CF基板微觀檢查機的制作方法

本發明涉及一種液晶面板生產技術，特別是一種用于檢查cf基板表面的cf基板微觀檢查機。

背景技術：

在面板制造中，生產效率幾乎是公司的生命，生產效率不高不但利潤低成本高，競爭力也會比業內其他企業弱很多，生產效率是非常關鍵的；而對于cf(colorfilter彩色濾光片、彩膜)基板的檢查尤其重要，通過檢查，能夠避免因產品質量問題導致的報廢的問題，通過cf基板微觀檢查機能夠查找到cf基板表面的膜層缺陷，目前的cf基板圍觀檢查機中所使用的拍照單元目前的鏡頭位置為設置在cf基板的相對兩側，使用了兩組攝像頭進行缺陷位置的拍照由于兩組攝像頭的行程較長，在對缺陷進行拍照時存在大量的空運轉時間，導致拍照數量較少，耗時較長。

技術實現要素：

為克服現有技術的不足，本發明提供一種cf基板微觀檢查機，從而節省拍照時間，提高工作效率。

本發明提供了一種cf基板微觀檢查機，所述檢查機包括aoi自動光學檢測儀，該aoi自動光學檢測儀包括機架、設于機架上的光源、位于光源上方的掃描單元以及與掃描單元連接的圖像處理裝置，所述檢查機還包括cf基板微觀復核裝置，所述cf基板微觀復核裝置包括攝像組件支架、至少四組攝像組件，每組攝像組件包括圖像獲取裝置以及驅動圖像獲取裝置水平移動的驅動機構，所述驅動機構固定在攝像組件支架上，每組攝像組件形成一個攝像區域；所述攝像組件支架固定在機架上，每個攝像區域分別對應cf基板上的至少一個基板單元，所述圖像獲取裝置的鏡頭朝下，所述圖像獲取裝置以及驅動機構與圖像處理裝置連接。

進一步地，所述掃描單元設于cf基板微觀復核裝置上方。

進一步地，所述攝像組件陣列排布。

進一步地，所述攝像組件矩形陣列排布。

進一步地，所述驅動機構包括x軸行走裝置以及y軸行走裝置，所述y軸行走裝置固定在攝像組件支架上，所述x軸行走裝置與y軸行走裝置連接，實現y軸行走裝置驅動x軸行走裝置沿y軸方向水平移動，圖像獲取裝置固定在x軸行走裝置上，實現x軸行走裝置驅動圖像獲取裝置沿x軸方向水平移動。

進一步地，所述驅動機構包括x軸行走裝置以及y軸行走裝置，所述x軸行走裝置固定在攝像組件支架上，所述y軸行走裝置與x軸行走裝置連接，實現x軸行走裝置驅動y軸行走裝置沿x軸方向水平移動，圖像獲取裝置固定在y軸行走裝置上，實現y軸行走裝置驅動圖像獲取裝置沿y軸方向水平移動。

進一步地，所述x軸行走裝置和y軸行走裝置采用光柵尺或電動滑臺。

進一步地，所述驅動機構為電動十字滑臺。

進一步地，所述圖像獲取裝置為工業相機。

本發明與現有技術相比，通過設置至少四組攝像組件，每組攝像組件構成一個攝像區域9，從而實現每組攝像組件負責該區域內的缺陷拍照，縮短了每組攝像組件的行程，而且每組攝像組件之間互不干涉，提高了工作效率。

附圖說明

圖1是本發明的主視圖；

圖2是本發明cf基板微觀復核裝置的俯視圖；

圖3是本發明的一組攝像組件的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。

如圖1和圖2所示，本發明的一種cf基板微觀檢查機，所述檢查機包括aoi自動光學檢測儀，該aoi自動光學檢測儀(aoi)采用現有技術中對玻璃基板進行檢測的aoi檢測儀，其主要包括機架5、設于機架5上的光源6、位于光源6上方的掃描單元7以及與掃描單元7連接的圖像處理裝置8，本發明中掃描單元7用于對cf基板的整體進行拍照并將拍照后的圖片發送至圖像處理裝置8進行處理比對，查找到相應的缺陷位置并顯示，所述檢查機還包括cf基板微觀復核裝置，所述cf基板微觀復核裝置包括攝像組件支架2、至少四組攝像組件，每組攝像組件包括圖像獲取裝置1以及驅動圖像獲取裝置1水平移動的驅動機構，所述驅動機構固定在攝像組件支架2上，每組攝像組件形成一個攝像區域9；所述攝像組件支架2固定在機架5上，所述攝像區域9分別對應cf基板上的至少一個基板單元，所述圖像獲取裝置1的鏡頭朝下，所述圖像獲取裝置1以及驅動機構與圖像處理裝置8連接。

圖像獲取裝置1用于根據圖像處理裝置8發送的坐標位置，通過驅動機構水平移動至坐標位置獲取缺陷圖像后發送至圖像處理裝置8并且驅動機構帶動圖像處理裝置8回到初始位置處。

如圖2所示，本發明的攝像組件陣列排布，具體為矩形陣列排布，圖中的攝像組件設有四組，以兩行兩列的形式矩形陣列排布；圖中攝像組件的設置數量僅為示例，本發明中攝像組件的設置數量并不限于此。

當攝像組件的數量為四組時，其圖像獲取裝置1的設置位置如圖所示，均在攝像區域9的相同一個角處，本發明還可以將四個攝像區域9共同組成直角坐標系，以四個攝像區域9相接的角作為原點(0，0)，四個圖像獲取裝置1的初始位置分別位于直角坐標系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四個坐標點上，通過圖像處理裝置8將缺陷位置的坐標分別發送至相應攝像區域9中的驅動機構，從而實現了攝像組件在各自的攝像區域9中進行缺陷圖像的獲取。

如圖1所示，掃描單元7設于cf基板微觀復核裝置上方；掃描單元7可采用工業相機。

如圖3所示，為本發明中驅動機構的結構示意圖，驅動機構包括x軸行走裝置3以及y軸行走裝置4，所述y軸行走裝置4固定在攝像組件支架2上，所述x軸行走裝置3與y軸行走裝置4連接，實現y軸行走裝置4驅動x軸行走裝置3沿y軸方向水平移動，圖像獲取裝置1固定在x軸行走裝置3上，實現x軸行走裝置3驅動圖像獲取裝置1沿x軸方向水平移動；具體地，x軸行走裝置3的導軌固定在y軸行走裝置4的滑塊上，圖像獲取裝置1固定在x軸行走裝置3的滑塊上。本發明中x軸、y軸均基于cf基板表面的橫向、縱向而言。

通過y軸行走裝置4驅動x軸行走裝置3在y軸方向移動，而x軸行走裝置3驅動圖像獲取裝置1在x軸方向移動。

當然也可以采用將x軸行走裝置3與y軸行走裝置4互換，所述x軸行走裝置3固定在攝像組件支架2上，所述y軸行走裝置4與x軸行走裝置3連接，實現x軸行走裝置3驅動y軸行走裝置4沿x軸方向水平移動，圖像獲取裝置1固定在y軸行走裝置4上，實現y軸行走裝置4驅動圖像獲取裝置1沿y軸方向水平移動；具體地，y軸行走裝置4的導軌固定在x軸行走裝置3的滑塊上；圖像獲取裝置1固定在y軸行走裝置4的滑塊上。

通過x軸行走裝置3驅動y軸行走裝置4在x軸方向移動，而y軸行走裝置4驅動圖像獲取裝置1在y軸方向移動。

如圖2所示，初始化狀態下，驅動機構均設于攝像區域9的左上方，從而使圖像獲取裝置1能夠位于直角坐標系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四個坐標點上。

本發明中x軸行走裝置3與y軸行走裝置4可采用光柵尺或電動滑臺，也可以采用由兩個電動滑臺組合成的電動十字滑臺，該種滑臺實現了xy軸的移動。

通過圖像處理裝置8向光柵尺、電動滑臺或十字滑臺發送電信號，實現了光柵尺、電動滑臺或十字滑臺上的滑塊的直線移動，從而進行xy軸的精確移動。

本發明中的圖像獲取裝置1中的鏡頭均使用通過改變內部光通路而改變放大倍率的鏡頭，避免了使用轉盤式鏡頭切換鏡頭時浪費的時間。而且每個圖像獲取裝置1分別負責一個攝像區域9中的拍照功能。在aoi掃描完成后將缺陷的坐標傳輸給cf基板微觀復核裝置，四個圖像獲取裝置1通過坐標識別缺陷坐標后對相應的缺陷進行拍照工作。如果四個攝像區域9內同時有需要拍照的缺陷則四個圖像獲取裝置1同時移動進行拍照，任何一個圖像獲取裝置1在完成相應的拍照作業后退回到起始位置。如果四個攝像區域9內只有三個、兩個或者一個需要拍照工作，則需要拍照的圖像獲取裝置1移動拍照，不需要的則待在起始位置不動。同樣，任何一個鏡頭在完成相應拍照作業后退回到起始位置。

通過上述方式能夠提高cf基板微觀復核裝置的拍照能力，提升產能，為后續制程以及缺陷分析提供有力證據。

雖然已經參照特定實施例示出并描述了本發明，但是本領域的技術人員將理解：在不脫離由權利要求及其等同物限定的本發明的精神和范圍的情況下，可在此進行形式和細節上的各種變化。