本實用新型涉及電子特性檢測技術領域，具體為一種二次電子特性參數檢測裝置。
背景技術：
所謂二次電子特性參數檢測，就是指具有一定能量或速度的電子(或離子)轟擊物體表面時，會引起電子從該物體表面發射出來，并且具備一定的能量，但是電子的特性需要檢測出來，而且從電子表面散射出來的能量也會呈現一定的分布，其中包括一次電子的彈性散射電子，非彈性散射電子、真二次電子、俄歇電子等，有時還有其它復雜現象伴隨二次電子發射過程，如輻射X射線，產生熒光等，但是開始階段的研究工作進展緩慢，不利于研究電子參數，二十世紀三十年代后，由于電真空器件的發展，二次電子發射問題才逐漸引起了研究人員的注意，這是因為二次電子發射有正反兩方面的影響，在某些器件中，由于二次電子發射，導致器件工作不穩定，需要對二次電子發射機理與發射材料自身特性做一個系統的研究，但是目前的檢測裝置對電子進行形貌分析時，其分辨率遠比二次電子像低，而且散射電子能量高，以直線軌跡逸出樣品表面，對于背向檢測器的樣品表面，因檢測器無法收集到背散射電子而變成一片陰影，因此，其圖象襯度很強,襯度太大會失去細節的層次，不利于分析。
技術實現要素：
針對以上問題，本實用新型提供了一種二次電子特性參數檢測裝置，設置有真空泵，能夠推動真空室檢測電子能量，并且真空裝置不會導致電 子能量散失，使用檢測器對電子參數進行分析，利用數據校對模塊進行對于，有利于檢測電子的特性，利用一次電子檢測器和二次電子檢測器能夠對檢測電子的二次特性，使其檢測裝置穩定，可以有效解決背景技術中的問題。
為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種二次電子特性參數檢測裝置，包括真空泵和電子檢測裝置，所述真空泵的上表面固定安裝有真空室和電子槍，且電子槍設置在真空室的右端，在真空室的正面還固定安裝有調制電源，所述真空泵的左端固定安裝有檢測器，真空泵的兩側還固定安裝有可編程控制器和溫控電路，且可編程控制器位于溫控電路的上方，在溫控電路的下端設置有絕緣轉軸，且絕緣轉軸的一端穿過絕緣層的內部與設置在絕緣層底部的傳感器固定連接；所述電子檢測裝置通過安裝在其內側的轉動塊固定連接在真空泵的右端，在電子檢測裝置的表面固定安裝有一次電子檢測器和二次電子檢測器，且在一次電子檢測器和二次電子檢測器的上表面分別安裝有一次前置放大器和二次前置放大器，在二次電子檢測器的右端還設置有數據核對模塊。
作為本實用新型一種優選的技術方案，所述真空室的右側面固定安裝有觸摸控制屏。
作為本實用新型一種優選的技術方案，所述真空室的上表面還固定安裝有電子加速器。
作為本實用新型一種優選的技術方案，所述電子檢測裝置的右側還設置有熱陰極。
與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該二次電子特性參數檢 測裝置，通過設置真空泵，推動真空室檢測電子能量，并且真空裝置不會導致電子能量散失，使用檢測器對電子參數進行分析，利用數據校對模塊進行對于，有利于檢測電子的特性，利用一次電子檢測器和二次電子檢測器能夠對檢測電子的二次特性，使用觸摸控制屏控制發射電子在電子加速器中加速，使其檢測裝置穩定，而且提高了分辨率，實用性強。
附圖說明
圖1為本實用新型結構示意圖；
圖中：1-真空泵；2-真空室；3-電子槍；4-調制電源；5-觸摸控制屏；6-檢測器；7-可編程控制器；8-溫控電路；9-絕緣轉軸；10-傳感器；11-一次電子檢測器；12-二次電子檢測器；13-數據核對模塊；14-一次前置放大器；15-二次前置放大器；16-電子檢測裝置；17-絕緣層；18-電子加速器；19-熱陰極。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
實施例：
請參閱圖1，本實用新型提供一種技術方案：一種二次電子特性參數檢測裝置，包括真空泵1和電子檢測裝置16，所述真空泵1的上表面固定安裝有真空室2和電子槍3，利用真空室提供真空環境，有利于排除其他因素 的干擾，且電子槍3設置在真空室2的右端，在真空室2的正面固定安裝有調制電源4，使用調制電源控制電源的大小，真空室2的右側面還固定安裝有觸摸控制屏5，使用觸摸控制屏控制電子在電子加速器模塊加速，且真空室2的上表面還固定安裝有電子加速器18，所述真空泵1的左端固定安裝有檢測器6，真空泵1的兩側還固定安裝有可編程控制器7和溫控電路8，且可編程控制器7位于溫控電路8的上方，將編程模塊放在可編程控制器中，以便更好的控制電子發射，在溫控電路8的下端設置有絕緣轉軸9，且絕緣轉軸9的一端穿過絕緣層17的內部與設置在絕緣層17底部的傳感器10固定連接，根據傳感器的特性檢測電子能量參數；所述電子檢測裝置16的右側還設置有熱陰極19，且電子檢測裝置16通過安裝在其內側的轉動塊固定連接在真空泵1的右端，在電子檢測裝置16的表面固定安裝有一次電子檢測器11和二次電子檢測器12，且在一次電子檢測器11和二次電子檢測器12的上表面分別安裝有一次前置放大器14和二次前置放大器15，利用二次電子檢測器對電子進行第二次檢測，使得電子核對參數更加精確，在二次電子檢測器12的右端還設置有數據核對模塊13，使用檢測器與數據核對模塊的數據對比，檢測電子的特性參數。
本實用新型的工作原理：該二次電子特性參數檢測裝置，通過設置真空泵，推動真空室檢測電子能量，并且真空裝置不會導致電子能量散失，使用檢測器對電子參數進行分析，利用數據校對模塊進行對于，有利于檢測電子的特性，利用一次電子檢測器和二次電子檢測器能夠對檢測電子的二次特性，使用觸摸控制屏控制發射電子在電子加速器中加速，使其檢測裝置穩定，而且提高了分辨率，實用性強。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。