電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的制作方法

本發明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術：

以往，公知有例如檢查ic器件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置，該電子部件檢查裝置組裝有用于將ic器件輸送到檢查部的載置部件的電子部件輸送裝置。在檢查ic器件時，被電子部件輸送裝置的把持部把持的ic器件配置于載置部件。而且，把持部向載置部件按壓ic器件。由此，ic器件的多個端子分別被按壓于在載置部件上設置的多個探針，ic器件的各端子與各探針接觸而電連接。

在專利文獻1記載的電子部件檢查裝置中，載置部件(插座)是由引導把持部的插座引導器覆蓋的結構。插座引導器具有在把持部按壓電子部件時引導把持部的導銷。該導銷插入把持部的引導孔，由此進行插座引導器與把持部的定位。

專利文獻1：日本特開2003-28923號公報

然而，在專利文獻1記載的電子部件輸送裝置中，是在把持部按壓ic器件時把持部按壓插座引導器的結構。另外，插座引導器與載置部件抵接，所以把持部按壓插座引導器的按壓力向載置部件傳遞。根據該按壓力的程度不同，載置部件有變形的可能性。

技術實現要素：

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠通過以下的方式或者應用例來實現。

本發明的電子部件輸送裝置的特征在于，具有：

第一構造體，其具有能夠收納載置部件的凹部，該載置部件載置電子部件；和

第二構造體，其能夠配置于上述第一構造體，并覆蓋上述凹部，

上述第二構造體在配置于上述第一構造體的情況下，不與上述載置部件抵接。

由此，在外力施加于第二構造體的情況下，能夠防止該外力傳遞至載置部件。因此，能夠防止載置部件破損。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為上述凹部的深度大于上述載置部件的厚度。

由此，能夠防止載置部件與第二構造體接觸。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為在上述第二構造體與上述載置部件之間形成有間隙。

由此，能夠防止載置部件與第二構造體接觸。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為具有將上述第一構造體和上述第二構造體定位的定位部。

由此，能夠進行第一構造體和第二構造體的定位。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為具有將上述第二構造體和上述載置部件定位的定位部。

由此，能夠進行第二構造體和載置部件的定位。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為上述第二構造體能夠覆蓋一個上述凹部。

由此，能夠減小第二構造體的大小。因此，在外力施加于第二構造體的情況下也難以變形。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為上述第一構造體具有多個上述凹部，上述第二構造體能夠一并覆蓋上述多個凹部。

由此，能夠減少第二構造體的數量。因此，能夠簡化第一構造體和第二構造體的組裝作業。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為上述載置部件被螺紋緊固，在上述第二構造體設置有能夠供用于上述螺紋緊固的工具插通的工具插通孔。

由此，在利用第二構造體覆蓋凹部的狀態下，能夠使用工具進行載置部件的螺釘連接。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為具有載置上述第一構造體的基材，上述第一構造體具有進行相對于上述基材的定位的定位部。

由此，能夠進行第一構造體和基材的定位。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為具有輸送上述電子部件的輸送部，上述第二構造體具有進行相對于上述輸送部的定位的定位部。

由此，能夠進行第二構造體和輸送部的定位。

在本發明的電子部件輸送裝置中，優選為上述載置部件在進行上述電子部件的檢查的檢查區域配置。

由此，能夠防止外力施加于檢查區域內的載置部件。

本發明的電子部件檢查裝置的特征在于，具有：

第一構造體，其具有能夠收納載置部件的凹部，該載置部件載置電子部件；

第二構造體，其能夠配置于上述第一構造體，并覆蓋上述凹部；以及

檢查部，其檢查上述電子部件，

上述第二構造體在配置于上述第一構造體的情況下，不與上述載置部件抵接。

由此，在外力施加于第二構造體的情況下，能夠防止該外力傳遞至載置部件。因此，能夠防止載置部件破損。

附圖說明

圖1是表示本發明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的簡要俯視圖。

圖2是表示設置于圖1所示的檢查部內的載置部件、第一構造體以及第二構造體的剖視圖。

圖3是表示組裝圖2所示的載置部件、第一構造體以及第二構造體的工序的剖視圖。

圖4是表示組裝圖2所示的載置部件、第一構造體以及第二構造體的工序的剖視圖。

圖5是表示組裝圖2所示的載置部件、第一構造體以及第二構造體的工序的剖視圖。

圖6是表示組裝圖2所示的載置部件、第一構造體以及第二構造體的工序的剖視圖。

圖7是本發明的電子部件檢查裝置的第二實施方式所具備的檢查部的剖視圖。

具體實施方式

以下根據附圖所示的優選實施方式詳細說明本發明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

第一實施方式

圖1是表示本發明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的簡要俯視圖。圖2是表示設置于圖1所示的檢查部內的載置部件、第一構造體以及第二構造體的剖視圖。圖3～圖6是表示組裝圖2所示的載置部件、第一構造體以及第二構造體的工序的剖視圖。

此外，以下為了便于說明，如圖1～圖6(圖7也同樣)所示，將相互正交的3個軸設為x軸、y軸以及z軸。另外，包含x軸和y軸的xy平面為水平，z軸為鉛垂。另外，也將平行于x軸的方向稱為“x方向”，將平行于y軸的方向稱為“y方向”，將平行于z軸的方向稱為“z方向”。

另外，也將電子部件的輸送方向的上游側簡稱為“上游側”，將下游側簡稱為“下游側”。另外，本申請說明書中提到的“水平”不限定于完全的水平，只要不阻礙電子部件的輸送，也包含相對于水平稍微(例如小于5°左右)傾斜的狀態。

圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1例如是用于檢查·試驗(以下簡稱為“檢查”)bga(ballgridarray)卷裝、lga(landgridarray)卷裝等ic器件、lcd(liquidcrystaldisplay)、cis(cmosimagesensor)等電子部件的電特性的裝置。此外，以下為了便于說明，以使用ic器件作為進行檢查的上述電子部件的情況為代表來說明，將其作為“ic器件90”。

如圖1所示，檢查裝置1分為托盤供給區域a1、器件供給區域(以下簡稱為“供給區域”)a2、檢查區域a3、器件回收區域(以下簡稱為“回收區域”)a4、托盤除去區域a5。而且，ic器件90從托盤供給區域a1到托盤除去區域a5依次經由上述各區域，在中途的檢查區域a3進行檢查。這樣檢查裝置1具備在各區域輸送ic器件90的電子部件輸送裝置、在檢查區域a3內進行檢查的檢查部16、控制部80。在檢查裝置1中，從托盤供給區域a1到托盤除去區域a5中，可以將從輸送ic器件90的供給區域a2到回收區域a4稱為“輸送區域(輸送地區)”。

此外，檢查裝置1將配置有托盤供給區域a1、托盤除去區域a5的一方(圖1中的下側)作為正面側、將其相反的一側即配置有檢查區域a3的一方(圖1中的上側)作為背面側使用。

托盤供給區域a1是被供給排列有未檢查狀態的多個ic器件90的托盤(載置部件)200的供材部。能夠在托盤供給區域a1層疊多個托盤200。

供給區域a2是將在來自托盤供給區域a1的托盤200上配置的多個ic器件90分別供給到檢查區域a3的區域。此外，以橫跨托盤供給區域a1和供給區域a2的方式，設置有一張張地輸送托盤200的托盤輸送機構11a、11b。

在供給區域a2設置有溫度調整部(浸泡板)12、器件輸送頭13、托盤輸送機構(第一輸送裝置)15。

溫度調整部12是載置多個ic器件90的載置部，能夠加熱或者冷卻該多個ic器件90。由此，能夠將ic器件90調整為適于檢查的溫度。在圖1所示的結構中，溫度調整部12沿y方向配置、固定有2個。而且，由托盤輸送機構11a從托盤供給區域a1搬入(輸送來)的托盤200上的ic器件90被輸送、載置于任一溫度調整部12。

器件輸送頭13被支承為能夠在供給區域a2內移動。由此，器件輸送頭13負責從托盤供給區域a1被搬入的托盤200與溫度調整部12之間的ic器件90的輸送、和溫度調整部12與后述的器件供給部14之間的ic器件90的輸送。

托盤輸送機構15是使全部的ic器件90被除去的狀態的空的托盤200在供給區域a2內沿x方向輸送的機構。而且，該輸送后，空的托盤200通過托盤輸送機構11b從供給區域a2返回托盤供給區域a1。

檢查區域a3是檢查ic器件90的區域。在該檢查區域a3設置有器件供給部(供給梭)14、檢查部16、器件輸送頭17、器件回收部(回收梭)18。

器件供給部14是載置已溫度調整后的ic器件90的載置部，能夠將該ic器件90輸送到檢查部16附近。該器件供給部14被支承能夠在供給區域a2與檢查區域a3之間沿x方向移動。另外，在圖1所示的結構中，器件供給部14沿y方向配置有2個，溫度調整部12上的ic器件90被輸送、載置于任一器件供給部14。

檢查部16是檢查·試驗ic器件90的電特性的單元，具有載置ic器件90的插座(載置部件)4、覆蓋插座4的插座引導器5。根據在具備與檢查部16連接檢測器的檢查控制部存儲的程序進行ic器件90的檢查。此外，在檢查部16，與溫度調整部12相同，加熱或者冷卻ic器件90，能夠將該ic器件90調整為適于檢查的溫度。

器件輸送頭17被支承為能夠在檢查區域a3內移動。器件輸送頭17具有頭主體171、能夠吸引并把持ic器件90的手部172(參照圖2)。由此，器件輸送頭17能夠將從供給區域a2搬入的器件供給部14上的ic器件90輸送并載置于檢查部16上。

器件回收部18是載置結束了利用檢查部16的檢查后的ic器件90的載置部，能夠將該ic器件90輸送到回收區域a4。該器件回收部18被支承為能夠在檢查區域a3與回收區域a4之間沿x方向移動。另外，在圖1所示的結構中，器件回收部18與器件供給部14相同，沿y方向配置有2個，檢查部16上的ic器件90被輸送、載置于任一器件回收部18。該輸送由器件輸送頭17進行。

回收區域a4是回收檢查結束的多個ic器件90的區域。在該回收區域a4設置有回收用托盤19、器件輸送頭20、托盤輸送機構(第二輸送裝置)21a。另外，還在回收區域a4準備空的托盤200。

回收用托盤19是載置ic器件90的載置部，固定于回收區域a4內，在圖1所示的結構中，沿x方向配置有3個。另外，空的托盤200也是載置ic器件90的載置部，沿x方向配置有3個。而且，移動到回收區域a4的器件回收部18上的ic器件90被輸送、載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的某一方。由此，按照每種檢查結果回收ic器件90并將其分類。

器件輸送頭20被支承為能夠在回收區域a4內移動。由此，器件輸送頭20能夠從器件回收部18向回收用托盤19、空的托盤200輸送ic器件90。

托盤輸送機構21a是使從托盤除去區域a5被搬入的空的托盤200在回收區域a4內沿x方向輸送的機構。而且，該輸送后，空的托盤200配置于回收ic器件90的位置，即成為上述3個空的托盤200中的某一個。在這樣檢查裝置1中，在回收區域a4設置托盤輸送機構21a，此外，在供給區域a2設置托盤輸送機構15。由此，例如與利用一個輸送機構進行空的托盤200的x方向的輸送相比，能夠實現生產率(每單位時間的ic器件90的輸送個數)的提高。

此外，托盤輸送機構15、21a的結構沒有特別限定，例如，可舉出具有吸附托盤200的吸附部件、和將該吸附部件支承為能夠沿x方向移動的滾珠絲杠等支承機構的結構。

托盤除去區域a5是回收、除去排列有檢查完畢狀態的多個ic器件90的托盤200的除材部。能夠在托盤除去區域a5層疊多個托盤200。

另外，以橫跨回收區域a4和托盤除去區域a5的方式，設置有一張張地輸送托盤200的托盤輸送機構22a、22b。托盤輸送機構22a是將載置有檢查完畢的ic器件90的托盤200從回收區域a4輸送至托盤除去區域a5的機構。托盤輸送機構22b是將用于回收ic器件90的空的托盤200從托盤除去區域a5輸送至回收區域a4的機構。

控制部80例如具有驅動控制部。驅動控制部例如控制托盤輸送機構11a、11b、溫度調整部12、器件輸送頭13、器件供給部14、托盤輸送機構15、檢查部16、器件輸送頭17、器件回收部18、器件輸送頭20、托盤輸送機構21a、托盤輸送機構22a、22b的各部分的驅動。

此外，上述檢測器的檢查控制部例如根據存儲于未圖示的存儲器內的程序，進行配置于檢查部16的ic器件90的電特性的檢查等。

在以上那樣的檢查裝置1中，除了溫度調整部12、檢查部16以外，器件輸送頭13、器件供給部14、器件輸送頭17也能夠加熱或者冷卻ic器件90而構成。由此，ic器件90在被輸送期間溫度維持恒定。

如圖1所示，檢查裝置1中，托盤供給區域a1與供給區域a2之間被第一隔壁61劃分(分隔)，供給區域a2與檢查區域a3之間被第二隔壁62劃分，檢查區域a3與回收區域a4之間被第三隔壁63劃分，回收區域a4與托盤除去區域a5之間被第四隔壁64劃分。另外，供給區域a2與回收區域a4之間也被第五隔壁65劃分。上述隔壁具有保持各區域的氣密性的功能。并且，檢查裝置1最外表被罩覆蓋，該罩例如有前蓋70、側罩71以及72、后罩73。

而且，供給區域a2成為由第一隔壁61、第二隔壁62、第五隔壁65、側罩71、后罩73劃分而成的第一室r1。在第一室r1，未檢查狀態的多個ic器件90被搬入每個托盤200。

檢查區域a3成為由第二隔壁62、第三隔壁63、后罩73劃分而成的第二室r2。另外，在第二室r2比后罩73更靠內側配置有內側隔壁66。

回收區域a4成為由第三隔壁63、第四隔壁64、第五隔壁65、側罩72、后罩73劃分而成的第三室r3。檢查結束的多個ic器件90從第二室r2被搬入至第三室r3。

如圖1所示，在側罩71設置有第一門(左側第一門)711和第二門(左側第二門)712。打開第一門711、第二門712，由此例如能夠進行第一室r1內的維護、ic器件90的卡塞的解除等(以下將它們總稱為“作業”)。此外，第一門711與第二門712是朝相互相反方向開閉的所謂的“對開”。另外，在第一室r1內作業時該第一室r1內的器件輸送頭13等的可動部停止。

同樣，在側罩72設置有第一門(右側第一門)721和第二門(右側第二門)722。打開第一門721、第二門722，由此例如能夠進行第三室r3內的作業。此外，第一門721與第二門722也是朝相互相反方向開閉的所謂的“對開”。另外，在第三室r3內的作業時該第三室r3內的器件輸送頭20等的可動部停止。

另外，在后罩73也設置有第一門(背面側第一門)731、第二門(背面側第二門)732、第三門(背面側第三門)733。打開第一門731，由此例如能夠進行第一室r1內的作業。打開第三門733，由此例如能夠進行第三室r3內的作業。并且，在內側隔壁66設置有第四門75。而且，打開第二門732以及第四門75，由此例如能夠進行第二室r2內的作業。此外，第一門731、第二門732、第四門75朝相同的方向開閉，第三門733朝與上述門相反的方向開閉。另外，在第二室r2內的作業時該第二室r2內的器件輸送頭17等的可動部停止。

接下來，詳細說明檢查部16的結構。如圖2所示，檢查部16具有測試板(基材)2、加強件3、插座(載置部件)4、插座引導器5。

測試板2由布線基板構成，與控制部80電連接。測試板2支承插座4以及插座引導器5。另外，測試板2具有沿厚度方向貫通的多個螺孔21以及螺孔22。

加強件3用于提高測試板2的強度，例如由金屬材料等高剛性的材料構成。另外，在加強件3設置有多個螺孔31以及螺孔32。

插座4是呈板狀并配置于測試板2的上表面的部件，具有收納ic器件90的凹部41。另外，在插座4設置有與凹部41內的ic器件90的端子電連接的探針(未圖示)，ic器件90經由探針與測試板2電連接。由此，能夠經由探針進行ic器件90的檢查。

另外，插座4具有供螺釘6插通的多個螺孔42、和供導銷(載置部件定位部)9插入的多個引導孔43。這樣的插座4通過螺釘6插入螺孔42、螺孔21以及螺孔31而被螺紋緊固。由此，能夠將插座4相對于測試板2固定。

圖2所示的插座引導器5是相對于插座4對器件輸送頭17進行定位的部件。插座引導器5具有以包圍插座4的周圍的方式配置的第一構造體51和第二構造體52。

第一構造體51是經由絕緣隔離物50配置于測試板2的上表面的框部件。因此，能夠防止測試板2與第一構造體51成為通電狀態。第一構造體51具有沿其厚度方向貫通的凹部511。凹部511能夠收納插座4。因此，在凹部511收納有插座4的收納狀態下，第一構造體51包圍插座4而配置。此外，在檢查裝置1中，也可以是省略絕緣隔離物50，而在第一構造體51的下表面設置絕緣層的結構。

另外，第一構造體51的邊緣部成為朝圖2中的上側突出的突出部512。在該突出部512設置有多個導銷(輸送頭定位部)40。導銷40被插入到在器件輸送頭17的頭主體171設置的引導孔173。由此，能夠進行插座引導器5相對于器件輸送頭17的定位。

另外，在第一構造體51中，在突出部512的內側且在凹部511的外側設置有多個螺孔513。螺孔513沿第一構造體51的厚度方向貫通形成。由此，能夠與測試板2的螺孔22、加強件3的螺孔32連通。由此，將螺釘7插入螺孔513、螺孔22以及螺孔32，能夠將第一構造體51相對于測試板2螺紋緊固。

另外，在第一構造體51設置有多個分別設置于凹部511與螺孔513之間的設置孔514。在該設置孔514設置導銷(插座引導器定位部)10。

另外，在第一構造體51中，在凹部511與設置孔514之間設置有多個螺孔515。向該螺孔515插入螺釘8，能夠固定第一構造體51和第二構造體52。

第二構造體52是以覆蓋凹部511的方式配置于第一構造體51上的板狀的蓋部件。第二構造體52具有向上方突出的導銷(手定位部)30。在檢查ic器件90時，向器件輸送頭17的引導孔174插入導銷30，由此能夠將器件輸送頭17相對于第二構造體52定位。

另外，在第二構造體52形成有朝上方開放的貫通孔521、在貫通孔521的外側設置有多個的工具插通孔522、在工具插通孔522的外側分別設置的多個螺孔523。

貫通孔521設置于第二構造體52的中央部。另外，貫通孔521具有能夠供ic器件90以及器件輸送頭17的手部172的前端部插通的大小。

如圖2所示，工具插通孔522設置于處于將第一構造體51和第二構造體52組裝的組裝狀態下分別與插座4的螺孔42對應的位置。即，工具插通孔522在組裝狀態下位于螺孔42的上方。另外，工具插通孔522具有能夠插通使螺釘6旋轉并進行螺紋緊固的螺絲刀等工具300的大小(參照圖6)。

另外，在第二構造體52設置有向下側開放的定位孔524、525。定位孔524、525分別設置有多個。

定位孔524設置在工具插通孔522與螺孔523之間。向定位孔524插入導銷9，由此能夠進行第二構造體52與插座4的定位。

定位孔525設置于螺孔523的外側。通過向定位孔525插入導銷10，能夠進行第一構造體51與第二構造體52的定位。

這里，如圖2所示，凹部511的深度(最小深度)d大于ic器件90的厚度(最大厚度)t。因此，在組裝狀態下，能夠防止插座4與第二構造體52接觸。

在進行ic器件90的檢查時，圖2中雙點劃線所表示的器件輸送頭17的手部172將ic器件90向下側按壓，并且器件輸送頭17將第二構造體52向下側按壓。在檢查裝置1中，如上所述，插座4與第二構造體52非接觸。即在插座4與第二構造體52之間形成有間隙s。由此，能夠防止器件輸送頭17的手部172按壓第二構造體52的按壓力施加于插座4。因此，能夠防止因外力過度施加于插座4引起的插座4的變形等。

另外，在檢查裝置1中，是在凹部511內配置一個ic器件90的結構，所以能夠盡量減小從凹部511的z軸方向觀察時的大小。由此，能夠減小第二構造體52的大小。因此，雖然也會受到第二構造體52的結構材料的影響，但即使對第二構造體52施加外力也難以變形。其結果是，能夠更有效地防止第二構造體52與插座4接觸。

接下來，說明將插座4以及插座引導器5安裝于測試板2的順序。

首先，如圖3所示，在測試板2的上表面配置插座4，使用螺釘6進行暫時螺紋緊固。此時，螺釘6的前端與螺孔31的底部成為分離的狀態(以下將該狀態稱為“暫時螺紋緊固狀態”)。即，旋入螺釘6直到螺紋緊固結束之前。通過形成暫時螺紋緊固狀態，由此插座4能夠在xy平面稍微移動。即，在插座4形成游隙。

接下來，如圖4所示，以在凹部511內插收納座4的方式將第一構造體51設置于測試板2的上表面。然后，將螺釘7旋入第一構造體51的螺孔513、測試板2的螺孔22、加強件3的螺孔32，將第一構造體51相對于測試板2螺紋緊固而固定。此時，螺釘7作為定位部(基材定位部)發揮功能，能夠將第一構造體51固定于測試板2并且進行定位。

接下來，如圖5所示，在第一構造體51固定第二構造體52。此時，優選預先向第一構造體51的設置孔514插入導銷10，向插座4的引導孔43插入導銷9。而且，以使導銷9被插入定位孔524并且導銷10被插入定位孔525的方式，使第二構造體52接近第一構造體51。由此，能夠將第二構造體52相對于第一構造體51定位，并且能夠將第二構造體52相對于插座4定位。

特別是在該定位時，如上所述，插座4成為暫時螺紋緊固狀態，能夠在xy平面稍微移動。由此，能夠進行插座4的位置的微調，能夠將導銷9插入第二構造體52的定位孔524。

而且，在該定位狀態下，將螺釘8插入并旋入第二構造體52的螺孔523和第一構造體51的螺孔515。由此，能夠保持定位狀態不變地將第二構造體52相對于第一構造體51固定。

另外，在檢查裝置1中，在器件輸送頭17將ic器件90載置于插座4時，首先導銷40被插入引導孔173，由此進行一次定位。接著，導銷30被插入引導孔174，由此被插入手部172的引導孔174而進行二次定位。在該二次定位時，手部172成為浮空狀態，所以能夠容易將導銷30插入引導孔174。

接下來，如圖6所示，使用工具300將暫時螺紋緊固狀態的螺釘6旋入。由此，能夠將插座4相對于測試板2固定(正式固定)。此外，在第二構造體52設置有能夠供工具300插通的工具插通孔522，所以能夠在將第二構造體52固定于第一構造體51的狀態下旋入螺釘6。

第二實施方式

圖7是本發明的電子部件檢查裝置的第二實施方式具備的檢查部的剖視圖。

以下參照該圖說明本發明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第三實施方式，以與上述實施方式的不同點為中心來說明，省略相同事項的說明。

本實施方式除了第一構造體的結構不同以外，其它結構與上述第一實施方式相同。

如圖7所示，檢查裝置1a的檢查部16具有第一構造體51a和第二構造體52a。

第一構造體51a具有多個凹部511。在各凹部511分別各收納有一個插座4。另外，第一構造體51a中，各凹部511之間的部分516作為與第二構造體52抵接進行支承的支承部發揮功能。

在第二構造體52a中，貫通孔521以與各凹部511對應的方式設置有2個。另外，工具插通孔522以與各凹部511對應的方式分別各設置有2個，合計設置有4個。另外，定位孔524以與各凹部511對應的方式分別各設置有2個，合計設置有4個。另外，導銷30以與各凹部511對應的方式分別各設置有2個，合計設置有4個。

這樣，在檢查裝置1a中，是利用一個第二構造體52a一并覆蓋兩個凹部511的結構。由此，例如與利用兩個第二構造體52a分別覆蓋各凹部511的結構比，能夠減少第二構造體52a的數量。因此，能夠簡化第一構造體51a和第二構造體52a的組裝作業。

特別地，各凹部511之間的部分516作為支承第二構造體52a的支承部發揮功能。由此，即使檢查時第二構造體52a被器件輸送頭17按壓也能夠防止變形。因此，能夠更有效地防止第二構造體52a與插座4接觸。

以上針對圖示的實施方式說明了本發明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置，但本發明不限定于此，構成電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的各部分可以置換為能夠發揮相同功能的任意結構。另外，也可以附加任意結構物。

另外，本發明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置也可以組合上述各實施方式中的任意2種以上的結構(特征)。

附圖標記的說明

1…檢查裝置，1a…檢查裝置，2…測試板，3…加強件，31…螺孔，32…螺孔，4…插座，41…凹部，42…螺孔，43…引導孔，5…插座引導器，5a…插座引導器，50…絕緣隔離物，51…第一構造體，51a…第一構造體，511…凹部，512…突出部，513…螺孔，514…設置孔，515…螺孔，516…部分，52…第二構造體，52a…第二構造體，521…貫通孔，522…工具插通孔，523…螺孔，524…定位孔，525…定位孔，6…螺釘，7…螺釘，8…螺釘，9…導銷，10…導銷，11a…托盤輸送機構，11b…托盤輸送機構，12…溫度調整部，13…器件輸送頭，14…器件供給部，15…托盤輸送機構，16…檢查部，17…器件輸送頭，171…頭主體，172…手部，173…引導孔，174…引導孔，18…器件回收部，19…回收用托盤，20…器件輸送頭，21…螺孔，21a…托盤輸送機構，22…螺孔，22a…托盤輸送機構，22b…托盤輸送機構，30…導銷，40…導銷，61…第一隔壁，62…第二隔壁，63…第三隔壁，64…第四隔壁，65…第五隔壁，66…內側隔壁，70…前蓋，71…側罩，711…第一門，712…第二門，72…側罩，721…第一門，722…第二門，73…后罩，731…第一門，732…第二門，733…第三門，75…第四門，80…控制部，90…ic器件，200…托盤，300…工具，a1…托盤供給區域，a2…供給區域，a3…檢查區域，a4…回收區域，a5…托盤除去區域，d…深度，t…厚度，r1…第一室，r2…第二室，r3…第三室，s…間隙。