接觸端子的維修方法及檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及接觸端子的維修方法，所述接觸端子具備在連接夾具，所述連接夾具電性連接檢測電特性的檢測裝置和作為檢測對象的被檢測物，更具體的說，本發明涉及掌握連接夾具具備的接觸端子的更換時期，在接觸端子發生連接不良之前催促維修的接觸端子的維修方法及具有這種維修功能的檢測裝置。
【背景技術】
[0002]以往，在基板上形成的配線是為了對該基板上裝載的IC或半導體部件或其它電子部件收發電信號而使用。這種配線是最近隨著電子部件的微細化，形成得更細微更復雜，同時以更加低電阻形成。隨著這種基板配線的微細化，對檢測其配線良好/不良的精度需求很高。檢測該配線良好/不良的方法有檢測配線的導通狀態和絕緣狀態的方法。導通狀態的檢測是計算在配線上設定的2個檢測點之間的電阻值來判斷。絕緣狀態的檢測是計算檢測對象配線和其它配線的電阻值來判斷。
[0003]進行這種配線的檢測時，如上所述，在配線上設定的檢測點配置導電性的接觸端子，以使接觸端子的前端接觸檢測點。由此接觸端子，配線上的檢測點和檢測裝置電性連接。根據來自該檢測裝置的電信號的收發，進行配線的導通檢測和絕緣檢測。
[0004]此接觸端子是，如上所述，電性連接檢測裝置和檢測點。此接觸端子是以細長的棒狀形成，例如，以導電性的針狀形成或具有以長度方向伸縮的彈簧部而形成。這種接觸端子是具備在保持復數個接觸端子的檢測夾具，而且配置使得接觸端子的前端接觸檢測點、接觸端子的后端接觸與檢測裝置電性連接的檢測夾具的電極部。實際進行檢測時，接觸端子被檢測點和電極部施壓而確保電性接觸的穩定性。
[0005]檢測夾具是根據基板配線的檢測點個數具備相應個數的接觸端子。根據檢測夾具而有所不同，其具備數百至數千個接觸端子而形成。該檢測夾具具備的接觸端子是，對基板的配線反復進行接觸和非接觸，以用于多數基板的檢測。接觸端子是多則一天檢測5萬個的基板，這時反復進行5萬次的接觸和非接觸。因此，接觸端子講究耐久性，同時接觸端子有異常時，需要迅速進行更換。
[0006]另外，接觸端子是，如上所述，對檢測點反復進行接觸和非接觸，若檢測點是以焊錫凸塊形成時，接觸端子接觸焊錫凸塊，從而發生在接觸端子上附著焊錫凸塊碎屑的情形。在這種情形，焊錫凸塊碎屑影響接觸端子和檢測點的接觸狀態，無法正確地進行檢測。另夕卜，如上所述，由于反復進行多次的接觸和非接觸，因此具有接觸端子的前端被曲折的問題。在此種情形，更換接觸端子來應付，但直到檢測出檢測結果的不良，才檢測是配線的不良還是接觸端子的異常。
[0007]由此，接觸端子的異常是直到檢測出配線的不良后才能確認。基于這種觀點，例如，創出了專利文獻I所揭示的技術。在此專利文獻I揭示的技術中，將接觸端子的前端用激光照射，從而檢測接觸端子的異常。
[0008]然而，在這種接觸端子的異常檢測方法，必然產生需要設置照射激光的激光照射設備(照射部或收光部)，以及需要用于檢測接觸端子異常的工藝等的麻煩。
[0009]【現有技術文獻】
[0010]【專利文獻I】
[0011]日本專利公開平7-161783號公報
【發明內容】
[0012]本發明的目的是不需要用于檢測接觸端子的特別工藝，在對檢測對象的配線進行導通檢測的同時，掌握接觸端子的狀態，從而在發生異常之前檢測出需要更換的接觸端子。
[0013]根據本發明的一樣態提供的接觸端子的維修方法，用于維修在連接夾具上設置的接觸端子，所述連接夾具用于連接進行電性檢測的檢測對象物與進行所述檢測的檢測裝置，所述方法包括如下步驟:對所述檢測對象物上設置的復數個檢測點，接觸與所述檢測點對應的所述連接夾具的復數個接觸端子；所述檢測裝置從所述檢測對象物選出作為檢測對象的檢測對象部位,并通過所述接觸端子向所述檢測對象部位供應用于檢測的電力；檢測出在供應所述電力時的有關所述接觸端子的電壓變化；當檢測到所述電壓變化不是以時間序列增加的部位時，判斷為接觸端子異常進而通知維修信息。
[0014]所述檢測對象部位的檢測是所述檢測對象部位的導通檢測。
[0015]所述電壓變化的檢測是，在預先設定的第一電壓值的增加區間，檢測到不是以時間序列增加的部位的情況下，再從所述第一電壓值到設定為比所述第一電壓值大的第二電壓值之間，檢測到不是以時間序列增加的部位時，判斷為所述接觸端子異常進而通知維修信息。
[0016]根據本發明的另一樣態提供的檢測裝置，用于維修在連接夾具上設置的接觸端子，所述連接夾具用于連接進行電性檢測的檢測對象物與進行所述檢測的檢測裝置，所述檢測裝置包括:電源設備，供應用于導通檢測所述檢測對象物的電力；電壓檢出設備，檢測出由所述電源設備向所述檢測對象物施加的電壓值；以及判定設備，在所述電源設備向所述檢測對象物供應用于導通檢測之電力的期間，所述檢出設備檢測到所檢測的電壓值不是以時間序列增加的部位時，判定為電性連接所述檢測對象物與所述電源設備的接觸端子異堂巾O
[0017]所述檢測裝置還包括:選擇設備，用于選出作為檢測對象的檢測對象部位，所述電源設備通過所述接觸端子向所述檢測對象部位供應用于檢測的電力。
[0018]基于所述電壓檢出設備之所述電壓變化的檢測是，在預先設定的第一電壓值的增加區間，檢測到不是以時間序列增加的部位的狀態下，再從所述第一電壓值到設定為比所述第一電壓值大的第二電壓值之間，檢測到不是以時間序列增加的部位時，判斷為所述接觸端子異常進而通知維修信息。
[0019]根據本發明，可以檢測電性連接于檢測對象物的接觸端子的異常，因此在接觸端子不能使用之前，可以檢測出以新的接觸端子更換的時機。由此，經導通檢測或短路檢測等得知不良狀態發生后，以往是需要用于檢討接觸端子之異常的檢測，但如今不僅不再需要這種再檢測，而且接觸端子導致的不良狀態也消失，因此接觸端子異常引起的生產性降低的問題也消失。由此，可以提供高生產性(高驅動率)的接觸端子維修方法。
[0020]由于在導通檢測時，可以判斷接觸端子的維修，因此無需設置用于檢測接觸端子異常的檢測工藝，而可以進行接觸端子的檢測。
[0021]通過以多階段設置電壓變化的檢測，由此根據第一電壓值可以縮短持續的檢測時間，同時通過設置第二電壓值，能以更高精度檢測出接觸端子的異常。
【附圖說明】
[0022]圖1是用于說明導通檢測的概略側面圖。
[0023]圖2是根據本發明的檢測裝置的概略構成，而且設置有作為檢測對象物的基板。
[0024]圖3是電壓變化的狀態圖表。
[0025]圖4是設定第一電壓值和第二電壓值時，電壓變化的狀態圖表。
[0026]圖5是在根據本發明的檢測裝置中進行檢測的一實施形態的圖。
[0027][附圖標記說明]
[0028]1:基板檢測裝置2:電源設備
[0029]3:電壓檢出設備5:判定設備
[0030]T:配線
【具體實施方式】
[0031 ] 現針對用于實施本發明的具體內容進行說