一種X射線熒光光譜儀的制作方法

本發明涉及膜厚檢測，具體為一種x射線熒光光譜儀。

背景技術：

1、x射線熒光光譜儀是用于元素分析和材料成分測定的科學儀器，用于在線膜厚檢測時的工作原理是：當x射線照射到薄膜樣品時，會激發樣品中的原子產生特征x射線熒光，薄膜的厚度會影響熒光的強度和能量分布，通過測量熒光的強度和特征，結合已知的薄膜材料的物理參數和校準數據，可以計算出薄膜的厚度，在線膜厚檢測是指在生產過程中，對產品表面的膜層厚度進行實時、連續的測量和監控。

2、現有技術中，如中國專利號為：cn113552158a中，公開了一種x射線熒光光譜儀，包括機架及驅動架，機架上設有開口及蓋合在開口上的樣品蓋。x射線熒光光譜儀還包括轉臂及驅動片，轉臂設有相對的第一端及第二端，第一端與樣品蓋連接，驅動片設置在驅動架上并設有導槽。驅動架沿機架朝第一方向滑動時，第二端進入導槽內并跟隨驅動架移動，第一端被第二端帶動而轉動，并帶動樣品蓋一起轉動打開開口。本技術x射線熒光光譜儀通過設置轉臂及驅動架，在驅動架移動的過程中可同時實現樣品蓋的開啟和關閉，可簡化結構并降低成本。

3、目前，在使用x射線熒光光譜儀在線檢測膜厚時，首先就是要將待檢測的樣品膜取出，然后將薄膜大致放置在檢測區的中心位置，根據檢測區的標記或指示，精確調整薄膜的位置，使其完全覆蓋預定的檢測區域，且邊緣對齊，在現有的技術中，放置好之后便可以蓋上封閉蓋進行檢測膜厚了，但是，薄膜的質量很輕，即使已經平整地擺放好，在蓋上封閉蓋的一刻以及工作人員的走動等都會容易使薄膜的位置發生改變，無法使薄膜緊緊吸附在檢測的平臺上，會給檢測結果帶來誤差，造成重復檢測的繁瑣情況發生。

4、所以我們提出了一種x射線熒光光譜儀，以便于解決上述中提出的問題。

技術實現思路

1、本發明的目的在于提供一種x射線熒光光譜儀，以解決上述背景技術提出的現在技術中在進行在線膜厚檢測時未能使薄膜吸附在檢測平臺上，從而會使檢測結果出現誤差的問題。

2、為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種x射線熒光光譜儀，包括主機組件，所述主機組件包括有主機外殼，所述主機外殼的底部固定連接有支撐底板，所述主機外殼的頂部固定連接有固定頂板，所述固定頂板的內壁固定連接有氣定組件，所述氣定組件的頂部固定連接有壓膜組件，所述氣定組件包括有檢測板，所述檢測板的頂部中間處設置測試窗口，所述檢測板的內部開設有通氣腔，所述通氣腔的內部頂面開設有多個斜吸氣口和正吸氣口，且斜吸氣口內部的氣流方向是傾斜的，所述通氣腔的內部底面開設有連通口，且連通口的底部固定連通有連通管，所述連通管的外表面設置調壓閥門，所述支撐底板的頂部設置真空泵，所述真空泵的進氣端與連通管的一端固定連通；所述壓膜組件包括有四個固定筒，且每個固定筒分別安裝在對應位置的正吸氣口上方，每個所述固定筒的內壁均滑動連接有活塞，每個所述活塞的頂部均固定連接有多個抽拉桿，多個所述抽拉桿平均分為四組，每組所述抽拉桿的一端之間均固定連接有加強板。

3、優選的，多個所述加強板每兩個為一組，每組所述加強板的相對之間均固定連接有連接桿，每個所述連接桿的底部均固定連接有多個用于將檢測膜厚的薄膜進行按壓定位的按壓爪，每個所述固定筒的頂部均固定連接有限位蓋，每組所述抽拉桿的一端分別滑動貫穿每個限位蓋至外部。

4、優選的，所述固定頂板的頂部固定連接有防護框，所述防護框設置在檢測板的外部。

5、優選的，所述主機外殼的前表面設置用于顯示檢測結果的顯示屏，所述主機外殼的前表面靠近顯示屏處設置功能鍵。

6、優選的，所述主機外殼的兩側外表面均開設有多個散熱孔，所述主機外殼的后表面固定嵌設有安裝板，所述安裝板的外表面中間處開設有安裝孔，所述安裝孔的內部設置排風扇，且排風扇用于將主機外殼內部產生的熱量快速排出。

7、優選的，所述固定頂板的底部與支撐底板的頂部之間靠近四個拐角處均固定連接有支撐柱，且支撐柱用于提高裝置整體的穩定，所述支撐底板的底部靠近四個拐角處均固定連接有防滑底墊。

8、優選的，所述固定頂板的底部固定連接有安裝組件，所述安裝組件包括有固定彈性板，且固定彈性板固定安裝在固定頂板的底部靠近測試窗口處，所述固定彈性板的外表面設置x射線源發生器，所述固定彈性板的相對一側均固定連接有固定扣，每個所述固定扣的內壁之間均固定連接有轉軸，每個所述轉軸的外表面均轉動連接有連接環，兩個所述連接環的相對之間設置電動推桿。

9、優選的，所述主機外殼的后表面頂部邊緣處通過鉸鏈轉動連接有蓋體組件，所述蓋體組件包括有避光蓋，所述避光蓋的前表面固定連接有把手槽，所述避光蓋的內部固定連接有固定架。

10、優選的，所述固定架的兩側內壁與固定頂板的頂部靠近兩側處均設置開合組件，兩個所述開合組件均包括有電動伸縮桿，兩個所述電動伸縮桿的兩端均固定連接有連接塊，每個所述連接塊的一側均開設有活動槽，每個所述活動槽的內壁均活動連接有活動球。

11、優選的，每個所述活動球的外表面均固定連接有加強塊，其中兩個所述加強塊分別固定安裝在固定架的相對側內壁上，另外兩個所述加強塊分別固定安裝在固定頂板的頂部靠近兩側邊緣處。

12、與現有技術相比，本發明的有益效果是：

13、1、在使用時，通過啟動真空泵，使其產生吸力，此時調節調壓閥門能夠改變吸力的強弱，避免吸力過大對薄膜產品造成損壞，那么經過連通管將通氣腔內部的氣體都抽離，因此每個正吸氣口和每個斜吸氣口都具有吸力，由于薄膜產品平鋪在檢測板上，檢測板表面的吸力會將吸盤一樣將薄膜產品吸附住，其中正吸氣口對薄膜產品產生的吸力是垂直向下的，而斜吸氣口對薄膜產品產生的吸力是斜向外的，具有輔助舒展的功能，與此同時，固定筒內部的氣壓也在減小，活塞就會帶動抽拉桿向著檢測板的方向移動，從而使得連接桿帶動按壓爪同時往檢測板的方向移動，進而將吸附在檢測板表面的薄膜產品側邊按壓住，加強了定位效果，有效地防止薄膜產品在進行膜厚檢測時位置偏移。

14、2、在使用時，通過功能鍵能夠操控檢測步驟，在顯示屏上能夠觀察到檢測結果，而通過多個散熱孔能夠使主機外殼內部實現通風，內部溫度過高時，通過啟動排風扇，能夠將主機外殼內部產生的熱量散發出去，對主機外殼內部的設備和導線等具有保護作用，而固定彈性板能夠改變夾角大小，從而能夠實現x射線源發生器的檢測角度，實現步驟是通過啟動兩個電動推桿，使其伸縮，當電動推桿伸長時，固定彈性板相對的兩面就會遠離展開，其內部的夾角就會變大，反之就會變小，此時，由于連接環是套設在轉軸的外部活動的，因此在電動推桿伸縮的過程中不會出現運動干涉的情況。

15、3、在使用時，通過同時啟動兩個電動伸縮桿即可完成避光蓋的關閉，由于活動球在活動槽的內部可以靈活轉動且不會脫離出來，那么電動伸縮桿在收縮時，其兩端便能夠靈活轉動，使得電動伸縮桿能夠被收在避光蓋內部，通過將固定架安裝在避光蓋的內部，從而便于安裝加強塊和把手槽，在需要開蓋時，可以借助把手槽輔助開蓋，其中避光蓋使用的是不透光的材料制成，當避光蓋完成合蓋時，被檢測的薄膜樣品在檢測時就不會受到光線影響，而開合組件中的電動伸縮桿可以根據檢測需求選擇伸長或縮短，因此避光蓋可以根據檢測需求選擇在檢測時打開或關閉。