shmoo測試中標定設定值和測量值的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及集成電路測試技術領域，尤其是一種Shm00測試中標定設定值和測量值的方法。
【背景技術】
[0002]成品的芯片和一整片晶圓上的芯片會存在各種各樣的差異，為了讓測試程序適用于這種差異，需要對一些比較敏感的測試項進行shmoo測試，找到適合該芯片的最佳設定。
[0003]shmoo測試是芯片測試中的一種常用技術手段，現在大部分ATE都具有shmoo測試功能，shmoo測試的目的就是為了找到芯片的實際特性和測試程序的差異，從而改善測試程序。但是現有技術中獲取的shmoo測試結果圖都相對簡單，如圖1、2、3所示，僅僅憑借一張shmoo測試結果圖，只能看到所述芯片在通過測試時參數的設定值，以及所述芯片在測試失敗時參數的設定值，而無法判斷所述芯片的參數設定值和測試程序設定的測量值之間的差升。
[0004]如果要判斷所述芯片的參數設定值和測試程序設定的測量值之間的差異，就需要通過截圖功能，將所述芯片的所述shmoo測試結果圖截圖，但是當設計人員或者測試工程師查看到所述shmoo測試結果圖的截圖時，由于設計人員或者測試工程師并不清楚具體的程序，也就無法知道所述芯片的參數測量值。只有通過進一步的和程序工程師溝通才能確定程序關于所述芯片的參數設定值及測量值，測試分析效率低下，從而使得生產率低。同時程序工程師也需要查看程序代碼才能確定相應參數的設定值與測量值，從而增加了人為出錯的風險。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在于提供一種shmoo測試中標定設定值和測量值的方法，以解決由于shmoo測試中測試分析效率低，出差風險高的問題。
[0006]為了達到上述目的，本發明提供了一種shmoo測試中標定設定值和測量值的方法，包括以下步驟:
[0007]選定被測芯片的一個或多個參數；
[0008]設定所述參數的設定值范圍及步進，根據所述步進及所述設定值范圍對所述參數進行掃描；
[0009]顯示shmoo測試結果圖，所述shmoo測試結果圖中包括:所述設定值范圍、所述步進、芯片測試通過時所述參數的設定值、測試失敗時所述參數的設定值以及所述參數的測量值。
[0010]優選的，在上述的Shm00測試中標定設定值和測量值的方法中，所述參數的最小設定值大于等于所述被測芯片以及測試機臺的最小值。
[0011]優選的，在上述的Shm00測試中標定設定值和測量值的方法中，所述參數的最大設定值小于等于所述被測芯片以及測試機臺的最大值。
[0012]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，當只有一個所述參數時，所述shmoo測試結果圖包括一一維shmoo測試結果圖，在所述一維shmoo測試結果圖上顯示一第一直線，所述第一直線垂直所述參數所在的數軸，并且通過所述參數的測量值。
[0013]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，在所述一維shmoo測試結果圖的下方顯示所述參數的設定值范圍及步進。
[0014]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，當有兩個所述參數時，所述shmoo測試結果圖為一二維shmoo測試結果圖，在所述二維shmoo測試結果圖上顯示互相垂直的兩條直線，且所述兩條直線分別通過兩個所述參數的測量值。
[0015]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，在所述二維shmoo測試結果圖的下方分別顯示兩個所述參數的設定值范圍及步進。
[0016]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，當有三個所述參數時，所述shmoo測試結果圖為一三維shmoo測試結果圖，在所述三維shmoo測試結果圖上，選擇一個所述參數為變化的第三個參數，對所述第三個參數的每一個設定值，均有一二維shmoo測試結果圖與所述第三個參數對應，在所述二維shmoo測試結果圖上顯示相互垂直的兩條直線，且所述兩條直線分別通過另外兩個所述參數的測量值。
[0017]優選的，在上述的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，在所述三維shmoo測試結果圖的下方分別顯示三個所述參數的設定值范圍及步進。
[0018]在本發明提供的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法中，在shmoo測試結果圖中直接標記出所述參數的設定值范圍、設定值的步進以及所述參數的測量值，無需程序工程師查詢程序代碼確認，使得技術人員在shmoo測試過程中對所述shmoo測試結果圖分析時，對所述參數的設定值與測量值之間的差異一目了然，提高了技術人員確定所述參數的最佳設定值的速度，從而提高了效率，并且降低了人為出錯的風險。
【附圖說明】
[0019]圖1為現有技術中一個參數的shmoo測試結果圖；
[0020]圖2為現有技術中兩個參數的shmoo測試結果圖；
[0021]圖3為現有技術中三個參數的shmoo測試結果圖；
[0022]圖4為本發明實施例中shmoo測試中標定設定值和測量值的方法的流程圖；
[0023]圖5為本發明實施例中實施例1的shmoo測試結果圖；
[0024]圖6為本發明實施例中實施例2的shmoo測試結果圖；
[0025]圖7為本發明實施例中實施例3的shmoo測試結果圖。
【具體實施方式】
[0026]下面將結合示意圖對本發明的【具體實施方式】進行更詳細的描述。根據下列描述和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0027]以下列舉所述shmoo測試中標定設定值和測量值的方法的幾個實施例，以清楚說明本發明的內容，應當明確的是，本發明的內容并不限制于以下實施例，其他通過本領域普通技術人員的常規技術手段的改進亦在本發明的思想范圍之內。
[0028]實施例1
[0029]如圖4所示，本發明提供了一種shmoo測試中標定設定值和測量值的方法，包括以下步驟:
[0030]S1:選定被測芯片的一個或多個參數。
[0031]在對所述被測芯片進行shmoo測試時，可能需要對所述被測芯片的一個參數進行shmoo測試，也有可能需要對所述被測芯片的兩個或者3個參數同時進行shmoo測試。因此，在對所述被測芯片進行shmoo測試時，根據實際需要選擇參數的個數為I個、2個或者3個。
[0032]當所述被測芯片需要進行shmoo測試的參數不止3個，例如為5個或者更多時，可以分步進行，先選取其中的3個參數進行shmoo測試，然后再對剩下的2個參數進行shmoo測試，如果所述5個參數之間的關聯性較大，還可以再次交叉分組進行shmoo測試。
[0033]在本實施例中所述參數為I個。
[0034]S2:設定所述參數的設定值范圍及步進，根據所述步進及所述設定值范圍對所述參數進行掃描。
[0035]具體的，所述參數的設定值范圍為在所述參數的最小設定值和所述參數的最大設定值之間。
[0036]進一步的，設定所述參數的最小設定值和最大設定值，在所述最小設定值和所述最大設定值之間，以所述步進對所述參數進行掃描。且所述參數的最小設定值大于等于所述被測芯片以及測試機臺的最小值，所述參數的最大設定值小于等于所述被測芯片以及測試機臺的最大值。也就是說所述參數的設定值要符合所述被測芯片以及測試機臺的特性，不能超出所述被測芯片及所述測試機臺的測量范圍。
[0037]S3:顯示shmoo測試結果圖，所述shmoo測試結果圖中包括:所述設定值范圍、所述步進、芯片測試通過時所述參數的設定值、測試失敗時所述參數的設定值以及所述參數的測量值。
[0038]具體的，如圖5所示，所述shmoo測試結果圖包括--維shmoo測試結果圖，在所述一維shmoo測試結果圖上顯示一第一直線101，所述第一直線101垂直所述參數所在的數軸，并且通過所述參數的測量值。所述一維shmoo測試結果圖上顯示了在所述參數的每個設定值時芯片的測試是否通過，且在所述參數所在數軸上標記了所述參數的測量值，并用一條直線顯示出來。
[0039]且在所述一維shmoo測試結果圖的下方顯示所述參數的設定值范圍及步進，即在所述一維shmoo測試結果圖的下方顯示了所述參數的最小設定值、最大設定值及步進。
[0040]實施例2
[0041]所述實施例2的shmoo測試中標定設定值和測量值的方法與所述實施例1的所述shmoo測試中標定設定值和測量值的方法基本相同，其區別在于:所述參數為兩個，具體步驟如下:
[0042]S1:選定被測芯片的一個或多個參數。
[0043]在本實施例中，所述參數為兩個，為第一參數和第二參數。
[0044]S2:設定所述參數的設定值范圍及步進，根據所述步進及所述設定值范圍對所述參數進行掃描。
[0045]具體的，所述參數的設定值范圍為在所述參數的最小設定值和所述參數的最大設定值之間。分別設定所述第一參數和所述第二參數的最小設定值、最大設定值以及步進。且所述參數的最小設定值大于所述被測芯片以及測試機臺的最小值，所述參數的最大設定值小于所述被測芯片以及測試機臺的最大值。也就是說所述參數的設定值要符合所述被測芯片以及測試機臺的特性，不能超出所述被測芯片及所述測試機臺的測量范圍。
[0046]在所述第一參數的設定值范圍內確定一個設定值，例如為所述第一參數的最小設定值，在該設定值下，完