種測試圖像，該測試圖像用于指定測試信號的上升邊緣距離基準時序的延遲量以及測試信號的下降邊緣距離基準時序的延遲量。此外，圖像生成模塊22產生規定一種輸出信號的預期值圖像，該輸出信號應根據測試信號的供給而自IC器件100輸出。例如，圖像生成模塊22可以產生用于規定應該從IC器件100輸出的輸出信號的邏輯值的預期值圖像。
[0025]時序信號生成模塊24產生時序信號，該時序信號表示將測試信號供給至IC器件100的時序。作為一例，時序信號生成模塊24可以產生表示測試周期中的基準時序的時序信號。此外，時序信號生成模塊24產生選通信號，該選通信號表示對預期值圖像與輸出信號進行比較的時序。
[0026]跳躍控制模塊26輸出控制信號，該控制信號表示應施加至測試信號的跳躍。作為一例，跳躍控制模塊26可以輸出數字值來作為控制信號，該數字值表示應施加至測試信號的跳躍的大小。波動處理模塊28根據控制信號而使時序信號延遲，借此來將跳躍施加至時序信號。作為波動處理模塊28的一例，可以在每個測試周期中，使由時序信號生成模塊24產生的時序信號延遲由控制信號表示的值。接著，波動處理模塊28將施加了跳躍的時序信號供給至波形圖30。
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