本實用新型屬光學領域，涉及光學元件疵病的測試裝置，尤其涉及激光光路中透射式大口徑平板與楔板表面、亞表面及內部疵病位置的測試裝置。
背景技術：
神光Ⅲ主機裝置中大量使用平板與楔板光學元件，平板與楔板疵病會使元件在較低的通量下產生損傷，激光誘發的損傷會使元件的損傷加速，同時引起裝置的光束質量變差，影響裝置的輸出能量和聚焦特性，在后續光路中產生熱像，引起新的損傷，使打靶的能量下降，危害極大。因此，裝置中平板與楔板中疵病的控制十分重要。
傳統測試方法：
方法1，目視法，借助低倍放大鏡觀察平板與楔板表面、亞表面及內部的疵病，該方法對大口徑的元件進行測試時，人眼長時間觀察容易引起視力疲勞，測量置信度較低，該方法耗時耗力，效率低下。
方法2，顯微成像法，采用移動掃描機構承載大口徑光學元件，采用LED照明，采用暗場成像，由CCD顯微系統測試光學元件的疵病，此方法受顯微系統視場和工作距的限制，只能測試光學元件表面或亞表面的疵病，對光學元件內部的疵病測量受限，同時采用顯微系統，視場較小，測量時采用掃描方式耗時較長。
技術實現要素：
為了解決傳統測試方法耗時耗力、對光學元件內部的疵病測量受限的弊端，本實用新型提出了一種透射光學元件疵病測試裝置，能對大口徑透射式光學元件表面及內部疵病進行快速檢測。
本實用新型的技術解決方案如下：
透射光學元件疵病的測試裝置，其特殊之處在于：包括激光器、準直鏡、定焦鏡頭、CCD、移動機構和采集控制計算機；所述準直鏡設置在激光器的輸出光路上；所述定焦鏡頭和CCD剛性連接組成成像系統，成像系統的監視面通過定焦鏡頭和CCD感光面成共軛關系；所述成像系統固定在移動機構上；所述移動機構與采集控制計算機相連。
為提高檢測效率，實現自動化測試，上述測試裝置還包括載物臺和掃描機構；所述載物臺用于放置和固定待測光學元件；所述掃描機構用于整體移動載物臺和待測光學元件；所述掃描機構與所述采集控制計算機相連。
采用上述測試裝置檢測透射光學元件疵病的方法，其特殊之處在于：包括以下步驟：
1)開啟激光器1，將激光注入準直鏡進行準直；
2)使準直后的激光束照射被測光學元件的某一待測試區域；
3)觀察成像系統的圖像，若出現衍射圖樣，則表明被測光學元件當前被照射區域處有疵病，進入步驟4)；
4)沿軸向調整移動機構的位置使衍射環由大變小直至衍射環消失，此時成像系統的監視面與被測光學元件的疵病位置重合；
5)移動被測光學元件，使激光束通過被測光學元件口徑的下一個測試區域，采用步驟3)～4)相同的方法對該區域進行測試；
6)重復步驟3)至步驟5)，直至完成整個光學元件所有區域的測試；
7)將所有測試區域中存在疵病的位置數據進行拼接，得到整個光學元件的空間缺陷信息。
上述步驟5)中將待測光學元件放置在載物臺上，采用掃描機構整體移動載物臺和待測光學元件。
本實用新型的優點在于：
1、本實用新型將激光器、準直鏡、載物臺、掃描機構、定焦鏡頭、CCD、移動機構和采集控制計算機組合，利用激光的衍射特性與物像共軛成像關系，通過掃描實現對大口徑光學元件的疵病檢測，能夠檢測到整個光學元件的表面、亞表面和內部缺陷信息，對光學元件內部的疵病測量不受限，且檢測效率高，同時，由于疵病經激光照射時，即使尺度在亞微米量級，也可產生清晰的衍射條紋，因此系統測量精度高。
2、本實用新型自動化程度高，適合光學元件疵病的無損非接觸精密測量。
附圖說明
圖1是本實用新型的機構示意圖；
圖中，1-激光器、2-準直鏡、3-載物臺、4-掃描機構、5-定焦鏡頭、6-CCD、7-移動機構、8-采集控制計算機、9-待測光學元件。
具體實施方式
本實用新型所提供的透射光學元件疵病的測試裝置包括激光器1、準直鏡2、載物臺3、掃描機構4、定焦鏡頭5、CCD 6、移動機構7和采集控制計算機8。
準直鏡2設置在激光器1的輸出光路上，將激光器的輸出激光準直后輸出平行光束。
載物臺3用于放置待測光學元件，并保證待測光學元件位于準直鏡2的輸出光路上，使平行光束通過待測光學元件的某一個測試區域。
掃描機構4安裝在載物臺3的下端，用于整體移動載物臺3和放置在載物臺3上的待測光學元件，使激光束通過待測光學元件口徑的下一個測試區域。
定焦鏡頭5和CCD 6剛性連接，組成成像系統。整個成像系統固定在移動機構7上，成像系統的監視面通過定焦鏡頭5和CCD 6感光面成共軛關系。成像系統用于測試待測光學元件當前測試區域是否存在疵病。
掃描機構4、成像系統以及移動機構7均與采集控制計算機8相連；
采集控制計算機8有三個功能：
1、控制掃描機構和移動機構的移動步長；
2、采集數據：包括成像系統的監視面的位置信息、被測光學元件被照射區域信息；
3、處理數據：將被測光學元件存在疵病的各個區域位置進行拼接，得到整個光學元件的空間缺陷信息。
基于上述測試裝置，本實用新型同時提供了一種透射光學元件疵病的測試方法，包括以下步驟：
1)開啟激光器1，將激光注入準直鏡2后，準直成平行光束，將被測光學元件固定在載物臺3上，使平行光束照射被測光學元件的某一待測區域；準直的平行光經被測光學元件透射后，進入由定焦鏡頭5和CCD 6所組成的成像系統。
2)若成像系統上出現衍射圖樣，則表明被測光學元件被照射區域處有疵病，進入步驟3)。
3)沿軸向(與準直鏡的軸向平行)調整移動機構7的位置，當成像系統上的衍射圖樣逐漸變小時，表明成像系統的監視面逐漸靠近被測光學元件的疵病位置；繼續調整移動機構7的位置，當衍射環消失時，滿足像傳遞原理，說明此時成像系統的監視面與被測光學元件的疵病位置重合。
4)整體移動載物臺3和被測光學元件，使激光束通過被測光學元件口徑的下一個測試區域，采用步驟2)～3)相同的方法對該區域進行測試。
5)重復步驟2)至步驟4)，直至完成整個光學元件的測試。
6)將所有測試區域的存在疵病的位置數據進行拼接，得到整個光學元件的空間缺陷信息。
這里步驟6)中的具體拼接方法是本領域技術人員數據處理的常用技術手段，本實用新型在此不再贅述。