1.一種基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,包括偏振激光器沿所述偏振激光器的發出的光傳播方向上還設置有偏振分光棱鏡,其特征在于,所述激光經過偏振分光棱鏡被分成透射光和反射光,沿所述透射光傳播方向,設置有第三偏振分光棱鏡;沿所述反射光傳播方向依次設置有四分之一波片、反光鏡;沿所述反射光經過反射鏡反射后的傳播方向,在所述偏振分光棱鏡之后,還設置有第二分光棱鏡;沿光的傳播方向,所述第一分光棱鏡和第三分光棱鏡之后分別設置有一對光纖耦合器以及與所述光纖耦合器連接的亞微米孔徑光纖。
2.根據權利要求1所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,還包括:
測量探頭,與每根亞微米孔徑光纖的光線出射端連接,用于獲取每兩根亞微米孔徑光纖的出射光在橫向或縱向產生的偏移;
探測器,沿光的傳播方向,設置于測量探頭之后,用于采集兩點衍射球面波前干涉條紋。
3.根據權利要求1所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,還包括移相器,所述移相器與所述反射鏡連接。
4.根據權利要求3所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,所述移相器為壓電陶瓷移相器。
5.根據權利要求3所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,還包括分析處理裝置,所述處理裝置為計算機,所述計算機設置于所述移相器與所述探測器之間。
6.根據權利要求1-5中任一項所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,所述四分之一波片的快軸方向與X軸成45度夾角。
7.根據權利要求6中任一項所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量裝置,其特征在于,所述探測器的像素為1920×1080,對應橫向和縱向像素尺寸都為5.5μm。
8.一種基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量方法,其特征在于,包括如下步驟:
偏振激光器發出的激光進入偏振分光棱境被分成透射光和反射光,所述透射光經過第三偏振光棱鏡通過激光耦合器的耦合進入第一組亞微米孔徑光纖;所述反射光經過反射鏡的反射、第二分光棱鏡后,通過激光耦合器的耦合進入第二組亞微米孔徑光纖;
交替開啟第一組亞微米孔徑光纖中的一根光纖和第二組亞微米孔徑光纖中的一根光纖,使開啟的兩根光纖的出射光在測量探頭產生代表橫向偏移或縱向偏移的點衍射球面波前,進而在探測器平面產生干涉條紋。
9.根據權利要求8所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量方法,其特征在于,還包括:
計算機控制壓電移相器對反射鏡進行多次移動,來改變兩點衍射球波前之間的光程差;
探測器實時采集多個對應的干涉條紋,并將所述采集的干涉條紋圖像發送至計算機。
10.根據權利要求9所述的基于雙通道點衍射干涉的三坐標測量方法,其特征在于,還包括:
計算機將探測器實時采集的兩點衍射球面波前干涉條紋利用五步移相算法解調出干涉場中探測器平面上任意點的相位分布;
計算機利用智能優化算法求解得到成對亞微米孔徑光纖點衍射出射端的三維坐標的最優解。