用于檢測基板的邊緣的設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種用于檢測基板的邊緣部分的設備，更具體而言，涉及一種用于檢測基板的邊緣部分的設備，能夠檢測基板的邊緣部分的缺陷或倒角寬度。
【背景技術】
[0002]在諸如薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)、等離子體顯示面板(rop)和電致發光(EL)顯示器之類的平板顯示器中使用的玻璃基板，通過將由玻璃熔爐生產的熔融玻璃成形為平玻璃板的成形過程以及根據預定尺寸切割該平玻璃板的切割過程而被制造。所制造的玻璃基板隨后被輸送到機加工生產線，在機加工生產線，玻璃基板被依次機加工。在機加工生產線，根據待使用玻璃基板的平板顯示器的尺寸再次切割玻璃基板，并且隨后玻璃基板的四個邊緣被倒角。倒角過程旨在通過使邊緣部分變圓來防止玻璃基板的四個邊緣部分由于例如外部沖擊而被容易地損壞。當執行倒角過程時，如圖1中所示，基板的邊緣部分大致具有上表面、端表面和下表面。盡管基板的邊緣部分的被倒角的上表面和下表面被要求彼此對稱，但是事實上上表面和下表面不對稱。
[0003]在倒角過程之后，執行檢測過程，以檢測在倒角過程中被倒角的邊緣部分是否存在諸如裂縫的缺陷并且檢測倒角部分的寬度。
[0004]在現有技術中，這種檢測過程由專利文獻I中公開的檢測設備執行。
[0005]然而，專利文獻I中公開的檢測設備具有的缺點在于:該設備必須使用多個的光學裝置，以分別檢測邊緣部分的上表面、下表面和端表面。
[0006]對比文獻I中公開的檢測設備具有的另一缺點在于:由于使用同軸照明而難于精確測量倒角部分的寬度。這是因為邊緣部分的上表面和下表面在同一線上被檢測，因而被檢測的表面受到在倒角參考線的相反側產生的后像的影響。
[0007]本發明【背景技術】部分公開的信息僅被提供用于更好地理解發明的背景，而不應認為是對該信息構成對本領域技術人員已知的現有技術的承認或任何形式的暗示。
[0008]專利文獻1:韓國專利第10-0579332號(2006年5月4日)
【發明內容】
[0009]本發明的各方面提供一種用于檢測基板的邊緣部分的設備，能夠使用較簡單的結構檢測基板的邊緣部分的缺陷。另外，還提供一種用于檢測基板的邊緣部分的設備，能夠更精確地測量基板的邊緣部分的倒角寬度。
[0010]在本發明的一方面中，提供一種用于檢測基板的邊緣部分的設備，包括:第一直角棱鏡，被設置在基板的邊緣部分的上方，使得該第一直角棱鏡傾斜表面朝向所述基板的邊緣部分的上表面；第二直角棱鏡，被設置在所述基板的邊緣部分的下方，使得該第二直角棱鏡的傾斜表面朝向所述基板的邊緣部分的下表面；發光部件，用光照射所述基板的邊緣部分；和拍攝部件，被設置為鄰近所述基板的邊緣部分。所述拍攝部件由已經通過所述第一直角棱鏡的光拍攝所述基板的邊緣部分的上表面的圖像，由已經通過所述第二直角棱鏡的光拍攝所述基板的邊緣部分的下表面的圖像，并拍攝所述基板的邊緣部分的端表面的圖像。
[0011]所述設備可進一步包括:第一校正板，被設置在所述第一直角棱鏡與所述拍攝部件之間以減少已經通過所述第一直角棱鏡的光的路程(path);以及第二校正板，被設置在所述第二直角棱鏡與所述拍攝部件之間以減少已經通過所述第二直角棱鏡的光的路程。這里，所述第一校正板與所述第二校正板可由BK7形成。
[0012]所述第一直角棱鏡的上表面與傾斜表面之間的角度以及所述第二直角棱鏡的下表面與傾斜表面之間的角度可為小于45°的銳角。
[0013]所述設備可進一步包括顯示由所述拍攝部件拍攝的圖像的顯示部件。
[0014]所述設備可進一步包括通過將空氣噴射到所述基板的邊緣部分上而將雜質從所述基板的邊緣部分移除的空氣噴嘴。
[0015]所述設備可進一步包括輸送所述基板的輸送部件。
[0016]根據本發明，能夠利用單個光學裝置從基板的邊緣部分的上表面、下表面和端表面中的全部獲得圖像。
[0017]另外，根據本發明，基板的邊緣部分的上表面和下表面的圖像由入射到直角棱鏡的相對于基板的邊緣部分的上表面和下表面以預定角度指向的傾斜表面上的光獲得，而不使用同軸照明。這因此可防止待檢測的各個表面受到在相反表面上產生的倒角參考線的后像的影響，由此可精確地測量倒角寬度。
[0018]本發明的方法和裝置具有其它特征和優點，該其它特征和優點將由附圖變得明顯，或者在附圖中更詳細地提出，附圖合并于此，并且在本發明的以下【具體實施方式】中，附圖共同用于解釋本發明的某些原理。
【附圖說明】
[0019]圖1為例示基板的倒角邊緣部分的概念視圖；
[0020]圖2為例示根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備的示意性構造視圖；
[0021]圖3為例示使用根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備從基板的邊緣部分的上表面、下表面以及端表面拍攝圖像的過程的概念圖；
[0022]圖4例示在同軸照明下使用顯微鏡拍攝的基板的倒角邊緣部分的上表面和下表面的圖片；
[0023]圖5例示使用根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備拍攝的基板的倒角邊緣部分的上表面和下表面的圖片；以及
[0024]圖6例示使用光學顯微鏡以及根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備測量的根據位置而定的玻璃基板的倒角寬度的圖表。
【具體實施方式】
[0025]現在將結合附圖更詳細地提及根據本發明的用于檢測基板的邊緣部分的設備的示例性實施例，以使本發明所屬技術領域的技術人員可以容易地將本發明付諸實踐。
[0026]貫穿本文獻，應參照附圖，其中相同的附圖標記和符號在不同的附圖中始終被用于指代相同或相似的元件。在本發明的以下描述中，合并于此的已知功能和元件的詳細描述在會使本發明的主題內容不清楚的情況下將被省略。
[0027]圖2為例示根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備的示意性構造視圖。
[0028]根據本發明示例性實施例的用于檢測基板的邊緣部分的設備(在下文中稱為“基板邊緣檢測設備”)為用于檢測基板S的倒角邊緣部分上存在的缺陷或倒角寬度的設備，更具體而言，為用于檢測在諸如薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)、有機發光二極管(OLED)顯示器之類的平板顯示器中使用的玻璃基板的倒角邊緣部分上存在的缺陷或倒角寬度的設備。如圖2中所例示的，基板邊緣檢測設備包括第一直角棱鏡100、第二直角棱鏡200、發光部件300和拍攝部件400。
[0029]第一直角棱鏡100被設置在待檢測的基板S的邊緣部分的上方，使得其傾斜表面朝向待檢測的基板S的邊緣部分的上表面。
[0030]第二直角棱鏡200被設置在待檢測的基板S的邊緣部分的下方，使得其傾斜表面朝向待檢測的基板S的邊緣部分的下表面。
[0031]位于待檢測的基板S的邊緣部分上方的第一直角棱鏡100與位于待檢測的基板S的邊緣部分下方的第二直角棱鏡200隔開預定距離。該距離要大于基板S的厚度。
[0032]優選地，第一直角棱鏡100與第二直角棱鏡200被定位為使得它們彼此面對。
[0033]第一直角棱鏡100的上表面和第二直角棱鏡200的下表面可與基板S的上/下表面平行。
[0034]優選地，第一直角棱鏡100與第二直角棱鏡200關于從基板S縱向延伸的線(表面)對稱。
[0035]第一直角棱鏡100與第二直角棱鏡200允許拍攝部件400通過光路從基板S的邊緣部分的上表面和下表面拍攝圖像，如圖3中所例示的。
[0036]優選地，第一直角棱鏡的上表面與傾斜表面之間的角度以及第二直角棱鏡的下表面與傾斜表面之間的角度為小于45°的銳角。
[0037]銳角越小，由拍攝部件400所得到的基板S的上表面、下表面與端表面之間的距離越小。因此，能夠從上表面、下表面以及端表面獲得高分辨率圖像。
[0038]發光部件300用光照射基板S的邊緣部分。
[0039]發光部件300可由發光二極管(LED)光源發射光，并可被設置在多個位置以獲得更清晰的圖像。
[0040]拍攝部件400被設置鄰近基板S的邊緣，并由已經通過第一直角棱鏡100的光拍攝基板S的邊緣部分的上表面的圖像，由已經通過第二直角棱鏡200的光拍攝基板S的邊緣部分的下表面的圖像，并拍攝基板S的邊緣部分的端表面的圖像。
[0041]也就是說，拍攝部件400分別由已經通過第一直角棱鏡100和第二直角棱