梁部14相對的部分，以圓弧狀凹陷，梁部14和錘部13在靜止狀態下隔開規定間 隔。另外，固定部12的與梁部14的側面相對的面，即，固定部12的朝向X軸負方向側的面 上，與梁部14相對的部分，也以圓弧狀凹陷，梁部14和固定部12在靜止狀態下隔開規定間 隔。
[0045] 圖2是梁部14的平面圖。
[0046] 對梁部14進一步進行詳細說明，梁部14包括梁中央部21、固定部側梁端部22、以 及錘部側梁端部23。
[0047] 固定部側梁端部22是梁部14的Y軸負方向側的端部附近的部分，經由連接部12B 連接固定部12。固定部側梁端部22和連接部12B在沿著Z軸的板厚方向上的尺寸一致。 錘部側梁端部23是梁部14的Y軸正方向側的端部附近的部分，經由連接部13B連接錘部 13。錘部側梁端部23和連接部13B在沿著Z軸的板厚方向上的尺寸一致。梁中央部21連 接在固定部側梁端部22和錘部側梁端部23之間，包括平板部24、板厚方向凸部25A、25B、 25C、25D、26。
[0048] 平板部24由所述的SOI層IlA構成，是將沿著Y軸的方向設為延伸方向，沿著X 軸的方向設為寬度方向，沿著Z軸的方向設為板厚方向的平板狀。平板部24在X-Y面中， 設置在梁中央部21的幾乎整面上。平板部24的Y軸負方向側的端部與固定部側梁端部22 連接，Y軸正方向側的端部與錘部側梁端部23連接。
[0049] 板厚方向凸部25A、25B、25C、25D、26由所述的基層IlB構成，在X-Y面中僅設置在 梁中央部21的規定的部分上。板厚方向凸部26是將沿著Y軸的方向作為延伸方向，沿著X 軸的方向作為寬度方向，沿著Z軸的方向作為板厚方向的長方體，被設置成從平板部24的 Z軸負方向的面向Z軸負方向側突出。板厚方向凸部26通過梁部14在X-Y面中的中心位 置，在平板部24的Z軸負方向側的面的X軸方向的中央，沿著Y軸設置。板厚方向凸部26 的Y軸負方向側的端部與固定部側梁端部22連接，Y軸正方向側的端部與錘部側梁端部23 連接。
[0050] 板厚方向凸部25A~2?是將沿著Y軸的方向作為延伸方向，沿著X軸的方向作 為寬度方向，沿著Z軸的方向作為板厚方向的長方體，設置成從平板部24的Z軸負方向的 面向Z軸負方向側突出。
[0051] 板厚方向凸部25A在梁部14的X軸正方向的端部沿著Y軸設置，Y軸負方向側的 端部與固定部側梁端部22連接。板厚方向凸部25B在梁部14的X軸正方向的端部沿著Y 軸設置，Y軸正方向側的端部與錘部側梁端部23連接。板厚方向凸部25A的Y軸正方向側 的端部，與板厚方向凸部25B的Y軸負方向側端部，在梁部14的X軸正方向的端部中，以沿 著Y軸隔開間隔的狀態相對。
[0052] 板厚方向凸部25C在梁部14的X軸負方向側的一端附近沿著Y軸設置，Y軸負方 向側的端部與固定部側梁端部22連接。板厚方向凸部2?在梁部14的X軸負方向側的一 端附近沿著Y軸設置，Y軸正方向側的端部與錘部側梁端部23連接。板厚方向凸部25C的 Y軸正方向側的端部，與板厚方向凸部2^)的Y軸負方向側的端部，在梁部14的X軸負方向 側的一端附近，以沿著Y軸隔著間隔的狀態相對。
[0053] 另外，通過將SOI基板用于基板部11，容易形成這樣形狀的梁部14。具體而言，將 處于SOI基板的SOI層IlA和基層IlB之間設置的絕緣體層用作為蝕刻阻止層，通過實施 對SOI層IlA進行蝕刻的工序、反轉SOI基板的工序、對基層IlB進行蝕刻的工序，能以較 少的工序形成梁部14。
[0054] 這樣，梁中央部21由于構成為包括平板部24,因此與固定部側梁端部22和錘部側 梁端部23、連接部12B、13B相比，梁中央部21在平板面內沿著垂直于延伸方向的方向即X 軸方向的彎曲剛性變得充分低，與固定部側梁端部22和錘部側梁端部23、連接部12B、13B 相比，彎曲和應力更集中。即，在固定部側梁端部22和錘部側梁端部23,連接部12B、13B， 幾乎沒有產生向Y軸方向彎曲的彎曲，僅在梁中央部21產生向Y軸方向彎曲的彎曲。
[0055] 另外，梁中央部21構成為包括板厚方向凸部25A~2?、26,因此在與板厚方向凸 部25Α~25D、26在Z軸方向上重疊的平板部24的區域中剛性變高，彎曲和應力幾乎不發 生作用。并且，在被板厚方向凸部25A和板厚方向凸部25B從Y軸方向包夾的區域，以及在 被板厚方向凸部25C和板厚方向凸部2?從Y軸方向包夾的區域中，彎曲或應力容易集中。
[0056] 另外，平板部24包括貫通孔27A、27B、27C、27D、寬度方向凸部28A、28B、以及寬度 方向凹部 29A、29B、29C、29D。
[0057] 貫通孔27A~27D是利用對所述的SOI層IlA進行蝕刻形成的，分別沿著Z軸貫 通平板部24,在平板部24的Z軸正方向側的面和Z軸負方向側的面上開口。貫通孔27A~ 27D分別將Y軸方向作為短邊方向，將X軸方向作為長邊方向。
[0058] 貫通孔27A被設置成從與所述的板厚方向凸部25A的Y軸正方向側的端部重疊的 位置開始，向X軸負方向側延伸。貫通孔27B被設置成從與所述的板厚方向凸部25B的Y 軸負方向側的端部重疊的位置開始，向X軸負方向側延伸。貫通孔27A的Y軸正方向側的 一端和貫通孔27B的Y軸負方向側的一端被設置成在Y軸上的位置遠離，在X軸上的位置 一致。
[0059] 貫通孔27C被設置成從與所述的板厚方向凸部25C的Y軸正方向側的端部重疊的 位置開始，向X軸正方向側延伸。貫通孔27D被設置成從與所述的板厚方向凸部25D的Y 軸負方向側的端部重疊的位置開始，向X軸正方向側延伸。貫通孔27C的Y軸正方向側的 一端和貫通孔27D的Y軸負方向側的一端被設置成在Y軸上的位置遠離，在X軸上的位置 一致。
[0060] 另外，貫通孔27A的X軸負方向側的一端和貫通孔27C的X軸正方向側的一端被 設置成在X軸上的位置遠離，在Y軸上的位置一致。另外，貫通孔27B的X軸負方向側的一 端和貫通孔27D的X軸正方向側的一端也被設置成在X軸上的位置遠離，在Y軸上的位置 一致。
[0061] 寬度方向凸部28A設置在梁部14的中心位置的X軸正方向側，從平板部24的X 軸正方向側的側面向X軸正方向側突出。寬度方向凹部29A被設置成與寬度方向凸部28A 的Y軸負方向側相鄰，從平板部24的X軸正方向側的側面向X軸負方向側凹陷。寬度方向 凹部29B被設置成與寬度方向凸部28A的Y軸正方向側相鄰，從平板部24的X軸正方向側 的側面向X軸負方向側凹陷。即，寬度方向凸部28A設置在寬度方向凹部29A和寬度方向 凹部29B之間。
[0062] 寬度方向凸部28B設置在梁部14的中心位置的X軸負方向側，從平板部24的X 軸負方向側的側面向X軸負方向側突出。寬度方向凹部29C被設置成與寬度方向凸部28B 的Y軸負方向側相鄰，從平板部24的X軸負方向側的側面向X軸正方向側凹陷。寬度方向 凹部29D被設置成與寬度方向凸部28B的Y軸正方向側相鄰，從平板部24的X軸負方向側 的側面向X軸正方向側凹陷。即，寬度方向凸部28B設置在寬度方向凹部29C和寬度方向 凹部29D之間。
[0063] 寬度方向凹部29A的X軸負方向側的一端和貫通孔27A的X軸正方向側的一端被