1.一種非球面光學元件面形檢測裝置,用于對非球面光學元件的面形信息進行檢測,其特征在于,包括干涉儀和沿垂直方向從下至上依序設置的反射鏡、移相器、標準鏡、補償鏡和所述非球面光學元件;所述干涉儀用于出射水平方向的測量光束;所述反射鏡用于將所述水平方向的測量光束轉變成垂直向上的測量光束;所述移相器用于調整所述垂直向上的測量光束的相位;所述標準鏡用于提供參考面以對所述垂直向上的測量光束進行反射;所述補償鏡用于補償所述非球面光學元件的面形;所述非球面光學元件反射的測量光束與所述標準鏡的參考面反射的測量光束在所述干涉儀中形成干涉條紋。
2.根據權利要求1所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括主體,所述主體包括相對設置的底板和頂板、固定連接于所述底板和所述頂板之間的第一側板和第二側板以及平行且固定設置于所述底板和所述頂板之間安裝板,所述第一側板和所述第二側板相對設置;所述干涉儀和所述反射鏡固定設置于所述底板上,所述移相器、所述標準鏡和所述補償鏡固定設置于所述安裝板上,所述非球面光學元件活動地設置于所述第一側板和所述第二側板之間。
3.根據權利要求2所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置包括45度反射鏡組件,所述45度反射鏡組件包括所述反射鏡、反射鏡支撐框、反射鏡安裝板和支撐架,所述反射鏡固定設置于所述反射鏡支撐框上,所述反射鏡支撐框固定設置于所述反射鏡安裝板上,所述反射鏡安裝板固定設置于所述支撐架上,所述支撐架固定設置于所述底板上。
4.根據權利要求2所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置包括標準鏡組件,所述標準鏡組件包括所述標準鏡和支撐座,所述標準鏡通過所述支撐座固定設置于所述移相器上,所述支撐座相對于所述移相器的斜度可調。
5.根據權利要求2所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置包括補償鏡組件,所述補償鏡組件包括所述補償鏡和支撐部,所述支撐部包括支撐板和補償鏡框;所述支撐板固定設置于所述安裝板上,所述補償鏡框設置于所述支撐板上且所述補償鏡框相對于所述安裝板的斜度可調,所述補償鏡固定設置于所述補償鏡框上。
6.根據權利要求2所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置包括非球面光學元件組件,所述非球面光學元件組件包括所述非球面光學元件、支撐框、支撐螺桿、支撐螺母和法蘭;所述非球面光學元件固定設置于所述支撐框上;所述支撐螺桿穿設于所述支撐框和所述法蘭上,且通過所述支撐螺母與所述支撐螺桿螺紋連接使所述支撐框和所述法蘭固定連接。
7.根據權利要求6所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述支撐框包括支撐筒和定位部,所述支撐筒為中空圓筒狀,所述所述非球面光學元件固定設置于所述支撐筒上的一端;所述定位部從所述支撐筒的外壁向遠離所述支撐筒延伸;所述支撐螺桿的一端固定設置于所述法蘭上,所述支撐螺桿的另一端穿過所述定位部。
8.根據權利要求7所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括轉臺,所述轉臺與所述法蘭固定連接,所述轉臺用于帶動所述非球面光學元件組件旋轉。
9.根據權利要求8所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括第一調整機構,所述第一調整機構包括安裝塊、水平滑軌和正交滑軌,所述水平滑軌和所述正交滑軌垂直設置,所述安裝塊滑動地設置于所述水平滑軌上,所述水平滑軌滑動地設置于所述正交滑軌上,所述轉臺固定設置于所述安裝塊上。
10.根據權利要求9所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括第二調整機構,所述第二調整機構包括調整板、第一移動副、第二移動副和第三移動副,所述第一移動副、第二移動副和第三移動副用于帶動所述調整板沿垂直方向移動和傾斜運動。
11.根據權利要求10所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括測長干涉儀,所述測長干涉儀包括主機和多個反射角鏡,所述主機設置于所述頂板上,所述多個反射角鏡設轉置于所述調整板上。
12.根據權利要求2所述的非球面光學元件面形檢測裝置,其特征在于,所述非球面光學元件面形檢測裝置還包括防震組件,所述防震組件從所述主體的外部對所述主體進行支撐,所述防震組件對所述主體的支撐點與所述干涉儀的干涉腔等高。